弹性波装置的制作方法

技术特征：
1.一种弹性波装置，具备：压电性基板；idt电极，设置在所述压电性基板上，并具有多个电极指；和第1反射器以及第2反射器，是设置在所述压电性基板上的所述idt电极的弹性波传播方向两侧的一对反射器，所述idt电极的相邻的所述电极指在弹性波传播方向上彼此重叠的部分为交叉区域，所述交叉区域具有：中央区域，位于所述多个电极指延伸的方向上的中央侧；和一对边缘区域，配置在所述多个电极指延伸的方向上的所述中央区域的两侧，包含所述一对边缘区域且与所述一对边缘区域在弹性波传播方向上重叠的区域为一对扩展边缘区域，在所述一对扩展边缘区域中设置有一对声速调整部，所述一对声速调整部中的声速比所述中央区域中的声速低，所述一对声速调整部中的一个声速调整部具有位于所述第1反射器侧的第1端部和位于所述第2反射器侧的第2端部，所述一对声速调整部中的另一个声速调整部具有位于所述第1反射器侧的第3端部和位于所述第2反射器侧的第4端部，所述第1端部、所述第2端部、所述第3端部以及所述第4端部在弹性波传播方向上位于所述一对边缘区域的外侧，所述第1端部以及所述第3端部和所述第2端部以及所述第4端部这两组端部中的至少一组在所述多个电极指延伸的方向上不重叠。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，在所述多个电极指延伸的方向上的所述一对边缘区域的外侧配置有一对高声速区域，所述一对高声速区域中的声速比所述中央区域中的声速高。3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述第1端部以及所述第3端部和所述第2端部以及所述第4端部的双方在所述多个电极指延伸的方向上不重叠。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述一对声速调整部到达所述第1反射器以及所述第2反射器的弹性波传播方向上的外侧。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述一对声速调整部延伸的方向和弹性波传播方向平行。6.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述一对声速调整部延伸的方向和弹性波传播方向交叉。7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，通过设置有质量附加膜而构成所述一对声速调整部。8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，包含所述中央区域且与所述中央区域在弹性波传播方向上重叠的区域为扩展中央区域，所述第1反射器以及所述第2反射器分别具有多个电极指，
在所述idt电极的所述多个电极指、所述第1反射器的所述多个电极指以及所述第2反射器的所述多个电极指中，设置有比所述扩展中央区域中的宽度宽的宽宽度部，由此构成所述一对声速调整部。9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述压电性基板具有高声速材料层和直接或者间接地设置在所述高声速材料层上的压电体层，在所述高声速材料层传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速高。10.根据权利要求9所述的弹性波装置，其中，所述压电性基板具有设置在所述高声速材料层与所述压电体层之间的低声速膜，在所述低声速膜传播的体波的声速比在所述压电体层传播的体波的声速低。11.根据权利要求9或10所述的弹性波装置，其中，所述高声速材料层为高声速支承基板。12.根据权利要求9或10所述的弹性波装置，其中，所述压电性基板具有支承基板，所述高声速材料层为设置在所述支承基板上的高声速膜。13.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述压电性基板具有声反射膜和设置在所述声反射膜上的压电体层，所述声反射膜具有声阻抗相对高的高声阻抗层和声阻抗相对低的低声阻抗层，所述高声阻抗层和所述低声阻抗层交替地层叠。

技术总结
本发明提供一种能够抑制横模以及高阶模的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和IDT电极(7)。IDT电极(7)具有中央区域(C)和第1边缘区域(E1)、第2边缘区域(E2)。包含第1边缘区域(E1)、第2边缘区域(E2)且与该区域在弹性波传播方向上重叠的区域为第1扩展边缘区域(Ex1)、第2扩展边缘区域(Ex2)。在第1扩展边缘区域(Ex1)、第2扩展边缘区域(Ex2)中，设置有声速比中央区域(C)低的第1声速调整部(L)、第2声速调整部(M)。第1声速调整部(L)具有第1端部(La)、第2端部(Lb)，第2声速调整部(M)具有第3端部(Ma)、第4端部(Mb)。第1端部(La)～第4端部(Mb)位于第1边缘区域(E1)、第2边缘区域(E2)的外侧。第1端部(La)、第3端部(Ma)和第2端部(Lb)、第4端部(Mb)这两组端部中的至少一组在多个电极指延伸的方向上不重叠。不重叠。不重叠。


技术研发人员：渡边宗久 大门克也 岩本英树
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：2021.04.22
技术公布日：2022/12/2