一种等离子清洗机的制作方法

1.本实用新型涉及等离子清洗设备技术领域，特别是指一种等离子清洗机。


背景技术：

2.目前，等离子清洗工艺主要是利用具有一定能量的活性等离子，对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。在等离子清洗过程中的抽气、充气以及离子轰击和化学反应是主要过程
3.现有等离子清洗机选配的气体主要由清洁的干空气、氮气、氩气、氧气、二氧化碳、四氟化碳、氦气，现有的等离子清洗机在出厂时，多是仅仅选配一种气体，作为等离子清洗最后阶段的破真空的重要反应气体，由于其针对性较强，造成仅能适应于特定领域的工件清洗需求的情形，导致这种等离子清洗机的适用范围较为狭小。


技术实现要素：

4.为了解决背景技术中所存在的等离子清洗机的反应气体预置种类较少，导致适用范围较小的问题，本实用新型提出了一种等离子清洗机。
5.本实用新型的技术方案是：一种等离子清洗机，包括机体，机体的内部设有安装室，机体的前部设有用于封闭安装室的前侧板；安装室的左侧固定设有真空舱室，安装室的上部设有气瓶舱，气瓶舱内设有多个用于储存不同种类反应气体的气瓶，气瓶的前部设有气压传感器i、注气口和出气口，注气口处设有可拆卸的密封盖，出气口连接有输气管道ii，输气管道ii上设有用于控制气体输出的电磁阀ii，输气管道ii的另一端嵌设在真空舱室的壁体上，且输气管道ii的另一端与真空舱室的内部连通；真空舱室的内部设有用于产生等离子的电极，安装室的内部设有与真空舱室配合的抽真空系统和用于使真空舱室内的气压回复到大气压水平的真空阻断系统，真空舱室内设有气压传感器ii，安装室的内部还设有用于控制各电器件运行的控制柜；真空舱室和气瓶舱的均为前开口结构，机体的前侧板上设有与真空舱室对应的入口i和与气瓶舱对应的入口ii，机体的前侧板上设有用于封闭入口i的舱门和用于封闭入口ii的气瓶舱室门，舱门通过舱门锁密封设在机体的前侧板上。
6.优选的，真空舱室的左右侧壁上设有轨道，真空舱室的内部设有可前后移动的置物架；置物架包括分设在左右两侧的立板，立板的外侧设有与轨道配合的轨道轮，两个立板之间设有用于放置被清洗件的置物板。
7.优选的，立板上设有至少两排上下排列的螺纹孔i，立板上还设有至少一列螺纹孔ii，螺纹孔i和螺纹孔ii的结构、大小均相同；置物板的侧部设有与螺纹孔i或螺纹孔ii对应的螺纹孔iii，置物板通过螺钉与立板固定连接，螺钉与螺纹孔i、螺纹孔ii、螺纹孔iii螺纹连接。
8.优选的，置物板为水平设置的i型置物板或竖向设置的ii型置物板；i型置物板的左右两端设置与螺纹孔i对应的螺纹孔iii；ii型置物板的左右两侧设置与螺纹孔ii对应的
螺纹孔iii，ii型置物板上设有若干个用于放置被清洗件的槽口，槽口为前后通透结构。
9.优选的，抽真空系统包括设在安装室右侧的真空泵，真空泵通过输气管道i与真空舱室的内部连通，输气管道i上设有电磁阀i和电动控制阀，机体的右侧板上设有与真空泵对应的透气窗，透气窗与机体的右侧板为可拆卸连接结构。
10.优选的，安装室的右侧设有支撑板，支撑板位于真空泵和透气窗上方，支撑板的右端与安装室的右侧内壁固定连接，支撑板的左端与真空舱室的壁体固定连接；控制柜设在支撑板上，控制柜的左右两侧设有防倾倒的l型护板，l型护板通过螺栓与支撑板固定连接。
11.优选的，真空阻断系统包括进气管道和设在进气管道上的电磁阀iii，进气管道的一端嵌设在真空舱室的壁体上并与真空舱室的内部连通，进气管道的另一端嵌设在机体的壁体上并与外界空气连通。
12.优选的，进气管道的内部设有采用活性炭材料制成的过滤网。
13.优选的，机体的顶部设有用于提示设备运行情况的运行指示灯。
14.优选的，机体的底部设有行走轮。
15.本实用新型的优点：本装置在等离子清洗机的内部隔离出一处空间作为气瓶舱，在气瓶舱内设置多个气瓶，这些不同的气瓶各自用于预存不同种类反应气体，每个气瓶与真空舱室连通的输气管道ii上设置一个电磁阀i，用于控制进入真空舱室内的反应气体种类，实现各种类反应气体的输气独立控制，扩大了等离子清洗机的适用范围；
16.在使用时，安装在气瓶上的气压传感器i，用于实时监测气瓶内的气压，反映气瓶内气体的存量，当气瓶内的气压过低时，通过注气口重新向该气瓶加气，保证设备正常运行。
17.安装在真空舱室内部的气压传感器ii，实时监测真空舱室内部的气压，为反应气体的注入量控制提供依据；同时，在通过真空阻断系统使真空舱室内的气压回复到大气压水平时，以及通过抽真空系统对真空舱室内的空气进行抽取时，气压传感器ii也能起到监测配合的作用。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为本实用新型的等离子清洗机的机体外部结构示意图。
20.图2为本实用新型中用于安装等离子清洗装置的安装室的内部结构示意图；
21.图3为图2中的置物架的立体结构示意图；
22.图4为图3中的立板的立体结构示意图。
23.图中，1、机体，2、安装室，3、舱门，4、观察窗，5、舱门锁，6、运行指示灯，7、气瓶舱室门，8、真空舱室，9、气瓶舱，10、气瓶，11、气压传感器ii，12、注气口，13、真空泵，14、电磁阀i，15、电动调节阀，16、支撑板，17、控制柜，18、轨道，19、立板，1901、螺纹孔i，1902、螺纹孔ii，20、置物板，21、轨道轮，22、螺钉，23、透气窗，24、电极。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.实施例1：一种等离子清洗机，如图1和图2所示，包括机体1，机体1的内部设有安装室2，机体1的前部设有用于封闭安装室2的前侧板；安装室2的左侧固定设有真空舱室8，安装室2的上部设有气瓶舱9，气瓶舱9内设有多个用于储存不同种类反应气体的气瓶10，气瓶10的前部设有气压传感器i11、注气口12和出气口，注气口12处设有可拆卸的密封盖。出气口连接有输气管道ii，输气管道ii上设有用于控制气体输出的电磁阀ii，输气管道ii的另一端嵌设在真空舱室8的壁体上，且输气管道ii的另一端与真空舱室8的内部连通；真空舱室8的内部设有用于产生等离子的电极24，安装室2的内部设有与真空舱室8配合的抽真空系统和用于使真空舱室8内的气压回复到大气压水平的真空阻断系统。
26.本装置在等离子清洗机的内部隔离出一处空间作为气瓶舱9，在气瓶舱9内设置多个气瓶10，这些不同的气瓶10各自用于预存不同种类反应气体，每个气瓶10与真空舱室8连通的输气管道ii上设置一个电磁阀i，用于控制进入真空舱室8内的反应气体种类，实现各种类反应气体的输气独立控制，扩大了等离子清洗机的适用范围。
27.安装在气瓶上的气压传感器i，用于实时监测气瓶内的气压，反映气瓶内气体的存量，当气瓶内的气压过低时，通过注气口重新向该气瓶加气，保证设备正常运行。
28.抽真空系统包括设在安装室2右侧的真空泵13，真空泵13通过输气管道i与真空舱室8的内部连通，输气管道i上设有电磁阀i14和电动控制阀15，机体1的右侧板上设有与真空泵13对应的透气窗23，透气窗23与机体1的右侧板通过螺栓实现可拆卸连接。
29.真空阻断系统包括进气管道和设在进气管道上的电磁阀iii，进气管道的一端嵌设在真空舱室8的壁体上并与真空舱室8的内部连通，进气管道的另一端嵌设在机体1的壁体上并与外界空气连通。进气管道的内部设有采用活性炭材料制成的过滤网。在使真空舱室8内的气压恢复大气压水平时，电磁阀iii打开，由于压差作用，外界空气被吸入进气管道，经活性炭材料制成的过滤网过滤后，进入真空舱室8内，平衡真空舱室8内的气压。
30.输气管道i、输气管道ii和进气管道的管壁与真空舱室8连接处设置密封胶，防止气体从连接处泄漏。
31.真空舱室8内设有气压传感器ii，气压传感器ii实时监测真空舱室8内部的气压，为反应气体的注入量控制提供依据；同时，在通过真空阻断系统使真空舱室8内的气压回复到大气压水平时，以及通过抽真空系统对真空舱室8内的空气进行抽取时，气压传感器ii也能起到监测配合的作用。
32.安装室2的右侧设有支撑板16，支撑板16位于真空泵13和透气窗23上方，支撑板16的右端与安装室2的右侧内壁固定连接，支撑板16的左端与真空舱室8的壁体固定连接；控制柜17设在支撑板16上，控制柜17用于控制各电器件的运行。如图1所示，机体1的前面板上设有用于把控制柜17的控制面板和控制按钮显露出来的预留口。
33.控制柜17的左右两侧设有防倾倒的l型护板，l型护板通过螺栓与支撑板16固定连接。
34.真空舱室8和气瓶舱9的均为前开口结构，机体1的前侧板上设有与真空舱室8对应的入口i和与气瓶舱9对应的入口ii，机体1的前侧板上设有用于封闭入口i的舱门3和用于封闭入口ii的气瓶舱室门7，舱门3通过舱门锁5密封设在机体1的前侧板上。
35.真空舱室8的左右侧壁上设有轨道18，真空舱室8的内部设有两个或三个可前后移动的置物架；通过前后移动置物架，调整相邻的置物架上被清洗件的间距，使得等离子体能够快速的扩散到被清洗件附近。
36.如图3和图4所示，置物架包括分设在左右两侧的立板19，立板19的外侧设有与轨道18配合的轨道轮21，立板19上设有四排上下排列的螺纹孔i1901，立板19上还设有一列螺纹孔ii1902，螺纹孔i1901和螺纹孔ii1902的结构、大小均相同；置物板20的侧部设有与螺纹孔i1901或螺纹孔ii1902对应的螺纹孔iii，置物板20通过螺钉22与立板19固定连接，螺钉22与螺纹孔i1901、螺纹孔ii1902、螺纹孔iii螺纹连接。
37.两个立板之间设有用于放置被清洗件的置物板20。置物板20为水平设置的i型置物板或竖向设置的ii型置物板；i型置物板的左右两端设置与螺纹孔i1901对应的螺纹孔iii；ii型置物板的左右两侧设置与螺纹孔ii1902对应的螺纹孔iii，ii型置物板上设有若干个用于放置被清洗件的槽口，槽口为前后通透结构。
38.i型置物板由于为平板结构，适用于较大的被清洗件放置需求；ii型置物板由于槽口结构，一般适用于较小的被清洗件的放置需求，以保证ii型置物板上能放置尽可能多的被清洗件数量，提高真空舱室8的空间利用效率。
39.本实施例中所举出的i型置物板和ii型置物板仅仅作为置物板20的两种示范结构，根据被清洗件的大小、结构特征，置物板20可定制成不同的结构，然后通过螺栓与立板19连接即可。
40.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不受上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。