一种ALD加热炉的制作方法

一种ald加热炉
技术领域
1.本实用新型涉及加热炉技术领域，特别涉及一种ald加热炉。


背景技术：

2.单原子层沉积(ald)，又称原子层沉积或原子层外延。原子层沉积是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法(技术)。当前驱体达到沉积基体表面，它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。
3.现有专利(申请号202010213002.4)公开了一种ald加热炉，其背景中也提出传统的ald装置需要将大量反应物导入反应腔室内，使衬底或上一原子层沉浸在前驱体的气氛中，但由于气流和真空限制，难以保证前驱体对整个衬底或上一原子层的全面覆盖，容易形成针孔等缺陷，造成前驱体与衬底或上一原子层接触不均匀，导致成膜均匀性差；同时反应物的导入没有一个很好的调节，反应物导过多会造成资源的浪费，较少又会影响装置加热效果。
4.综上所述，现有的ald加热炉还存在下列的问题：
5.1、由于气流和真空限制，难以保证前驱体对整个衬底或上一原子层的全面覆盖，容易形成针孔等缺陷，造成前驱体与衬底或上一原子层接触不均匀，导致成膜均匀性差；2、反应物的导入没有一个很好的调节。


技术实现要素：

6.本实用新型的主要目的在于提供一种ald加热炉，可以有效解决由于气流和真空限制，难以保证前驱体对整个衬底或上一原子层的全面覆盖，容易形成针孔等缺陷，造成前驱体与衬底或上一原子层接触不均匀，导致成膜均匀性差；反应物的导入以及生成的加热气体没有一个很好的调节的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
8.一种ald加热炉，包括加热箱体，所述加热箱体下端前部和下端后部均安装有两个活动轮，后部所述两个活动轮之间共同安装有移动装置，所述加热箱体前端安装有柜门，所述柜门前端右部安装有把手，所述加热箱体右端中部安装有流量调节装置，所述加热箱体上端左部和上端右部共同安装有加热装置。
9.优选的，所述流量调节装置包括进料管、出料管和控制器，所述进料管外表面前部安装有电磁流量计，所述进料管和出料管外表面中部均安装有电动控制阀，所述电磁流量计和两个电动控制阀与控制器之间均安装有连接线，所述控制器安装在加热箱体右端中部，所述进料管和出料管均安装在加热箱体右端上部。通过电磁流量计对导入反应物的量进行检测，并将信号传递至控制器上，再由控制器控制电动控制阀的开启或者闭合以对导入量进行把控，使加热腔体的内的反应物能够达到一个合适的量。
10.优选的，所述加热装置包括加热腔体，所述加热腔体右端前部和右端后部均开有连接槽，前部所述连接槽内安装有均流板，所述加热腔体上内壁和下内壁之间共同安装有
加热管，所述加热管上端安装有两个加热器，两个所述加热器分别安装在加热箱体上端左部和上端右部，所述加热腔体安装在加热箱体下内壁上。加热腔体内加热完成后由出料管导出时，通过均流板的设计，其能够使气体平稳均匀的流出，进而提高了成膜均匀性。
11.优选的，所述移动装置包括电机和支撑轴，所述电机外表面安装有安装座，所述电机右端安装有一号齿轮，所述支撑轴外表面安装有二号齿轮，所述一号齿轮啮合连接在二号齿轮后端，所述支撑轴安装在后部两个活动轮之间，所述电机通过安装座安装在加热箱体后端下部。电机带动一号齿轮，一号齿轮进而带动二号齿轮及支撑轴进行转动，支撑轴从而带动两侧的活动轮进行转动，从而产生推力推动加热箱体，进而方便加热箱体进行挪动。
12.优选的，所述电磁流量计和两个电动控制阀均通过连接线与控制器电性连接。
13.优选的，所述进料管与连接槽尺寸一致且位置左右对应。
14.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
15.1、当需要使用到ald加热炉时，首先将所需的反应物由流量调节装置上的进料管导入加热装置上的加热腔体内，通过进料管外表面设置有电磁流量计(rc-lde电磁流量计是高精度、高可靠和使用寿命长的流量仪表)和电动控制阀(电动控制阀是一种以电磁阀为向导阀的水力操作式阀门，控制反应准确快速，根据电信号遥控开启和关闭管道路系统，实现远程操作，可取代闸阀和蝶阀用于大型电动操作系统，阀门关闭速度可调，平稳关闭而不产生压力波动，该阀门体积小、重量轻、维修简单、使用方便、安全可靠)，通过电磁流量计对导入反应物的量进行检测，并将信号传递至控制器上，再由控制器控制电动控制阀的开启或者闭合以对导入量进行把控，使加热腔体的内的反应物能够达到一个合适的量，而且加热腔体内加热完成后由出料管导出时，通过均流板的设计，其能够使气体平稳均匀的流出，进而提高了成膜均匀性。
16.2、通过移动装置上的电机带动一号齿轮，一号齿轮进而带动二号齿轮及支撑轴进行转动，支撑轴从而带动两侧的活动轮进行转动，从而产生推力推动加热箱体，进而方便加热箱体进行挪动。
附图说明
17.图1为本实用新型一种ald加热炉的整体结构示意图；
18.图2为本实用新型一种ald加热炉的流量调节装置的整体结构示意图；
19.图3为本实用新型一种ald加热炉的加热装置的整体结构示意图；
20.图4为本实用新型一种ald加热炉的移动装置的整体结构示意图。
21.图中：1、加热箱体；2、流量调节装置；3、加热装置；4、移动装置；5、活动轮；6、柜门；7、把手；20、进料管；21、出料管；22、控制器；23、电磁流量计；24、电动控制阀；25、连接线；30、加热腔体；31、加热器；32、连接槽；33、均流板；34、加热管；40、电机；41、支撑轴；42、一号齿轮；43、二号齿轮；44、安装座。
具体实施方式
22.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后
端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
24.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
25.如图1-4所示，一种ald加热炉，包括加热箱体1，加热箱体1下端前部和下端后部均安装有两个活动轮5，后部两个活动轮5之间共同安装有移动装置4，加热箱体1前端安装有柜门6，柜门6前端右部安装有把手7，加热箱体1右端中部安装有流量调节装置2，加热箱体1上端左部和上端右部共同安装有加热装置3。
26.流量调节装置2包括进料管20、出料管21和控制器22，进料管20外表面前部安装有电磁流量计23，进料管20和出料管21外表面中部均安装有电动控制阀24，电磁流量计23和两个电动控制阀24与控制器22之间均安装有连接线25，控制器22安装在加热箱体1右端中部，进料管20和出料管21均安装在加热箱体1右端上部；在一具体实施方式中，进料管20和出料管21均通过焊接的方式安装在加热箱体1上；电磁流量计23和两个电动控制阀24均通过连接线25与控制器22电性连接。通过电磁流量计23对导入反应物的量进行检测，并将信号传递至控制器22上，再由控制器22控制电动控制阀24的开启或者闭合以对导入量进行把控，使加热腔体30的内的反应物能够达到一个合适的量。
27.加热装置3包括加热腔体30，加热腔体30右端前部和右端后部均开有连接槽32，前部连接槽32内安装有均流板33，加热腔体30上内壁和下内壁之间共同安装有加热管34，加热管34上端安装有两个加热器31，两个加热器31分别安装在加热箱体1上端左部和上端右部，加热腔体30安装在加热箱体1下内壁上；进料管20与连接槽32尺寸一致且位置左右对应。加热腔体30内加热完成后由出料管21导出时，通过均流板33的设计，其能够使气体平稳均匀的流出，进而提高了成膜均匀性。
28.移动装置4包括电机40和支撑轴41，电机40外表面安装有安装座44，电机40右端安装有一号齿轮42，支撑轴41外表面安装有二号齿轮43，一号齿轮42啮合连接在二号齿轮43后端，支撑轴41安装在后部两个活动轮5之间，电机40通过安装座44安装在加热箱体1后端下部；在一具体实施方式中，安装座44通过焊接的方式安装在加热箱体1后端下部。电机40带动一号齿轮42，一号齿轮42进而带动二号齿轮43及支撑轴41进行转动，支撑轴41从而带动两侧的活动轮5进行转动，从而产生推力推动加热箱体1，进而方便加热箱体1进行挪动。
29.需要说明的是，本实用新型为一种ald加热炉，首先通过移动装置4上的电机40带动一号齿轮42，一号齿轮42进而带动二号齿轮43及支撑轴41进行转动，支撑轴41从而带动两侧的活动轮5进行转动，从而产生推力推动加热箱体1，进而方便加热箱体1进行挪动，当需要使用到ald加热炉时，将所需的反应物由流量调节装置2上的进料管20导入加热装置3上的加热腔体30内，通过进料管20外表面设置有电磁流量计23和电动控制阀24，通过电磁流量计23对导入反应物的量进行检测，并将信号传递至控制器22上，再由控制器22控制电
动控制阀24的开启或者闭合以对导入量进行把控，使加热腔体30的内的反应物能够达到一个合适的量，而且加热腔体30内加热完成后由出料管21导出时，通过均流板33的设计，其能够使气体平稳均匀的流出，进而提高了成膜均匀性。
30.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。