晶圆包装盒及晶圆储运结构的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其涉及一种晶圆包装盒及晶圆储运结构。


背景技术：

2.晶圆是指生产集成电路所用的载体，例如，可以是指单晶硅圆片。晶圆一般为薄圆片，可以被放置在晶圆承载器中，便于对晶圆进行清洗。在晶圆的储存和运输过程中，可以将承载有晶圆的晶圆承载器放入相对应尺寸的包装盒内，以便对晶圆进行储运。采用该包装盒储运晶圆，可以减少摩擦，降低污染晶圆的风险，使产品得到更洁净的安全保护，同时更便于运输。
3.目前常用的晶圆包装盒通常包括壳体和盖体，并在壳体和盖体之间采用卡扣式结构进行开合，例如，可以在盖体上设置向外且向下凸出的固定式搭扣，搭扣内侧面为斜面，且搭扣上有卡口。壳体上设置有向外的凸起。合盖时，手动下压盖体，搭扣在凸起的支撑下向外产生一定形变，从而使凸起沿搭扣的内侧面滑入卡口内。开盖时，也需要手动向外掰开搭扣。
4.上述的晶圆包装盒的卡扣式在开合时，均需要搭扣产生一定形变，长期使用容易出现包装盒变形甚至损坏的情况。


技术实现要素：

5.本实用新型提供一种晶圆包装盒及晶圆储运结构，用以解决现有技术中晶圆包装盒的卡扣式在开合时，均需要搭扣产生一定形变，长期使用容易出现包装盒变形甚至损坏的情况的缺陷，实现晶圆包装盒在扣合或打开过程中无需任意零件发生变形，可以减少该晶圆包装盒经长期使用出现变形或损坏的情况。
6.本实用新型提供了一种晶圆包装盒，包括：
7.壳体，所述壳体用于容置晶圆承载器；
8.盖体，所述盖体与所述壳体可转动地连接；
9.其中，所述壳体上设置有第一卡止件，所述盖体上设置有第二卡止件；
10.扣装件，所述扣装件扣装在所述第一卡止件和所述第二卡止件上。
11.根据本实用新型提供的一种晶圆包装盒，在所述盖体盖合在所述壳体上的状态下，所述第二卡止件承托在所述第一卡止件上，所述扣装件可滑动地扣装在所述第一卡止件和所述第二卡止件上。
12.根据本实用新型提供的一种晶圆包装盒，所述第一卡止件由所述壳体的顶边缘横向向外凸出，所述第二卡止件由所述盖体的底边缘横向向外凸出。
13.根据本实用新型提供的一种晶圆包装盒，所述第一卡止件上成型有下滑槽，所述扣装件上成型有可卡入所述下滑槽的下卡条；
14.所述第二卡止件上成型有上滑槽，所述扣装件上成型有可卡入所述上滑槽的上卡条。
15.根据本实用新型提供的一种晶圆包装盒，所述第一卡止件的顶部连接有支撑板，且所述支撑板与所述第二卡止件的顶部平齐，以使所述扣装件能够从所述第一卡止件和所述第二卡止件上滑动至所述第一卡止件和所述支撑板上。
16.根据本实用新型提供的一种晶圆包装盒，所述支撑板的端部设置有卡止部，在所述扣装件处于所述第一卡止件和所述支撑板上的状态下，所述扣装件与所述卡止部相抵接。
17.根据本实用新型提供的一种晶圆包装盒，所述支撑板的侧壁上设置有限位筋，所述限位筋将所述支撑板的侧壁分隔出所述扣装件的扣装位和打开位。
18.根据本实用新型提供的一种晶圆包装盒，所述盖体的内顶壁上设置有一对限位条，且所述限位条与所述盖体为一体成型结构。
19.根据本实用新型提供的一种晶圆包装盒，所述限位条的截面为弧形。
20.本实用新型还提供了一种晶圆储运结构，包括晶圆承载器以及上述任一种晶圆包装盒；
21.所述晶圆承载器用于承载晶圆并且设置在所述晶圆包装盒的壳体中。
22.本实用新型实施例提供的晶圆包装盒，通过将壳体和盖体设计为可转动地连接的结构，便于安装和拆卸容置有晶圆的晶圆承载器。并且，通过在壳体上设置第一卡止件，在盖体上设置第二卡止件，并单独设置扣装件，形成扣装结构。可以通过将扣装件扣装在第一卡止件和第二卡止件上，扣合该晶圆包装盒。相应的，通过将扣装件从第一卡止件和第二卡止件上分离，打开该晶圆包装盒。这种晶圆包装盒在扣合或打开过程中无需任意零件发生变形，可以减少该晶圆包装盒经长期使用出现变形或损坏的情况。
23.在本实用新型实施例提供的晶圆储运结构中，由于应用了如上所述的晶圆包装盒，因此同样具备如上所述的各项优势，在此不再赘述。
24.本实用新型实施例的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型实施例的实践了解到。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.图1是本实用新型提供的一种晶圆储运结构的结构示意图；
27.图2是本实用新型提供的一种晶圆包装盒的壳体的剖视图；
28.图3是本实用新型提供的一种晶圆包装盒的盖体的剖视图；
29.图4是图2中a部分的局部放大图；
30.图5是本实用新型提供的一种晶圆包装盒的扣装件的结构示意图；
31.图6是图3中b部分的局部放大图；
32.图7是本实用新型提供的一种晶圆包装盒在扣装状态的结构示意图；
33.图8是图7的剖视图；
34.图9是本实用新型提供的一种晶圆包装盒的第一卡止件111的局部示意图；
35.图10是本实用新型提供的一种晶圆储运结构的剖视图；
36.图11是图10中c部分的局部放大图；
37.附图标记：
38.符号说明
39.100：晶圆包装盒；
40.110：壳体；111：第一卡止件；112：下滑槽；113：支撑板；114：卡止部；115：限位筋；
41.120：盖体；121：第二卡止件；122：上滑槽；123：限位条；
42.130：扣装件；131：下卡条；132：上卡条；
43.200：晶圆承载器；
44.300：晶圆；
45.1000：晶圆储运结构。
具体实施方式
46.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
47.在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
48.在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。
49.在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
50.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特
点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
51.现结合图1至图11，对本实用新型提供的各实施例进行描述，应当理解的是，以下仅是本实用新型的示意性实施方式，并不对本实用新型构成任何特别限定。
52.图1是本实用新型提供的一种晶圆储运结构的结构示意图，该图1示出了由晶圆包装盒100容置晶圆承载器200的结构，也是晶圆包装盒100的使用状态示意图，请参见图1。该晶圆包装盒100包括：壳体110、盖体120和扣装件130。其中，壳体110内具有容置空间，用于容置晶圆承载器200。而且，晶圆承载器200用于承载至少一片晶圆300。上述的盖体120与壳体110可转动地连接，从而盖体120可以对晶圆承载器200及晶圆300起到保护作用。
53.其中，壳体110上设置有第一卡止件111，盖体120上设置有第二卡止件121，上述的第一卡止件111和第二卡止件121相匹配。通过将扣装件130扣装在第一卡止件111和第二卡止件121上，扣合该晶圆包装盒100。相应的，通过将扣装件130从第一卡止件111和第二卡止件121上分离，打开该晶圆包装盒100。
54.本实用新型实施例提供的晶圆包装盒100，通过将壳体110和盖体120设计为可转动地连接的结构，便于安装和拆卸容置有晶圆300的晶圆承载器200。并且，通过在壳体110上设置第一卡止件111，在盖体120上设置第二卡止件121，并单独设置扣装件130，形成扣装结构。可以通过将扣装件130扣装在第一卡止件111和第二卡止件121上，扣合该晶圆包装盒100。相应的，通过将扣装件130从第一卡止件111和第二卡止件121上分离，打开该晶圆包装盒100。这种晶圆包装盒100在扣合或打开过程中无需任意零件发生变形，可以减少该晶圆包装盒100经长期使用出现变形或损坏的情况。
55.由于该扣装件130和上述的第一卡止件111、第二卡止件121是完全可分离的结构，因此，即使该扣装件130出现损坏，对扣装件130的拆卸、检修或更换也比较方便。并且不会因为扣装件130的损害而影响壳体110和盖体120的使用寿命。
56.在上述的晶圆包装盒100中，第一卡止件111、第二卡止件121和扣装件130的是一一对应的，而且，第一卡止件111、第二卡止件121和扣装件130的数量为至少一个。当晶圆包装盒100中包括多组第一卡止件111、第二卡止件121和扣装件130时，上述的多组第一卡止件111、第二卡止件121和扣装件130可以设置在晶圆包装盒100的同一侧，也可以设置在多个不同侧，本实施例对此不作限定。例如，第一卡止件111、第二卡止件121和扣装件130的数量可以分别为两个，这两组第一卡止件111、第二卡止件121和扣装件130设置在晶圆包装盒100的同一侧，且均匀设置在盖体120和壳体110的连接边缘处。对应的，第一卡止件111、第二卡止件121和扣装件130可以是设置在转动件的对侧。
57.在上述的晶圆包装盒100中，盖体120可以是通过转动件可转动地连接该壳体110的。该转动件可以是转动轴和轴孔的结构。例如，可以是在壳体110和盖体120上均设有轴孔，通过将转动轴插入该壳体110和盖体120上的轴孔中，实现盖体120可以相对壳体110转动。
58.在本实用新型提供的一个实施例中，在盖体120盖合在壳体110上的状态下，盖体120支撑盖体120。同时，盖体120上的第二卡止件121承托在壳体110上的第一卡止件111上。对应的，扣装件130可滑动地扣装在第一卡止件111和第二卡止件121上。也即是说，扣装件
130可以通过向侧面滑动的方式与第一卡止件111、第二卡止件121分离。
59.在盖体120从壳体110上打开的状态下，第一卡止件111和第二卡止件121分离，扣装件130可以是与第一卡止件111、第二卡止件121均分离，也可以是滑动到第一卡止件111、第二卡止件121其中一个上，本实施例对此不作限定。
60.图2是本实用新型提供的一种晶圆包装盒的壳体的剖视图，请参见图2，在上述实施例中，进一步的，第一卡止件111由壳体110的顶边缘横向向外凸出，这种结构便于扣装件130的安装，且不会影响壳体110的强度。其中，第一卡止件111和壳体110之间可以是一体成型的结构，整体性好，可以减少工艺流程。第一卡止件111也可以是单独的结构，通过焊接、粘接、铆接等工艺固定在壳体110上的，便于加工和检修。
61.图3是本实用新型提供的一种晶圆包装盒的盖体的剖视图，请参见图3，第二卡止件121由盖体120的底边缘横向向外凸出，这种结构便于扣装件130的安装，且不会影响壳体110的强度。其中，第二卡止件121和盖体120之间可以是一体成型的结构，整体性好，可以减少工艺流程。第二卡止件121也可以是单独的结构，通过焊接、粘接、铆接等工艺固定在盖体120上的，便于加工和检修。
62.在一个进一步的实施例中，请参见图4，图4是图2中a部分的局部放大图，上述的第一卡止件111上成型有下滑槽112，对应的，扣装件130上成型有可卡入下滑槽112的下卡条131(请参见图5)，该下卡条131可以沿该下滑槽112滑动。第二卡止件121上成型有上滑槽122(请参见图6)，对应的，扣装件130上成型有可卡入上滑槽122的上卡条132(请参见图5)，该上卡条132可以沿该上滑槽122滑动。上述的结构便于扣装件130通过滑动来实现扣装和打开。具体的，上述的下滑槽112和上滑槽122的截面形状可以是矩形，便于加工。
63.图7是本实用新型提供的一种晶圆包装盒在扣装状态的结构示意图，图8是图7的剖视图，请参见图7至图8。在需要扣合该盖体120时，可以通过将盖体120盖合在壳体110上，使盖体120的第二卡止件121承托在壳体110的第一卡止件111上。通过滑动扣装件130，使扣装件130扣装在第一卡止件111和第二卡止件121上，扣合该晶圆包装盒100。相应的，通过滑动扣装件130，将扣装件130从第一卡止件111和第二卡止件121上分离，打开该晶圆包装盒100。
64.图9是本实用新型提供的一种晶圆包装盒的第一卡止件111的局部示意图，请参见图9，该图9中示出的第一卡止件111视角为图4中视角的背面。在上述任一个实施例中，第一卡止件111的顶部设置有用于支撑扣装件130的支撑板113。而且，该且支撑板113与第二卡止件121的顶部平齐，该支撑板113的内侧形成用于容置扣装件130的上卡条132的容置空间。
65.在扣装件130移动过程中，扣装件130能够从第一卡止件111和第二卡止件121上滑动至第一卡止件111和支撑板113上。当扣装件130位于第一卡止件111和第二卡止件121上时，晶圆包装盒100处于扣合状态。当扣装件130位于第一卡止件111和支撑板113上时，晶圆包装盒100处于打开状态。也即是说，扣装件130可以通过向侧面滑动到支撑板113上的方式与第一卡止件111、第二卡止件121分离，而扣装件130通过支撑板113仍与壳体110连接在一起，避免扣装件130由于被拆下而丢失的情况。
66.其中，该支撑板113可以是与第一卡止件111一体成型的，也可以是作为单独的零件，通过焊接、粘接或铆接等工艺连接在第一卡止件111上的，本实施例对此不作限定。
67.在上述实施例中，支撑板113的一个端部用于与第二卡止件121相接，支撑板113的另一个端部设置有卡止部114，该卡止部114用于限位扣装件130，避免扣装件130从支撑板113上脱离。具体的，在扣装件130处于第一卡止件111和支撑板113上的状态下，扣装件130与卡止部114相抵接。
68.具体的，该卡止部114可以是由支撑板113的端部折弯形成的，也即是说该支撑板113和卡止部114形成l形，这种结构简单，便于加工。
69.进一步的，该卡止部114可以是位于支撑板113的内侧壁上，可以保持晶圆包装盒100的外观美观。
70.在本实用新型提供的一个实施例中，上述的支撑板113的侧壁上设置有限位筋115，该限位筋115具有增大与扣装件130之间的摩擦力的作用。并且限位筋115将支撑板113的侧壁分隔出扣装件130的扣装位和打开位。具体的，在该支撑板113上，以限位筋115为分界，靠近第二卡止件121的一端为扣装位，远离第二卡止件121的一端为打开位。
71.上述的扣装位可以作为扣装过程中的滑动路径，也可以作为扣装结构的一部分。具体的，在一个实施例中，第二卡止件121的长度大于或等于扣装件130的长度，晶圆包装盒100处于扣合状态时，扣装件130滑过上述的扣装位至第二卡止件121和第一卡止件111上。在另一个实施例中，第二卡止件121的长度小于扣装件130的长度，晶圆包装盒100处于扣合状态时，扣装件130扣装在第一卡止件111、第二卡止件121和上述的扣装位组合成的结构中。
72.进一步的，该限位筋115可以是位于支撑板113的内侧壁上，可以保持晶圆包装盒100的外观美观。
73.本技术实施例提供的滑动式的扣装件130的材质可以是pe(polyethylene，聚乙烯。pe材质较为柔软，长期使用过程中，不易损坏，即使损坏，重新更换扣装件130即可，晶圆包装盒100的盖体120和壳体110不受影响，还能继续使用。
74.进一步的，请继续参见图8，扣装件130的扣装面相对的外表面可以是具有凹槽。一方面，便于操作人员通过动该凹槽壁来推动扣装件130滑动。另一方面，通过一体成型出该凹槽，可以加强扣装件130的强度，还避免了材料的浪费。
75.图10是本实用新型提供的一种晶圆储运结构的剖视图，图11是图10中c部分的局部放大图，请参见图10至图11，在本实用新型提供的一个实施例中，盖体120的内顶壁上设置有一对限位条123，这一对限位条123用于在两侧对晶圆300进行限位，减小晶圆300在包装盒内沿竖直方向的活动空间，防止晶圆300在被转运过程中承受较大的震动。上述的限位条123与盖体120为一体成型结构，可以省去再开压条模具的成本，同时不会出现压条脱落的情况，避免晶圆300发生碰撞碎片的风险。
76.在一个进一步的实施例中，上述限位条123的截面为弧形，分别由顶部向下向外延伸，与圆形的晶圆300的外边缘保有一定距离，不接触晶圆300，减少晶圆300在包装盒内的移动空间。
77.更进一步的，该盖体120的内顶壁上还设置用于安装其他限位装置的安装孔或安装筒，以实现多种限位方式。
78.本实用新型实施例提供的晶圆包装盒100，通过将壳体110和盖体120设计为可转动地连接的结构，便于安装和拆卸容置有晶圆300的晶圆承载器200。并且，通过在壳体110
上设置第一卡止件111，在盖体120上设置第二卡止件121，并单独设置扣装件130，形成扣装结构。可以通过将扣装件130扣装在第一卡止件111和第二卡止件121上，扣合该晶圆包装盒100。相应的，通过将扣装件130从第一卡止件111和第二卡止件121上分离，打开该晶圆包装盒100。这种晶圆包装盒100在扣合或打开过程中无需任意零件发生变形，可以减少该晶圆包装盒100经长期使用出现变形或损坏的情况。
79.由于该扣装件130和上述的第一卡止件111、第二卡止件121是完全可分离的结构，因此，即使该扣装件130出现损坏，对扣装件130的拆卸、检修或更换也比较方便。并且不会因为扣装件130的损害而影响壳体110和盖体120的使用寿命。
80.进一步的，通过在第一卡止件111上设置支撑板113，扣装件130可以通过向侧面滑动到支撑板113上的方式与第一卡止件111、第二卡止件121分离，而扣装件130通过支撑板113仍与壳体110连接在一起，避免扣装件130由于被拆下而丢失的情况。
81.请继续参见图1和图10，本实用新型还提供了一种晶圆储运结构1000，该晶圆储运结构1000包括晶圆承载器200以及上述任一种晶圆包装盒100。其中，晶圆承载器200中承载有至少一片晶圆300，而且，该晶圆承载器200设置在晶圆包装盒100的壳体110中。从而通过该晶圆承载器200可对晶圆300进行清洗等操作，通过晶圆储运结构1000可以对晶圆300进行储存和运输等。上述的晶圆储运结构1000可以保证晶圆300材料的相对洁净，不被外界静电、尘土干扰。
82.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。