应变传感器、动力传递装置以及机器人的制作方法

技术特征：
1.一种应变传感器，其具有：绝缘层，其固定于被检测体；第1导体层，其形成在所述绝缘层的表面上；以及第2导体层，其层叠在所述第1导体层的表面上，所述第1导体层具有检测线图案，该检测线图案包含沿规定的方向延伸的多个电阻线和连接所述电阻线的端部的折返部，其特征在于，在所述折返部的表面上层叠有所述第2导体层。2.根据权利要求1所述的应变传感器，其特征在于，在所述折返部的表面和所述电阻线的与所述折返部相邻的邻接部分的表面上层叠有所述第2导体层。3.根据权利要求2所述的应变传感器，其特征在于，所述邻接部分的长度比所述电阻线的线宽的2倍小。4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的应变传感器，其特征在于，所述折返部的线宽与所述电阻线的线宽大致相同。5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的应变传感器，其特征在于，所述折返部的线宽为所述电阻线的线宽以下。6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的应变传感器，其特征在于，所述第2导体层的材料的电阻率比所述第1导体层的材料的电阻率低。7.根据权利要求1至5中的任意一项所述的应变传感器，其特征在于，所述第2导体层的材料的应变灵敏度系数比所述第1导体层的材料的应变灵敏度系数低。8.根据权利要求6或7所述的应变传感器，其特征在于，所述第1导体层的材料是含有铜的材料或含有铬的材料，所述第2导体层的材料是铜、银或金。9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的应变传感器，其特征在于，所述第1导体层具有扭矩检测图案，该扭矩检测图案包含用于检测施加于所述被检测体的扭矩的所述检测线图案，所述电阻线沿着相对于径向和周向倾斜的方向延伸。10.根据权利要求1至8中的任意一项所述的应变传感器，其特征在于，所述第1导体层具有角度检测图案，该角度检测图案包含用于检测输入到所述被检测体的旋转运动的旋转角度的所述检测线图案，所述电阻线沿周向或径向延伸。11.根据权利要求1至10中的任意一项所述的应变传感器，其特征在于，所述第1导体层具有从所述检测线图案的端部延伸的布线部，在所述布线部的表面上层叠有所述第2导体层。12.一种动力传递装置，其特征在于，该动力传递装置具有：权利要求1至11中的任意一项所述的应变传感器；以及
圆形体，其是所述被检测体。13.根据权利要求12所述的动力传递装置，其特征在于，所述圆形体具有：挠性的筒状部，其沿轴向呈筒状延伸；多个外齿，该多个外齿设置于所述筒状部的外周面；以及隔膜部，其呈从所述筒状部的轴向的端部朝向径向外侧或径向内侧扩展的平板状，所述应变传感器固定于所述隔膜部。14.一种机器人，其特征在于，该机器人具有：权利要求12或13所述的动力传递装置；以及臂，其以从所述动力传递装置输出的转速进行旋转。

技术总结
本发明提供应变传感器、动力传递装置以及机器人。应变传感器具有绝缘层、第1导体层以及第2导体层。绝缘层固定于被检测体。第1导体层形成在绝缘层的表面上。第2导体层层叠在第1导体层的表面上。第1导体层具有检测线图案。检测线图案包含沿规定的方向延伸的多个电阻线和连接电阻线的端部的折返部。第2导体层层叠在折返部的表面上。折返部的表面上。折返部的表面上。


技术研发人员：高木大辅
受保护的技术使用者：日本电产新宝株式会社
技术研发日：2022.05.17
技术公布日：2022/11/22