一种阻尼可调的驱动导向一体化精密运动平台

技术特征：
1.一种阻尼可调的驱动导向一体化精密运动平台，其特征在于，所述平台包括基座及安装于基座上的：音圈作动电机，其包括作动定子组件和位于所述作动定子组件内的作动动子组件，所述作动定子组件产生音圈作动磁场，所述作动动子组件在所述音圈作动磁场中受到电磁力作用而运动，传递出音圈作动力；主动阻尼电机，其包括阻尼定子组件和位于所述阻尼定子组件内的阻尼动子组件；所述阻尼定子组件产生阻尼电机磁场，所述阻尼动子组件在所述阻尼电机磁场中运动产生与所述音圈作动力运动方向相反、运动速度大小近似呈或呈线性关系的输出阻尼力；柔性导向机构，其与所述音圈作动电机和主动阻尼电机均相连；所述音圈作动电机输出的所述音圈作动力和所述主动阻尼电机输出的所述输出阻尼力共同作用于所述柔性导向机构上，所述柔性导向机构受力变形，通过变形传递力和运动。2.根据权利要求1所述的一种阻尼可调的驱动导向一体化精密运动平台，其特征在于，所述作动定子组件具体包括音圈作动定子铁芯和永磁体，所述永磁体贴在所述音圈作动定子铁芯的内轭设置，其在音圈作动定子铁芯内形成均匀的所述音圈作动磁场。3.根据权利要求2所述的一种阻尼可调的驱动导向一体化精密运动平台，其特征在于，所述作动动子组件位于所述音圈作动定子铁芯内且与音圈作动定子铁芯的内端面相对，且与音圈作动定子铁芯之间存在间隙。4.根据权利要求3所述的一种阻尼可调的驱动导向一体化精密运动平台，其特征在于，所述作动动子组件包括动子线圈和动子线圈支架，所述动子线圈通过灌胶灌封于所述动子线圈支架内，与动子线圈支架一体构成扁平型的所述作动动子组件。5.根据权利要求1所述的一种阻尼可调的驱动导向一体化精密运动平台，其特征在于，所述阻尼定子组件具体包括主动阻尼定子铁芯和励磁线圈，所述励磁线圈绕行在所述主动阻尼定子铁芯上，对所述励磁线圈通电形成均匀的所述阻尼电机磁场。6.根据权利要求5所述的一种阻尼可调的驱动导向一体化精密运动平台，其特征在于，所述阻尼动子组件与所述主动阻尼定子铁芯的内端面相对，且与主动阻尼定子铁芯之间存在间隙。7.根据权利要求6所述的一种阻尼可调的驱动导向一体化精密运动平台，其特征在于，所述阻尼动子组件包括导电板和导电板支架，所述导电板通过灌胶灌封于所述导电板支架内，与所述导电板支架一体构成扁平型的所述阻尼动子组件。8.根据权利要求1所述的一种阻尼可调的驱动导向一体化精密运动平台，其特征在于，所述柔性导向机构设置有用于安装所述作动动子组件的第一定位槽，所述作动动子组件通过所述第一定位槽固定于柔性导向机构上；所述柔性导向机构上还设置用于安装所述阻尼动子组件的第二定位槽，所述阻尼动子组件通过所述第二定位槽固定于柔性导向机构上。

技术总结
本实用新型公开了一种阻尼可调的驱动导向一体化精密运动平台，所述平台包括基座及安装于基座上的音圈作动电机、主动阻尼电机和柔性导向机构，音圈作动电机包括作动定子组件和作动动子组件，作动动子组件传递出音圈作动力；主动阻尼电机包括阻尼定子组件和阻尼动子组件，阻尼动子组件产生输出阻尼力；柔性导向机构与音圈作动电机和主动阻尼电机均相连；音圈作动电机输出的音圈作动力和主动阻尼电机输出的输出阻尼力共同作用于柔性导向机构上，使其受力变形，通过变形传递力和运动。本实用新型提供了一种结构紧凑、动子轻量化、力密度高及能够有效驱动运动平台达到纳米级的高精度或实现高速定位的精密运动平台。度或实现高速定位的精密运动平台。度或实现高速定位的精密运动平台。


技术研发人员：张驰 桑娜 黄晓路 余宏涛 汪惟桢 任建泽 杨桂林
受保护的技术使用者：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
技术研发日：2022.09.16
技术公布日：2022/12/20