一种光罩清洗检测装置及方法与流程

1.本发明涉及半导体器件的辅助工艺技术领域，尤其涉及一种光罩清洗检测装置及方法。


背景技术：

2.光罩(光掩膜)作为曝光设备中的重要元件，需要其存放、搬运环境具备必需的洁净度、安全性和稳定性，在半导体芯片和面板造过程中，需要使用到各种规格的光罩，而光罩在存储过程中，必须使用其专用的工具，以保证光罩不会被污染或者损坏，而对已经有粉尘或有机物的光罩则需要进行清洗及检查之后才可以进入曝光机使用。
3.现有设备对光罩实行清洗或检验功能，没有将两者结合在一起协同使用，例如公开号为cn114011791a提出的一种光罩清洗装置及其清洗方法，包括机体，设置于机体内的置物台、药液浸泡槽和刷洗槽，于药液浸泡槽的上方固定安装有第一抓取模块，刷洗槽的上方固定安装有第二抓取模块，于药液浸泡槽对应的位置安装有第一刷洗组件，刷洗槽对应的位置固定安装有第二刷洗组件。该发明采用多槽自动清洗模式，能够对光罩进行多次清洗，但是清洗结果需要在清洗结束进行检测后才能得到。即完成清洗后需要将光罩运送至检测台才能进行检测，检测合格后投入下一环节的生产工艺；检测不合格的光罩需要经转运后再次清洗，而将光罩运送到检测台的过程无疑增加了光罩受到污染和损耗的概率。
4.并且，在对光罩进行清洗的时候，由于光罩相对于用于卡合光罩的顶针来说尺寸较大，光罩在运动过程中往往不能实现与顶针间的相对静止，这会导致光罩与顶针之间存在相对滑动，尤其时在光罩旋转清洗过程中，顶针的相对滑动的距离会增大从而导致划伤甚至破坏光罩上的图案对光罩产生不可恢复的影响，而通过将顶针和光罩过度连接的方式也会造成顶针刺穿并损伤光罩表面。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本发明的目的是提供一种光罩清洗检测装置及方法，以解决上述提到顶针容易对光罩上的图案造成磨损的问题。
6.本发明通过以下技术手段解决上述技术问题：包括：壳体和设置在壳体内的清洗部，清洗部包括夹具头，夹具头包括若干与光罩卡合连接的顶针，顶针和光罩的贴合处设置有缓冲结构，夹具头还包括运动结构，运动结构包括分别连接有顶针的第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆，第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆之间通过齿轮结构传动连接。本技术通过对现有带动光罩进行相对位移的顶针进行改进，首先是三个固定光罩顶角的顶针可以分别在x、y、z三个方向上移动，从而能够完全卡合至光罩，顶针与光罩之间不存在缝隙从而降低顶针与光罩之间相对滑动造成的光罩上的图案被损坏，进一步地，顶针与光罩之间的连接处通过缓冲结构进行连接，减轻了顶针对光罩表面的摩擦滑损和顶针与光罩之间的过度连接。
7.进一步，清洗部还包括供液组件，供液组件包括药液槽、药液混合腔、药液循环腔
和连接管路，药液槽、药液混合腔和药液循环腔之间依次通过连接管路连通。本技术中使用多个储存有不同种类药液的药液槽提供不同清洗环节需要的药液种类，进一步地，药液先在混合腔内充分混合再通过药液循环腔进行温度和浓度调节后对光罩表面进行清洗，自动化程度高且降低了提高了药液的利用率。
8.进一步，壳体内还设置有运输部，运输部包括夹具单元，夹具单元上设置有洁净顶针和污染顶针，洁净顶针和污染顶针上设置有对应的洁净顶针保护罩和污染顶针保护罩。本技术使用两套用于夹持的顶针以区分性地对洁净光罩和非洁净光罩进行夹持，避免了以清洁合格的光罩在夹持过程中被夹具单元二次污染。
9.进一步，污染顶针保护罩包括罩体和连接杆，罩体套设在污染顶针上，罩体与连接杆固定连接。通过分别在污染顶针和洁净顶针上设置保护罩的方式，能够避免洁净顶针在转运光罩过程中受到来自光罩和装置内药液的污染，以保证在夹取洁净光罩时使用的洁净顶针的洁净度，同时，对污染顶针进行保护的目的在于避免污染顶针在运输过程中受污染程度加重并对处于清洁过程中的光罩造成污染。
10.进一步，清洗部包括冲洗刷，冲洗刷包括使用时分别贴合至光罩正反表面的刷洗结构和滚轮清洗结构，以及驱动刷洗结构和滚轮清洗结构相对于光罩移动的升降驱动结构。本技术通过设置多个能够对光罩表面进行摩擦清洗的清洗部件，实现对光罩表面的来回往复清洗，从而提高清洁效果。
11.进一步，壳体内还设置有处于运输部移动路线上的检测部。本装置通过将检测部和清洗部结合在一个装置内的方式，能够立刻对清洗完成的光罩的表面情况进行检查，优化了光罩清洗完成后运送到检测装置过程中受污染的现象，进一步地，对于未清洁完成的光罩可以立刻进行再次清洗，直至光罩清洗合格并输出。
12.进一步，清洗部还包括抖动组件，抖动组件包括晶振。使用晶振作为抖动组件能够在浸泡清洗过程中以超声波冲洗的方式去除光罩表面的污染，提高清洗效率。
13.一种使用光罩清洗装置的光罩清洗检测方法，方法包括以下步骤：s1：将光罩进行药液浸泡刷洗；s2：检查光罩表面刷洗情况，若检查结果为未完成刷洗则回到s1步骤，若检查结果为完成刷洗则继续下一步；s3：使用纯水对光罩进行喷淋刷洗；s4：检查光罩表面冲洗情况，若检查结果为未完成冲洗则回到s3步骤，若检查结果为完成冲洗则继续下一步；s5：快速旋转光罩并吹干光罩上的水分，清洗完成。通过在光罩清洗过程中不断对光罩清洗情况进行检测，提高了光罩的清洗效率，优化了当某个清洗环节清洗不合格需要对光罩再次进行整个清洗环节的现象，提高了光罩的清洗效率。
14.进一步，吹干光罩上的水分步骤中使用的气体为氮气。干燥光罩使用的气体可以是氮气和ipa蒸汽的混合气体，能够高速旋转中的光罩进行干燥且不会对光罩造成二次污染。
15.本发明的有益效果：
16.1、本技术通过对现有带动光罩进行相对位移的顶针进行改进，首先是顶针可以在xyz三个方向上移动，从而能够完全卡合至光罩，顶针与光罩之间不存在缝隙从而降低顶针与光罩之间相对滑动造成的光罩上的图案被损坏，进一步地，顶针与光罩之间的连接处通过缓冲结构进行连接，减少了顶针对光罩表面的摩擦滑损。
17.2、本技术使用两套用于夹持的顶针以区分性地对洁净光罩和非洁净光罩进行夹
持，避免了以清洁合格的光罩在夹持过程中被夹具单元二次污染，且通过分别在污染顶针和洁净顶针上设置保护罩的方式，能够避免洁净顶针在转运光罩过程中受到来自光罩和装置内药液的污染，以保证在夹取洁净光罩时使用的洁净顶针的洁净度，同时，对污染顶针进行保护的目的在于避免污染顶针在运输过程中受污染程度加重并对处于清洁过程中的光罩造成污染。
18.3、本装置通过将检测部和清洗部结合在一个装置内的方式，能够立刻对清洗完成的光罩的表面情况进行检查，优化了光罩清洗完成后运送到检测装置过程中受污染的现象，进一步地，对于未清洁完成的光罩可以立刻进行再次清洗，直至光罩清洗合格并输出。
附图说明
19.图1是本发明光罩清洗检测装置实施例的结构示意图；
20.图2是本发明光罩清洗检测装置的清洗部结构示意图；
21.图3是本发明光罩清洗检测装置的冲洗刷结构示意图；
22.图4是本发明光罩清洗检测装置的夹具头结构示意图；
23.图5是本发明光罩清洗检测装置的光罩清洗检测流程图；
24.图6是本发明光罩清洗检测装置的夹具单元结构示意图；
25.图7是本发明光罩清洗检测装置的夹具头立体结构示意图；
26.其中，
27.1：放置部；11：限位顶针；12：支撑顶针；13：尺寸切换组件；14：限位驱动组件；2：清洗部；200：槽体；21：浸泡刷；22：冲洗刷；221：刷洗结构；2211：刷洗滚轮；2212：滚轮支撑杆；2213：旋转驱动部件；2214：传动部件；22141：第一锥齿轮；22142：第二锥齿轮；22143：第三锥齿轮；22144：第四锥齿轮；22145：齿轮传动皮带；2215：夹持运动部件；22151：夹持驱动组；22152：驱动连接杆；22153：齿轮传动组；2216：支撑杆限制部件；22161：夹持限位卡扣；22162：空闲限位卡扣；22163：位置切换驱动；22164：连接板；222：滚轮清洗结构；2221：清洗喷嘴；2222：连接结构；2223：吸附擦拭结构；2224：运动驱动结构；223：连接杆；224：壳体；225：升降驱动结构；23：夹具单元；231：夹具头；2311：顶针；2312：运动结构；23121：第一连接杆；23122：水平放置齿轮组；23123：第二连接杆；23124：竖直放置齿轮组；23125：第三连接杆；2313：缓冲结构；2314：夹持驱动；24：驱动单元；25：抖动组件；26：吹扫组件；27：供液组件；271：药液槽；272：药液混合腔；273：药液循环腔；274：连接管路；28：液位检测组件；29：冲洗喷淋组件；3：检测部；31：反射照明系统；32：图像传感器；33:45
°
半透半反分束板；34：聚光透镜；35：光罩移动平台；36：透射照明系统；37：透射三棱镜；38：反射三棱镜；39：光源；4：运输部；41：水平运动驱动；42：垂直运动驱动；43：连接支撑住；44：连接件；45：夹具单元；451：污染顶针保护罩；4511：罩体；4512：连接杆；4513：旋转运动结构；4514：升降运动机构；452：洁净顶针保护罩；453：洁净顶针；454：污染顶针；455：洁净顶针驱动结构；456：污染顶针驱动结构；457：壳体；5：壳体。
具体实施方式
28.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于
本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
29.本发明中，第一方向指的是ox方向，第二方向指的是oy方向，第三方向指的是oz方向。
30.实施例1、
31.如图1所示，本发明的光罩清洗检测装置，包括放置部1、清洗部2、检测部3、运输部4和壳体5。放置部1、清洗部2、检测部3和运输部4都设置在壳体5内。放置部1用于放置光罩以便于光罩的运输；清洗部2用于对光罩进行浸泡和清洗；检测部3设计为采用透射反射探测(starlight)表面脏污状况进行检查的结构；运输部4用于将光罩在清洗部2、检测部3和放置部1之间来回运输传递。
32.放置部1包括限位顶针11、支撑顶针12、尺寸切换组件13和限位驱动组件14。通过将与光罩接触的部分设置为顶针能够减少放置部1与光罩间的接触面积，从而降低放置部1对光罩上的图案的破环。限位顶针11上一部分经切削后形成能够放置光罩的平台，通过设置多个限位顶针11卡合之光罩的边缘即可实现将光罩设置在多个限位顶针11之间。光罩设置在多个限位顶针11之间的平台上。优选地，设置三个限位顶针11，分别位于连接光罩时的三条边上。光罩的第四条边通过支撑顶针12进行支撑。支撑顶针12的结构与限位顶针11结构相同，区别在于支撑顶针12能够在限位驱动组件14升起或下降。在对光罩进行限位时，先控制支撑顶针12处于下降状态，然后通过限位顶针11对光罩的三条边进行卡合，利用限位驱动组件14控制支撑顶针12升起对光罩的第四条边进行卡合支撑。限位顶针11和支撑顶针12的设置位置可根据支撑物的形状进行设置，本技术中光罩为矩形，限位顶针11和支撑顶针12分别连接至光罩的四条边上。优选地，限位顶针11和支撑顶针12的数量为8。限位驱动组件14可以是液压升降装置等，设置目的在于控制支撑顶针12的升起和下降，现有技术中升降装置的应用极多，此处不再一一赘述。尺寸切换组件13用于对限位顶针11和支撑顶针12之间的距离进行调整，从而改变限位顶针11和支撑顶针12之间围成区域的面积以适应与不同尺寸的光罩或其他支撑物，相关内容现有技术也已成熟，此处也不再赘述。
33.清洗部2包括设置在槽体200内的浸泡刷21、冲洗刷22、夹具单元23和驱动组件24。夹具单元23与放置部1中的限位顶针11和支撑顶针12的作用原理相同，通过夹具头231对光罩进行卡合固定，后文详细描述。驱动组件24用于控制夹具单元23在槽体200内旋转和移动，具体的，驱动组件24可以是机械臂等传动结构。驱动组件24还可控制夹具头231的升起和下降。浸泡刷21和冲洗刷22分别设置在槽体200内的内壁上不同位置。浸泡刷21所在位置即为浸泡位，对应的，冲洗刷22所在位置即为冲洗位。驱动组件24能够将夹具单元23上的光罩以表面贴合至浸泡刷21或冲洗刷22的方式设置到浸泡位或冲洗位，控制光罩在浸泡刷21或冲洗刷22上进行接触式的擦拭。
34.清洗部2还包括抖动组件25、吹扫组件26、供液组件27和液位检测组件28。抖动组件25设置在槽体200内壁。优选地，抖动组件25设置在浸泡刷21所在的内壁面上。抖动组件25内设置有晶振，通过晶振将冲洗液形成振动(超声波清洗)从而实现对光罩表面的冲击，从而去除浸泡刷洗时残留在光罩表面的污渍。吹扫组件26用于对光罩两面进行ipa蒸汽、热氮气等吹扫以实现对光罩表面的干燥。供液组件27用于向槽体200内提供不同种类的清洗液。供液组件27包括多个药液槽271、药液混合腔272、药液循环腔273和连接管路274。不同
的药液槽271内储存有不同种类的药液例如纯水、sc1溶液和sc2溶液等。药液槽271通过连接管路274汇集到药液混合腔272，药液混合腔272用于从不同的药液槽271内抽取不同类型的药液以获得响应不同清洗过程需要的不同种类的混合药液和不同浓度的混合药液。在药液混合后，进入到药液循环腔273内对混合药液进行控温等以将合适温度、合适浓度的药液不断的补充控制在2清洗槽内。液面检测组件28用于对槽体200内的液面高度进行检测，以保证供液组件27注入槽体200的药液量满足使用要求且不会对夹具单元23造成污染或腐蚀。
35.清洗部2还包括设置在吹扫组件26所在位置的冲洗喷淋组件29，用于对处于冲洗位的光罩进行纯水冲洗，其通过连接管路274与药液循环腔273连接。
36.如图3，冲洗刷22包括刷洗结构221、滚轮清洗结构222、连接杆223、壳体224和升降驱动结构225。刷洗结构221和滚轮清洗结构222设置在壳体224内。刷洗结构221和滚轮清洗结构222架设在光罩的两个表面按照能够同步进行刷洗工作设置。升降驱动结构225设置在槽体200与壳体224之间用于驱动壳体224和壳体224内的刷洗结构221和滚轮冲洗结构222在光罩表面滑动。优选地，升降驱动结构225的原理可以是液压传动，皮带传动等。
37.具体的，刷洗结构221和滚轮清洗机构222安装在壳体224内。壳体224内设置有限制刷洗结构221和滚轮清洗机构222位移运动的结构(例如固定螺栓)，以对刷洗结构221和滚轮清洗机构222在壳体224内的运动情况进行限制。连接杆223用于壳体224和升降驱动结构225连接，以实现壳体224能够在升降驱动结构225的带动下进行移动。
38.刷洗结构221包括刷洗滚轮2211、滚轮支撑杆2212、旋转驱动部件2213、传动部件2214、夹持运动部件2215和支撑杆限制部件2216等组成。传动部件2214将旋转驱动部件2213的运动传递到安装在滚轮支撑杆2212上的刷洗滚轮2211上，以实现在冲洗刷22相对于光罩进行位移时刷洗滚轮2211对光罩表面的旋转擦拭，以保证光罩表面擦拭的更加干净。传动部件2214由与旋转驱动部件2213连接在一起的第一锥齿轮22141、切换第一锥齿轮22141运动方向的第二锥齿轮22142、可在与第二锥齿轮22142同轴的轴上(一定范围内)进行直线运动的第三锥齿轮22143、切换第三锥齿轮22143运动方向的第四锥齿轮22144、与第四锥齿轮22144同轴连接并与刷洗滚轮2211同轴连接的齿轮带传动组22145等组成。刷洗滚轮2211由能够擦拭光罩表面的特殊材质的纤维材料与轴体结构等组成。轴体结构限制、固定纤维材料在轴体结构上，同时与齿轮带传动组22145配合，以实现纤维材料在光罩表面的旋转擦拭。夹持运动部件2215与滚轮支撑杆2212配合在一起，以实现夹持运动部件2215对刷洗结构221接触光罩与否的控制。夹持运动部件2215由夹持驱动组22151，驱动连接杆22152，齿轮传动组22153等组成。驱动连接杆22152与夹持驱动组22151连接固定在一起，同时与齿轮传动组22153一端的齿轮配合，以实现将驱动连接杆22152上齿条部分的直线运动转换为齿轮传动组22153的旋转运动。齿轮传动组22153的一段与滚轮支撑杆2212上齿条的结构配合，以实现滚轮支撑杆2212在224壳体(限制滚轮支撑杆2212的运动轨迹)上的直线运动(当齿轮(两齿条安装于齿轮的两侧)旋转时，两平行、相对安装的齿条形成相反方向的运动，即对光罩的夹持接触与释放脱离的位置切换)。支撑杆限制部件2216由两个类似雨伞卡扣的夹持限制卡扣22161、空闲限制卡扣22162、位置切换驱动22163、连接板22164等组成。连接板22164设计为包裹滚轮支撑杆2212的结构，即夹持限制位卡扣22161、空闲限制卡扣22162可进入到滚轮支撑杆2212上设定的沟槽位置，以实现对刷洗结构221的位置限制。位置切换驱动22163(与夹持运动结构2215类似)与连接板22164连接在一起，以实现在夹持
限制位和空闲限制位间进行切换。滚轮清洗机222构由清洗喷嘴2221、连接结构2222、吸附擦拭结构2223和运动驱动结构2224(与夹持运动结构2215类似)等组成。连接结构2222将清洗喷嘴2221和吸附擦拭结构2223固定在滚轮清洗机构222中。运动驱动结构2224与连接结构2222连接在一起，以实现滚轮清洗与否的位置切换。在刷洗滚轮2211旋转时，吸附擦拭结构2223接触到刷洗滚轮2211上纤维结构，下方持续喷射出洁净的纯水(必要时可以是相应的清洗药液)，通过吸附擦拭结构2223对不断旋转中的刷洗滚轮2211进行擦拭，以去除其表面纤维结构中携带擦拭光罩时的脏污。在清洗一定次数或其他无法满足刷洗条件时，可以对吸附擦拭结构2223进行清洁/更换或刷洗滚轮2211上纤维结构的更换等，以保证刷洗时的擦拭效果。
39.如图4和图7，夹具头231包括顶针2311、运动结构2312、缓冲结构2313和夹持驱动2314。运动结构2312由第一连接杆23121、水平放置齿轮组23122、第二连接杆23123、竖直放置齿轮组23124、第三连接杆23125等组成。第三连接杆23125上安装有顶针2311，在顶针2311前端设置有缓冲结构2313，以缓冲顶针2311夹持光罩时的过度连接。第一连接杆23121与夹持驱动2314连接在一起(由于图示为第一连接杆23121与夹持驱动2314连接在一起，因此不对第二连接杆23123与夹持驱动2314具体连接在一起的情况进行重复说明)，以实现顶针2311在方向的运动。与第一连接杆23121上的齿条结构配合的水平放置齿轮组23122上的一个齿轮旋转，水平放置齿轮组23122另外一段与第二连接杆23123上的齿条结构配合，以实现将第一连接杆23121在x方向的运动传递到第二连接杆23123上，实现第二连接杆23123在y方向上的运动，以实现对光罩另一侧面的压紧。类似地，与第二连接杆23123上的齿条结构配合的竖直放置齿轮组23124上的一个齿轮旋转，竖直放置齿轮组23124另外一段通过齿条结构与第三连接杆连接，以实现将连接杆第二23123在y方向的运动传递到第三连接杆23125上，实现第三连接杆23125在z方向上的运动,以实现对光罩表面的压紧。通过运动机构2312将顶针2311在xyz轴(三个相互垂直的轴)三个方向上运动，以实现缓冲结构2313与光罩的接触，进而实现对光罩的固定。一个夹具头231仅用于对光罩一个角落挤压和固定，通过设置4个夹具头的方式能够实现对光罩的挤压固定。顶针2311在接触到光罩后在缓冲结构2313(内设置弹簧进行缓冲，同时表面布置有类似橡胶的物质，既有缓冲的作用，又不会对光罩表面造成伤害，同时具有耐腐蚀性，不会产生额外的脏污等)的作用下可以继续运动，但不会对光罩表面、侧面造成损伤。
40.检验部3包括反射照明系统31，图像传感器32，45
°
半透半反分束板33，聚光透镜34，光罩移动平台35，透射照明系统36，透射三棱镜37，反射三棱镜38，光源39等主要组成单元以及其他辅助单元(如盖板等未在图中绘制出)组成。检测部3为透射反射探测(starlight)，即将光源通过可以自行切换反射和透射的光路对光罩表面进行反射、透射检验。在自行切换反射和透射的光路后会得到两组测试结果，通过这两种结果的对比可以得到光罩表面状况(存储在该光罩所对应的信息内)。将测试结果和要求进行对比，若在要求的范围内，则通过传输手臂进行传输实施下一步的操作；反之，则报警提示光罩表面有问题或继续进行光罩表面清洗、检验。
41.运输部4可以是传统的机械臂结构实现对光罩的夹持运输。优选地，运输部4可以是带有与上述提到的夹具头231的传动结构。运输部4能够在设定轨道上或设定线路上将光罩移动至槽体200内的各个位置以完成光罩的清洗和检测工作。
42.如图1，运输部4包括水平运动驱动41、垂直运动驱动42、连接支撑柱43、连接件44、夹具单元45组成。通过夹具单元45将光罩进行夹持，再利用水平运动驱动41、垂直运动驱动42对夹具单元45上的光罩在放置部1，清洗部2，检测部3间进行传输转移。
43.如图6，夹具单元45包括污染顶针保护罩451、洁净顶针保护罩452、洁净顶针453、污染顶针454、洁净顶针驱动机构455、污染顶针驱动机构456、壳体457等。污染顶针保护罩451、洁净顶针保护罩452分别对污染顶针454、洁净顶针453进行保护，防止药液污染到污染顶针454和洁净顶针453。洁净顶针驱动机构455和污染顶针驱动机构456分别对洁净顶针453和污染顶针454进行运动控制。污染顶针保护罩451(洁净顶针保护罩452与之类似)包括罩体4511、连接杆4512、旋转运动机构4513和升降运动机构4514。罩体4511可以与壳体457接触组合为形成密闭空间结构，以防止水汽药液等的污染。连接杆4512与罩体4511连接在一起，以实现对罩体4511的状态切换。旋转运动机构4513、升降运动机构4514将其运动传递到连接杆4512上，以进一步对罩体4511的开合进行控制，使罩体4511脱离污染顶针454所在位置，即在进行旋转运动机构4513旋转运动时不会对污染顶针454造成伤害。对于z方向运动的洁净顶针保护罩452略微与污染顶针保护罩451有差异。z方向运动的洁净顶针保护罩452的运动为先与z方向的洁净顶针453一起脱离壳体457表面，然后再上升一定距离以保证不会与夹持后的光罩进行接触。本装置中设置两套用于夹持光罩的顶针组件能够在光罩经运输部4进入清洗部2前经由检测部3的反馈结果选择污染顶针454和洁净顶针453对光罩进行夹取，从而避免清洗前顶针夹持转运光罩的过程中受到的污染在光罩清洗完成后对光罩造成污染。例如，经清洗部2清洗后检测部3检测表面合格的光罩使用洁净顶针453进行夹取，而经检测部3检测表面清洗不合格需要二次清洗时则使用污染顶针454进行夹取。
44.实施例2、
45.一种光罩清洗检测方法，包括：s1：将光罩进行药液浸泡刷洗；s2：检查光罩表面刷洗情况，若检查结果为未完成刷洗则回到s1，若检查结果为完成刷洗则继续；s3：使用纯水对光罩进行喷淋刷洗；s4：检查光罩表面冲洗情况，若检查结果为未完成冲洗则回到s3，若检查结果为完成冲洗则继续；s5：快速旋转光罩并吹干光罩上的水分；s6：清洗完成。
46.可选地，如图5，使用本装置进行清洗的流程为：
①
夹具单元23将光罩夹持后旋转180
°
至浸泡位，
②
药液浸泡刷洗至完成光罩表面药液浸泡刷洗完成，
③
夹具单元23将光罩夹持后旋转90
°
至冲洗位，
④
使用冲洗喷淋组件29喷淋纯水冲洗光罩，
⑤
夹具单元23将光罩夹持后旋转0
°
至甩干/放置位，
⑥
夹具单元23在驱动单元24的作用下驱动光罩快速旋转，与此同时，使用吹扫组件26对光罩进行吹干(吹扫组件26吹出的气体优选地可以是氮气和ipa蒸汽的混合气体，能够高速旋转中的光罩进行干燥)。
47.具体的，药液浸泡刷洗的流程为
①
在槽体100内注入所需浸泡清洗的清洗药液至一定液位；
②
浸泡刷21移动到刷洗位，接触光罩表面进行表面刷洗(浸泡刷21在驱动单元24控制下对光罩表面进行刷洗擦拭，浸泡刷21在其内部的驱动控制下实现对光罩表面从刷洗开始接触点到刷洗完成接触点间的切换)；
③
完成一遍刷洗后，浸泡刷子移动回到刷洗开始接触点；
④
抖动组件开始工作，使药液对光罩表面形成冲洗，以去除刷洗脱离的脏污，同时浸泡刷21上的脏污也被去除；
⑤
检查光罩表面是否刷洗完成，是，则完成刷洗；否，则重复步骤
②
～步骤
④
；
⑥
回收排出的药液，持续注入纯水冲洗槽体200和光罩，确认是否完成所有种类药液浸泡清洗，若完成则结束药液浸泡清洗，若未完成则重复步骤
①
～步骤
⑤
至完成
所有药液的浸泡清洗。(先注入混合好比例的spm，以去除光罩表面有机物，再在纯水清洗后的2清洗槽内注入混合好比例的sc2，以去除光罩表面金属络合物，最后在纯水清洗后的2清洗槽内注入混合好比例的sc1，以去除光罩表面颗粒残留)
48.可选地，纯水喷淋冲洗光罩的流程为：
①
开启冲洗喷淋组件29；
②
冲洗刷22移动到冲洗开始位；
③
移动冲洗刷22接触光罩表面进行表面刷洗；
④
冲洗刷22向第三方向移动，夹具单元向第二方向移动(冲洗刷22在升降驱动结构225和夹具单元23的共同作用下接触光罩表面并对光罩表面进行冲洗擦拭，在驱动单元24控制下实现冲洗位置的切换)；
⑤
检测光罩表面冲洗情况，冲洗不合格则
⑤
重复步骤
②
～步骤
④
；冲洗合格则进入下一步，
⑥
冲洗刷22移动脱离与光罩的接触，冲洗完成。
49.可选地，快速旋转甩干、吹干的流程为
①
夹具单元移动到中心位置，并开始旋转进行甩干，
②
吹扫组件26移动到夹具单元23(中心位置)的正上方，同时接近光罩表面，
③
同时开启光罩正面吹扫组件26和夹具单元中心23位置的气体喷嘴(氮气，也可以是经过加热处理后的热氮气)，以对光罩正反两面进行吹扫。优选地，若需要使用氮气 ipa蒸汽对光罩表面进行干燥处理(塔罗格尼干燥)，则需要在步骤
②
之后先将清洗槽形成密闭的空间。
50.以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。本发明未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。