一种PVD设备载板复位装置的制作方法

一种pvd设备载板复位装置
技术领域
1.本技术涉及太阳能电池制造的领域，尤其是涉及一种pvd设备载板复位装置。


背景技术：

[0002] pvd指物理气相沉积：指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。
[0003]
专利号为cn217127524u的专利公开了载板传送结构以及pvd设备，包括用于传送载板的传送滚轮组，所述载板包括承载本体、分别设置在所述承载本体的底部两侧且用于与所述传送滚轮组相接触的第一凸块以及第二凸块，所述载板传送结构还包括与所述传送滚轮组并排间隔设置的导向轮组，所述导向轮组的转轴沿竖直方向并与所述传送滚轮组的转轴垂直，所述导向轮组的高度低于所述传送滚轮组、直径大于所述传送滚轮组的宽度，并且以距其两侧第一预设距离的方式设置在所述第一凸块底部的导轨内，所述导向轮组在载板即将偏离预定路径时通过推动所述导轨而使所述载板回归所述预定路径。
[0004]
针对上述中的相关技术，发明人认为现有技术中，导轨偏移之后通过导向轮推动是导轨复位，而导向轮位置始终固定，这就导致可能会发生导轨侧壁不断与导向轮侧壁碰撞，使导轨抖动的可能，不便于导轨的复位。


技术实现要素：

[0005]
为了便于导轨复位，本技术提供一种pvd设备载板复位装置。
[0006]
本技术提供的一种pvd设备载板复位装置采用如下的技术方案：
[0007]
一种pvd设备载板复位装置，包括机体、承载本体，设置在承载本体底部的滑轨，设置于承载本体底部的传送辊组，所述承载本体底部设置有若干导向轮，导向轮呈水平设置，两所述导向轮为一组，所述承载本体底部设置有用于支撑一组内两导向轮的支撑杆，所述支撑杆呈水平设置且其长度方向平行于承载本体运动方向，所述支撑杆底部设置有用于带动支撑杆转动的运动组件。
[0008]
通过采用上述技术方案，传送辊组用于减小承载本体与机体之间的摩擦力，便于承载本体在机体上滑移，导向轮用于调节承载本体位置，便于使承载本体始终位于预定运动轨迹上。
[0009]
可选的，所述运动组件包括转动连接于支撑杆底部的换向杆，所述换向杆侧壁设置有便于支撑杆转动后复位的复位弹簧。
[0010]
通过采用上述技术方案，支撑杆支撑导向轮，换向杆与支撑杆转动连接，支撑杆可沿换向杆轴线转动，换向杆侧壁设置的复位弹簧便于支撑杆转动后将支撑杆复位，便于支撑杆的下次工作。
[0011]
可选的，所述支撑杆侧壁开设有转向槽，所述转向槽内穿设有转向杆，所述转向杆顶部固定有转向块，所述转向块上开设有便于转向块带动支撑杆转动的导向面，所述转向
杆底部设置有用于支撑并限制转向杆位置的限制板，所述限制板有两块且两限制板相互平行，所述转向杆穿设于两限制板端面，所述转向杆侧壁固定有限制环，限制板上设置有用于推动转向杆朝向竖直方向的上方滑移的推动弹簧，机体上设置有用于控制转向杆运动的控制部件。
[0012]
通过采用上述技术方案，转向杆向下滑移带动转向块向下滑移，转向块穿设于转向槽中并推动转向槽内侧壁，使支撑杆转动，推动弹簧推动转向杆向上滑移，便于转向杆的复位，同时限制板与限制环相互配合，限制转向杆在竖直方向上的运动距离，减小了转向杆在推动弹簧作用下与承载本体底部接触的可能。
[0013]
可选的，所述控制部件包括设置在机体上的转向轮，所述转向轮侧壁缠绕有转向绳，所述机体上滑动连接有控制杆，所述转向绳一端固定于转向杆底部，另一端固定于控制杆端部。
[0014]
通过采用上述技术方案，拉动控制杆，控制杆带动转向绳运动，在转向轮的作用下，转向杆朝向竖直方向上的下方滑移，便于控制转向杆的滑移。
[0015]
可选的，所述机体上设置有若干检测板，所述检测板位于导轨底部且初始状态时检测板呈倾斜设置并抵触于导轨下端面，所述机体上设置有用于使检测板呈竖直设置的定位弹簧，所述检测板底部设置有驱动块，所述驱动块内部设置有导电杆，所述控制杆远离转向绳的端部设置有控制气泵，所述控制气泵活塞杆固定于控制杆端部，所述机体上设置有用于启动控制气泵的启动组件。
[0016]
通过采用上述技术方案，机体底部设置检测板，检测板抵触于导轨底部，导轨偏移时，在定位弹簧的作用下检测板由倾斜状态变为竖直状态，同时推动驱动块向下滑移，将控制气泵启动，控制气泵带动控制杆运动从而带动转向杆运动。
[0017]
可选的，所述启动组件包括与控制气泵接线处连接的两连通杆，两所述连通杆内部设置有用于与控制气泵连接的导线，所述驱动块滑动连接于所述连通杆。
[0018]
通过采用上述技术方案，驱动块向下滑移时导线与导电杆接触，控制气泵启动，使机体能够自动控制导轨复位。
[0019]
可选的，所述所述检测板上开设有便于导轨推动检测板运动的导向面。
[0020]
通过采用上述技术方案，检测块上开设导向面，便于导轨推动检测块由竖直状态转变为倾斜状态。
[0021]
可选的，所述检测板顶部为三角形。
[0022]
通过采用上述技术方案，三角形的检测块便于更快捷的检测到导轨是否发生了偏移。
[0023]
综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
[0024]
1.在发现导轨运动轨迹偏离了预定轨迹时，拉动控制杆即可调节承载本体，使导轨运动轨迹复位，减小了导轨抖动的可能；
[0025]
2.换向杆侧壁设置复位弹簧，换向杆滑移后自动复位，便于下次操作的进行。
附图说明
[0026]
图1是本技术实施例1的整体结构示意图。
[0027]
图2是导向轮固定方式示意图。
[0028]
图3是本技术实施例2的整体结构示意图。
[0029]
图4是导电杆固定方式剖面图。
[0030]
附图标记说明：1、机体；2、承载本体；3、滑轨；4、传送辊组；5、导向轮；6、支撑杆；7、换向杆；8、复位弹簧；9、转向槽；10、转向杆；11、转向块；12、限制板；13、限制环；14、推动弹簧；15、转向绳；16、控制杆；17、检测板；18、驱动块；19、导电杆；20、控制气泵；21、连通杆。
具体实施方式
[0031]
以下结合附图1-4对本技术作进一步详细说明。
[0032]
实施例1：
[0033]
本技术实施例公开一种pvd设备载板复位装置，参照图1和图2，包括机体1，机体1通过螺栓固定于地面，机体1上设置有承载本体2，承载本体2用于运输承载物，承载本体2底部粘接有滑轨3，滑轨3分布于承载本体2运动方向的两侧，机体1上设置有传送辊组4，传送辊组4包括若干传送辊，传送辊通过转轴转动连接于机体1，承载本体2底部设置有四个导向轮5，四个导向轮5均匀分布于两滑轨3底部，四个导向轮5均呈水平设置，导向轮5轴线方向垂直于传送辊轴线方向，若干传送辊轴线相互平行且若干传送辊均位于导轨下端，导向轮5上端面高度低于传送辊侧壁最高点高度；承载本体2底部设置有两支撑杆6，支撑杆6长度方向平行于承载本体2运动方向，同一滑轨3底部的两导向轮5分别通过转轴转动连接于支撑杆6长度方向的端部，支撑杆6底部转动连接有换向杆7，同一滑轨3底部的两导向轮5关于换向杆7轴线对称，支撑杆6底部设置有运动组件，运动组件用于带动支撑杆6绕换向杆7轴线转动，换向杆7侧壁设置有复位弹簧8，复位弹簧8为扭力弹簧，复位弹簧8便于支撑杆6转动后自动复位。
[0034]
参照图1和图2，支撑杆6侧壁开设有转向槽9，转向槽9沿竖直方向贯穿支撑杆6，转向槽9位于支撑杆6靠近导向轮5的侧壁，两支撑杆6上开设的转向槽9关于两支撑杆6连线的中轴线呈对称设置，转向槽9内穿设有转向杆10，转向杆10呈竖直设置，机体1上一体成型有两限制板12，两限制板12相互平行，转向杆10穿设于限位板端面，转向杆10侧壁一体成型有限制环13，限制环13位于两相互平行的限制板12之间，限制板12用于支撑转向杆10，减小转向杆10掉落的可能，同时限制板12与限制环13相互配合从而限制转向杆10的运动距离，转向杆10顶部一体成型有转向块11，转向块11正对于转向槽9的端面上开设有导向面，转向块11端面上开设的导向面便于转向块11推动支撑杆6转动，限制板12上设置有推动弹簧14，推动弹簧14一端粘接于限制板12端面，另一端粘接于转向杆10侧壁，推动弹簧14用于推动转向杆10朝向竖直方向上的上方滑移。
[0035]
参照图1和图2，机体1上设置有控制部件，控制部件用于控制转向杆10的滑移，控制部件包括通过转轴转动连接于机体1上的两转向轮，两转向轮轴线均呈水平设置，两转向轮分别位于两导轨下方，机体1上滑动连接有控制杆16，控制杆16呈水平设置且控制杆16用于控制转向杆10朝向竖直方向的下方滑移，转向轮侧壁缠绕有转向绳15，转向绳15一端粘接于转向杆10底部，另一端粘接于控制杆16端部，机体1上一体成型有阻碍板，阻碍板抵接于控制杆16粘接有转向绳15的端部，阻碍板用于减小控制杆16在推动弹簧14作用下脱离机体1的可能。
[0036]
本技术实施例1的实施原理为：当发现承载本体2偏离预定轨道时，拉动控制杆16，
控制杆16带动两转向绳15运动，在转向轮的作用下，转向绳15拉动转向杆10朝向竖直方向的下方滑移，转向块11随转向杆10同步滑移并穿设在转向槽9中，将支撑杆6推动，同时由于两支撑杆6上开设的转向槽9关于两支撑杆6连线的中轴线呈对称设置，故两支撑杆6的转动方向相反，便于将偏离预定轨道的承载本体2调节至正确位置。
[0037]
实施例2：
[0038]
实施例2与实施例1的区别在于，参照图1和图3，机体1上设置有若干检测板17，检测板17呈竖直设置且检测板17竖直方向的中部通过转轴转动连接于机体1，检测板17顶部为三角形，检测板17位于导轨下方，机体1上设置有定位弹簧，定位弹簧为扭力弹簧，定位弹簧用于使检测板17呈竖直设置，初始状态时检测板17呈倾斜设置且检测板17顶部的尖端抵触于导轨下端面，导轨偏移时检测板17在定位弹簧的作用下由倾斜状态转变为竖直状态，检测板17上开设有导向面，检测板17上开设的导向面便于导轨推动检测板17运动，导轨回正时，在导向面的作用下检测板17由竖直状态转变为倾斜状态，三角形的检测板17便于更准确的控制导轨位置。
[0039]
参照图3和图4，机体1上通过螺栓固定有控制气泵20，控制气泵20活塞杆粘接于控制杆16远离转向绳15的端部，控制气泵20用于带动控制杆16运动，从而控制导轨复位，机体1上设置有启动组件，启动组件用于启动控制气泵20，启动组件包括两连通杆21，两连通杆21位于控制气泵20接线处，连通杆21上开设有导电孔，导电孔内穿设有导线，导线用于与控制气泵20的接线处连接；检测板17底部设置有驱动块18，且初始状态时驱动块18上端面抵触于检测板17下端面，驱动块18滑动连接于连通杆21，驱动块18内部穿设有导电杆19，导电杆19用于与两连通杆21内的导线接触，并使控制气泵20启动，连通杆21上设置有驱动弹簧，驱动弹簧用于推动驱动块18朝向竖直方向的上方滑移，驱动弹簧一端粘接于连通杆21上端面，另一端粘接于驱动块18下端面，导轨偏移带动检测板17由倾斜状态转变为竖直状态，同时带动驱动块18向下滑移使驱动块18内的导电杆19与连通杆21内的导线连通，控制气泵20启动并拉动控制杆16，使导轨复位，复位后在驱动弹簧的作用下，驱动块18上移，控制气泵20停止工作。
[0040]
本技术实施例2的实施原理为：导轨偏移，检测板17在定位弹簧的作用下变为竖直状态，从而推动驱动块18向下滑移，使控制气泵20通电，控制气泵20带动导向轮5运动使导轨恢复至预定运动轨迹，同时检测板17与导轨底部重新抵接。
[0041]
以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。