一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统的制作方法

1.本发明涉及基座补强领域，具体来讲涉及的是一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统。


背景技术：

2.随科学技术突破发展，国内半导体、柔性面板显示技术以及各类工业生产技术等对设备精度要求也大幅提高。但在工厂厂房建设过程中，由于设计施工、经济等各方面因素，无论是格构梁还是华夫孔板结构，部分区域仍难以达到高精设备的动刚性与防微震需求，如显示面板与半导体晶圆制造必不可少的掩膜对准曝光机（exposure）与宏观缺陷检测设备（kla），一旦周围环境震动幅度超过其允许范围，极易影响其产品生产过程，导致良品率低下，甚至存在宕机的风险。
3.现如今市场流行的传统防微震基座，多为混凝土浇筑或钢结构焊接直接成型，为满足设备震动与刚性要求，通常被制作成体积大、质量大的基座，导致运输搬入需要的空间过大以及后续的安装固定过程较为困难。若制作为小型的基座，采用锚栓与结构刚性连接后，其扛震效果依附与厂房结构本身，往往动刚性强度低下，防微震能力薄弱。


技术实现要素：

4.因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统。其目的在于解决上述现有技术存在的问题，实现对现有厂房结构本身存在的动刚性容许值不足的弥补，以达到高精密设备的动刚性需求。
5.本发明是这样实现的，构造一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统，其特征在于；包括；带有动刚性强化调节器、上部补强h型钢（16）、轴向钢板（17）、径向钢板（18）、下部补强h型钢（19）、底部h型钢（20）；下部补强h型钢（19）采用高强度螺栓安装于底部h型钢（20）之上；下部补强h型钢（19）上增加上部补强h型钢（16），使用轴向钢板（17）与径向钢板（18）进行加固，采用高强度螺栓固连。（为方便运输与吊装，通常不直接制造为超长的完整h型钢），然后将动刚性强化调节器安装于（16）顶板之上，使用粘钢胶与高强度螺栓同时作用固定。
6.根据本发明所述一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统，其特征在于；带有动刚性强化调节器包括底座本体（1）、支撑平台（2）、一级锁紧环（3）、二级锁紧环（4）、轴向油缸（5）、螺帽锁紧环（6）、进油口（7）、压力仪表（8）、六角螺栓（9）、平垫圈（10）、六角头压紧螺钉（11）、挡油环（12）、弹簧（13）、弹簧套（14）、顶轴（15）；预先放置底座本体（1），轴向油缸（5）与底座本体（1）为一体，安装压力仪表（8）与进油口（7）螺纹连接，使用塑封胶带防止泄漏，使用六角螺栓（9）将弹簧（13）固定于底座本体（1），放置平垫圈（10），安装弹簧套筒（14），螺纹安装顶轴（15），使用六角头压紧螺钉（11）加强固定，安装挡油环（12），安装螺帽锁紧环（6），依次安装一级锁紧环（3）、二级锁紧环（4）、支撑平台（2）。
7.根据本发明所述一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统，其特征在于；
具体安装过程与工作原理为：防止地面凹凸不平，首先安装底部型钢（20），底部填充环氧树脂调节平衡后，采用化学锚栓固连；然后将下部补强h型钢（19），采用高强度螺栓安装于底部h型钢（20）之上，根据现场结构与结构或地面之间的高度，可考虑增加上部补强h型钢（16），使用（17）轴向钢板与（18）径向钢板进行加固，采用高强度螺栓固连（为方便运输与吊装，通常不直接制造为超长的完整h型钢），然后将动刚性强化调节器安装于（16）顶板之上，使用粘钢胶与高强度螺栓同时作用固定；从进油口（7）注入高粘度液压油，待填满轴向油缸（5）后，顶起支撑平台（2），达到要求高度后顶起结构，观察压力仪表（8），压力合格后，锁住一级锁紧环（3）与二级锁紧环（4），撤掉油枪，关闭进油口；弹簧（13）为保护装置，当发生液压油泄漏时，弹簧可以起缓冲作用，使上部顶板缓慢降落，保护内部结构。
8.根据本发明所述一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统，其特征在于；上部补强h型钢（16）、下部补强h型钢（19）与底部h型钢（20）在径向焊接加强筋，增加支撑结构强度；h型钢充当立柱作用，多个调节器支撑起结构，分散载荷力，减小结构区域变形量，达到动刚性需求。
9.本发明具有如下优点：本发明在此提供一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统。其目的在于解决上述现有技术存在的问题，实现对现有厂房结构本身存在的动刚性容许值不足的弥补，以达到高精密设备的动刚性需求。对应的优点在于；本系统中，支撑型钢高度灵活可变，易拆装，能适应各种工厂结构环境；在工厂结构本身不满足设备动刚性要求时，通过本系统结构补强，就可以达到标准；满足粘度与密度条件下，可任意更换液压油种类型号。
附图说明
10.图1是刚性结构补强系统平面图；图2是补强h型钢俯视图；图3是轴向钢板平面图；图4是径向钢板平面图；图5是动刚性强化调节器俯视图；图6是动刚性强化调节器剖面图。
11.图中：底座本体1、支撑平台2、一级锁紧环3、二级锁紧环4、轴向油缸5、螺帽锁紧环6、进油口7、压力仪表8、六角螺栓9、平垫圈10、六角头压紧螺钉11、挡油环12、弹簧13、弹簧套14、顶轴15、上部补强h型钢16、轴向钢板17、径向钢板18、下部补强h型钢19、底部h型钢20。
具体实施方式
12.下面将结合附图1-图6对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
13.本发明通过改进在此提供一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统，按照如下方式予以实施；包括；带有动刚性强化调节器、上部补强h型钢16、轴向钢板17、径向钢
板18、下部补强h型钢19、底部h型钢20；下部补强h型钢19采用高强度螺栓安装于底部h型钢20之上；下部补强h型钢19上增加上部补强h型钢16，使用轴向钢板17与径向钢板18进行加固，采用高强度螺栓固连。（为方便运输与吊装，通常不直接制造为超长的完整h型钢），然后将动刚性强化调节器安装于16顶板之上，使用粘钢胶与高强度螺栓同时作用固定。
14.如图所示；带有动刚性强化调节器包括底座本体1、支撑平台2、一级锁紧环3、二级锁紧环4、轴向油缸5、螺帽锁紧环6、进油口7、压力仪表8、六角螺栓9、平垫圈10、六角头压紧螺钉11、挡油环12、弹簧13、弹簧套14、顶轴15；预先放置底座本体1，轴向油缸5与底座本体1为一体，安装压力仪表8与进油口7螺纹连接，使用塑封胶带防止泄漏，使用六角螺栓9将弹簧13固定于底座本体1，放置平垫圈10，安装弹簧套筒14，螺纹安装顶轴15，使用六角头压紧螺钉11加强固定，安装挡油环12，安装螺帽锁紧环6，依次安装一级锁紧环3、二级锁紧环4、支撑平台2。
15.具体安装过程与工作原理为：防止地面凹凸不平，首先安装底部型钢20，底部填充环氧树脂调节平衡后，采用化学锚栓固连。然后将下部补强h型钢19，采用高强度螺栓安装于底部h型钢20之上，根据现场结构与结构或地面之间的高度，可考虑增加上部补强h型钢16，使用17轴向钢板与18径向钢板进行加固，采用高强度螺栓固连。（为方便运输与吊装，通常不直接制造为超长的完整h型钢），然后将动刚性强化调节器安装于16顶板之上，使用粘钢胶与高强度螺栓同时作用固定。从进油口7注入高粘度液压油，待填满轴向油缸5后，顶起支撑平台2，达到要求高度后顶起结构，观察压力仪表8，压力合格后，锁住一级锁紧环3与二级锁紧环4，撤掉油枪，关闭进油口。弹簧13为保护装置，当发生液压油泄漏时，弹簧可以起缓冲作用，使上部顶板缓慢降落，保护内部结构。
16.实施时；上部补强h型钢16、下部补强h型钢19与底部h型钢20在径向焊接加强筋，增加支撑结构强度。
17.本设计应用于工厂结构中刚度薄弱区域（如次梁交叉节点），h型钢充当立柱作用，多个调节器支撑起结构，分散载荷力，减小结构区域变形量，达到动刚性需求。
18.本发明在此提供一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统。其目的在于解决上述现有技术存在的问题，实现对现有厂房结构本身存在的动刚性容许值不足的弥补，以达到高精密设备的动刚性需求。对应的优点在于；本系统中，支撑型钢高度灵活可变，易拆装，能适应各种工厂结构环境；在工厂结构本身不满足设备动刚性要求时，通过本系统结构补强，就可以达到标准；满足粘度与密度条件下，可任意更换液压油种类型号。
19.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。