一种掩膜版脱膜清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体掩膜版制造技术领域，具体涉及一种掩膜版脱膜清洗装置。


背景技术：

2.掩膜版又称光掩膜版、光罩(photo mask)，由石英或苏打玻璃作为基板衬底，先在玻璃基板上镀上一层金属铬层，然后在铬层上面涂覆光刻胶使其成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备使光刻胶感光，被曝光的区域通过显影、蚀刻在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模母版。近年来国内新型显示面板产量逐年增加，芯片半导体市场逐渐转向内需，因而对掩膜版的需求量也越来越大。
3.在半导体芯片制造过程中，脱膜清洗工艺主要用于两个方面，一是曝光中断或者显影后有mura(mura指显示器亮度不均匀，造成各种痕迹现象)的产品需要脱膜清洗后再涂胶；另一方面是产品在显影蚀刻后，需要将光刻胶保护层祛除，即脱膜工艺。
4.常见的脱膜工艺是手动脱膜，将产品置于脱膜液中浸泡，然后用无尘海绵手动脱膜。手动脱膜一方面需要靠工程师经验来把控脱膜的洁净度，另一方面手动脱膜需要大量纯水冲洗，造成浪费；此外在手动放置到脱膜槽过程中，脱膜槽底部残渣可能对版面造成划伤。


技术实现要素：

5.本实用新型意在提供一种掩膜版脱膜清洗装置，以解决手动脱膜清洗造成膜面划伤及清洗不彻底、不干净的问题，提高了产品良率。
6.为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种掩膜版脱膜清洗装置，包括：
7.脱模槽，所述脱模槽内连接有用于支撑产品的支架；
8.液体输送单元，用于向支架上的产品喷洒脱模液；及
9.驱动单元，所述驱动单元包括电机和转盘，所述电机的输出轴与所述转盘连接，所述脱模槽的底部与所述转盘连接。
10.本方案的原理及优点是：
11.目前我司ic掩膜版的脱膜清洗工艺部分是靠手动操作，手动脱膜的优点是速度快，高效，但缺点一是需要依赖工程师的经验把控脱膜的洁净度，而本方案中采用了自动清洗产品的方式，通过电机带动转盘旋转从而可带动放入脱模槽内的支架上的产品旋转，实现旋转脱模，同时液体输送单元向支架上的产品喷洒脱模液，从而完成对产品的清洗目的，本方案可以通过设置脱模参数，包括电机驱动转盘旋转的速度，设置转盘旋转的时间，以及对脱模液的选择、作用时间等来把控脱模的洁净度；
12.采用手动脱模的缺点二是产品在手动放置脱膜槽过程中，脱膜槽底部的脱模液残渣可能对版面造成划伤，然而本方案中在脱模槽内设置有产品支架，能够对产品起到支撑
作用，避免产品与脱模槽底部接触，因此本方案的装置不容易对版面造成划伤，能够有效提高产品良率；
13.采用手动脱模的缺点三是清洗过程可能会造成大量纯水的浪费，因为手动脱膜时需要将产品放置在脱模液中，而由于产品大小有差异，无法精确控制脱模槽需要脱膜多少片产品合适；
14.另外如果人员对脱模液更换不及时，就可能会造成产品脱模不干净、不彻底的风险。因此在实际操作过程中操作人员会尽量在产生上述风险前更换脱模液，这样无疑会造成脱模液浪费；
15.且由于脱模液需要约为脱模槽的一半高度，保证漫过产品高度，且脱模槽的大小至少为产品的2倍，才能保证产品在脱模过程中不与槽璧碰伤，这样又会增大脱模液量，会大量使用脱模液，造成严重的浪费。而本方案中由于脱模液是通过脱模液输送单元喷洒在支架上的产品上，这样相比于需要提前在脱模槽内盛装大量的脱模液而将产品浸泡的方案，本方案采用喷洒的方式能够节约脱模液用量，且对产品表面进行喷洒的过程中即可将产品表面的残渣冲入脱模槽内而避免粘附在产品表面上，能够进一步提高产品的良率。
16.优选的，作为一种改进，所述脱模槽的底部与所述转盘可拆卸连接。
17.有益效果：如此设置便于安装或拆卸脱模槽，从而便于更根据实际需要将脱模槽从转盘上分离而对其内部进行清洁等操作。
18.优选的，作为一种改进，所述脱模槽的底部连接有连接板，所述连接板的外侧开设竖向设置的插槽，所述转盘上连接有卡条，所述卡条能够插入插槽内。
19.有益效果：本方案中通过卡条和插槽的相互配合即可简单且快速的实现脱模槽与转盘的可拆卸连接方式。
20.优选的，作为一种改进，所述连接板为圆形板状结构，所述连接板上的插槽设有多个，多个所述插槽沿连接板的周向分布，所述转盘上连接有多个卡条，多个所述卡条能够依次插在多个所述插槽内。
21.有益效果：多个插槽和多个卡条周向分布，能够提高脱模槽与转盘之间连接的稳固性，在旋转的过程中更加的稳定和安全。
22.优选的，作为一种改进，还包括底板和支撑柱，所述支撑柱与底板垂直连接，所述支撑柱内开设有安装槽，所述电机位于所述安装槽内，所述转盘的底部连接有导向块，所述支撑柱的顶端开设有环形槽，所述导向块位于所述环形槽内且与所述环形槽周向滑动配合。
23.有益效果：本方案中支撑柱的设置能够将电机收纳在其中，保证电机的干净且更加的安全，另外，本方案中在支撑的顶端还开设有环形槽，这样转盘底部的导向块与环形槽的相互配合能够对转盘的旋转起到导向作用，从而提高转盘运动的平稳性。
24.优选的，作为一种改进，所述支架为镂空结构。
25.有益效果：如此设置支架为镂空结构，便于喷洒到脱模槽内的脱模液进入支架内，这样能够增大脱模槽容纳脱模液的量，避免在未达到清洗时间时脱模槽内脱模液已经溢出。
26.优选的，作为一种改进，所述支架的上部的内侧壁上设置有用于放置产品的放置台。
27.有益效果：本方案中放置台的设置能够对产品起到限位和支撑的作用，使产品放置在支架上更加的平稳。
28.优选的，作为一种改进，所述放置台设有多个，多个放置台沿支架竖向依次设置，且多个所述放置台的宽度沿支架的竖向方向依次减小。
29.有益效果：本方案中多个放置台高低错位设置，这样再同一个支架上即可实现多种尺寸规格的产品的脱膜，无需频繁更换用于支撑限位产品的支架。
30.优选的，作为一种改进，所述液体输送单元包括脱模液筒、输送管、进气管和喷头，所述进气管与所述脱模液筒连通，所述输送管的一端与所述脱模液筒的底部连通，所述输送管的另一端与所述喷头连接，所述喷头位于支架的正上方，所述输送管上连接有阀门。
31.有益效果：本实用新型在实际使用时，通过进气管向脱模液筒内输送氮气，从而利用氮气压力输送脱膜液，脱模液最终通过喷头喷洒出，实际使用通过中喷头可选择喷淋花洒，保证喷淋的均匀性，通过阀门控制输液管的通断，从而控制脱膜液的用量。
32.优选的，作为一种改进，还包括控制器和计时器，所述阀门为电磁阀，所述电磁阀和所述计时器均与所述控制器电连接，计时器每达到一个间隔时间控制器则控制电磁阀动作一次。
33.有益效果：本方案通过计时器和控制器来控制电磁阀的动作，使电磁阀在所设定的时间内处于通或断的状态，通过电磁阀控制输液管输送脱膜液的时间，保证产品的脱膜时间，从而起到控制脱膜液的用量的作用，避免造成浪费。
附图说明
34.图1为本实用新型一种掩膜版脱膜清洗装置实施例一的立体图。
35.图2为本实用新型一种掩膜版脱膜清洗装置实施例一的主视图。
36.图3为本实用新型一种掩膜版脱膜清洗装置实施例一中去掉液体输送单元后的俯视图。
37.图4为图3中c-c处的剖视图。
38.图5为图4中a处的局部放大图。
具体实施方式
39.下面通过具体实施方式进一步详细说明：
40.说明书附图中的附图标记包括：输送管1、脱模液筒2、阀门3、喷头4、脱膜槽5、支撑柱6、支架7、掩膜版8、通孔9、底板10、进气管11、连接板12、转盘13、卡条14、电机15、导向块16、放置台17。
41.实施例1
42.实施例基本如附图1和图2所示：一种掩膜版脱膜清洗装置，包括：
43.脱模槽5，脱模槽5内连接有用于支撑产品的支架7，支架7位于脱模槽5的中央；本实施例中支架7为镂空结构，且支架7整体为长方体结构，支架7内部中空，支架7的顶端以及四周均开设有矩形通孔9；
44.结合图3、图4和图5所示，本实施例中在支架7的上部且位于其内侧壁上设置有用于放置产品的放置台17，本实施例中的放置台17设有三个，三个放置台17沿支架7竖向依次
设置，且三个放置台17的宽度沿支架7的竖向方向依次减小，从而使得三个放置台17高低错位设置，形成台阶结构，产品可搭边放置在放置台上，放置台17的形状与支架7的形状相匹配，也为矩形结构，且放置台17的中央为矩形通孔结构，这样能够避免影响产品顺利的放置在位于下方的放置台17上。
45.位于最上方的放置台17宽度最大，其余两个放置台17的宽度依次减小。实际设计过程中根据实际的产品尺寸规格设计三个放置台17的长宽高，本方案中三个放置台17能够分别实现4英寸、5英寸和6英寸产品的脱模。
46.一种掩膜版脱膜清洗装置还包括液体输送单元，用于向支架7上的产品喷洒脱模液；如图1和图2所示，本实施例中液体输送单元包括脱模液筒2、输送管1、进气管11和喷头4，脱模液筒2安装在厂房的机架上，进气管11与脱模液筒2的顶端连通，通过进气管11能够向脱模液筒2内充入氮气，通过输入的氮气在输送的脱模液的液面上加压，从而将液体输送至喷头4处。
47.输送管1的一端与脱模液筒2的底部连通，输送管1的另一端与喷头4连接，喷头4位于支架7的正上方，本实施例中的喷头4为现有技术中的喷淋花洒，输送管1上连接有阀门3，阀门3可控制输送管1的通或断。脱模液筒2的上部开连通有向其内部补给脱模液的进液口(图中未示出)
48.一种掩膜版脱膜清洗装置，还包括：
49.驱动单元，如图4所示，驱动单元包括电机15和转盘13，电机采用伺服电机，电机15的输出轴与转盘13的中央通过平键与键槽等方式进行连接，脱模槽5的底部与转盘13连接，本实施例中的脱模槽5底部与转盘13可拆卸连接，具体的：如图2所示，脱模槽5的底部连接有连接板12，本实施例中连接板12与脱模槽5一体成型，且连接板12为圆形板状结构，连接板12的外侧开设四个竖向设置的插槽，插槽的底部为开口结构，四个插槽周向均匀分布，转盘13上连接有四个卡条14，四个卡条14能够依次从插槽底部插入四个插槽内。
50.当转盘13上的四个卡条14分别插入连接板12的四个插槽后能够对连接板12起到限位和连接的作用。本实施例中转盘13为矩形板状结构，且四个卡条14分别位于转盘13的四个直角处。
51.如图4所示，本实施例中在连接板12的中央开设有矩形的凹槽，转盘13能够插入连接板12的凹槽内，这样能够进一步增加转盘13和连接板12之间的稳定性和牢固性。
52.本实施例中一种掩膜版脱膜清洗装置还包括底板10和支撑柱6，支撑柱6与底板10垂直固定连接，支撑柱6内同轴开设有安装槽，电机15位于该安装槽内，转盘13的底部通过螺钉连接有导向块16，支撑柱6的顶端开设有环形槽，导向块16位于环形槽内且与环形槽周向滑动配合，导向块16和环形槽的设置能够对转盘13的旋转起到导向的作用，使转盘13的转动运动更加的平稳。
53.具体实施过程如下：先手动将需要脱膜清洗的产品根据产品型号尺寸安全放置到脱膜槽5中心的支架7上，根据工艺确定转盘13所需的旋转速度，将脱膜液注满脱膜液筒，确定输入氮气的压力大小，所有准备工作完成后，设置电机15的转速和旋转时间等参数后，通过启动电机15而驱动转盘13旋转，通过打开阀门3，使脱模液从喷头4向下喷洒在支架7上的产品上而对产品进行清洗脱模，本实施例中旋转脱模和喷洒清洗对产品的脱模效果更好，且速度更快。
54.本实施例中的喷头4采用喷淋花洒，能够保证喷淋的均匀性，且脱膜槽5中心设计的支架7上的三个放置台可以实现4英寸、5英寸和6英寸的掩膜版8的搭边放置，能够避免划伤掩膜版8膜面。且将脱膜槽5放置在一个伺服电机带动的转盘13上，整个转盘13可以实现匀速旋转。
55.本实施例能够实现不同尺寸的掩膜版8的脱膜清洗，且高效快速；更为主要的是可以避免手动脱膜造成的划伤及脱膜不彻底等问题。
56.实施例二
57.本实施例与实施例一的区别在于：一种掩膜版脱模清洗装置还包括控制器和计时器，本实施例中的阀门3为电磁阀，电磁阀和计时器均与控制器电连接，预先设置计时器的间隔时间，使计时器每达到一个间隔时间，即传递一次信号给控制器，控制器则控制电磁阀动作一次，从而实现自动控制输液管通或断的目的。
58.使用计时器设置脱模时间，使控制器控制电磁阀的通断，从而能够保证脱膜时间和脱膜液的用量，避免造成浪费。
59.以上所述的仅是本实用新型的实施例，方案中公知的具体技术方案和/或特性等常识在此未作过多描述。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型技术方案的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。本技术要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。