一种激光陀螺谐振腔综合误差测量方法与流程

技术特征：
1.一种激光陀螺谐振腔综合误差测量方法，其特征在于，所述方法使用以下测量设备：激光准直光源、白光源、ccd摄像设备、多个平面反射镜、至少一个球面反射镜；所述方法包括以下步骤：步骤1，将激光陀螺安装在测试台基座上，在激光陀螺谐振腔各反射镜镜片位置粘接所述多个平面反射镜和至少一个球面反射镜，使得所述激光陀螺谐振腔的光路闭合；步骤2，将所述激光准直光源输出的激光束透过一个平面反射镜注入激光陀螺谐振腔，所述激光束直接通过具有光阑的内孔照射到下一个平面反射镜，所述激光束用于执行光路对准；步骤3，将所述ccd摄像设备对准与激光束入口相对方向的平面反射镜用于检测所述平面反射镜背面透射出的激光光斑；步骤4，使用两个平面反射镜调整注入所述激光陀螺谐振腔的内孔的所述激光束的传输方向，使得所述激光束在所述激光陀螺谐振腔的内孔中完成闭环传输；步骤5，在完成步骤3和步骤4的基础上，通过所述ccd摄像设备观察透过平面反射镜的所述激光光斑，通过观察所述激光光斑的大小、形状和位置确定所述激光陀螺谐振腔的腔体闭合性是否合格。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤1还包括：通过一个平面反射镜向所述激光陀螺谐振腔的内孔导入白光，以照亮所述激光陀螺谐振腔的内孔。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2所述光路对准包括：调节所述激光束的方向，使所述激光束同时通过所述具有光阑的内孔的激光束入口中心和所述光阑的中心。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤4包括如下子步骤：步骤4.1，设置所述多个平面反射镜中相邻的两个平面反射镜为第一反射镜组，使用所述第一反射镜组的两个平面反射镜分别调整所述激光束在上下方向或左右方向的移动，以使所述激光束在所述激光陀螺谐振腔的内孔中完成闭环传输；步骤4.2，设置至少一个反射镜不属于第一反射镜组的二个反射镜为第二反射镜组，在完成步骤4.1之后，再次调节所述第二反射镜组的两个反射镜，使得闭环传输的激光束仍然能够通过所述激光束入口中心和光阑的中心，完成激光束的二次光路对准。5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光准直光源为he-ne气体激光器，输出的激光光斑为圆形基模光斑，所述激光光斑的直径为：0.5～1mm。6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，调整一个球面反射镜，使注入的所述激光束的圆形基模变形为测量腔体的椭圆形基模。7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤5包括：通过调整所述球面反射镜的形变以改变所述激光陀螺谐振腔的长度；当所述激光陀螺谐振腔的长度改变时激光光斑出现明暗变化及方向偏移。8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，步骤5还包括：观察激光光斑位置在光路平面内的一个方向的偏移状态，所述偏移状态表示所述激光陀螺腔存在角差方向误差、塔差方向误差或角差塔差综合误差。9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，步骤5还包括如下子步骤：步骤5.1，如果角差方向误差、塔差方向误差和角差塔差综合误差均在规定阈值之下，则判定所述激光陀螺谐振腔的腔体闭合性合格；
步骤5.2，如果角差方向误差、塔差方向误差或角差塔差综合误差之一超过规定阈值，则判定所述激光陀螺谐振腔的腔体闭合性不合格。

技术总结
本发明提出一种激光陀螺谐振腔综合误差测量方法，属于激光陀螺检测技术领域，测量方法包括以下步骤：将激光陀螺安装在基座上，在各反射镜镜片位置粘接平面反射镜和球面反射镜，使得激光陀螺谐振腔的光路闭合；将激光准直光源的激光束注入激光陀螺谐振腔的具有光阑的内孔并执行光路对准；使用两个平面反射镜调整注入激光陀螺谐振腔的内孔的激光束的传输方向，使激光束在内孔中闭环传输；将CCD摄像设备对准与激光注入口相对方向的平面反射镜探测平面反射镜面上的激光光斑，通过激光光斑的大小和位置确定激光陀螺谐振腔的腔体闭合性是否合格。本发明的方法装置简单，调节维度小，测量的结果与激光陀螺实际性能符合度更好。好。好。


技术研发人员：王立斌
受保护的技术使用者：天津集智航宇科技有限公司
技术研发日：2022.12.01
技术公布日：2022/12/30