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一种扫描电镜专用低背景导电热镶嵌料及其制备方法与流程

2022-11-19 13:24:55 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种扫描电镜专用低背景导电热镶嵌料,其特征在于,包括酚醛树脂、导电碳素介质及增韧碳素介质。2.根据权利要求1所述的扫描电镜专用低背景导电热镶嵌料,其特征在于,包括如下重量份的组分:酚醛树脂90-120份、导电碳素介质1-10份、增韧碳素介质1-10份。3.根据权利要求1所述的扫描电镜专用低背景导电热镶嵌料,其特征在于,所述导电碳素介质为石墨烯、导电碳粉、科琴黑中的一种或多种。4.根据权利要求1所述的扫描电镜专用低背景导电热镶嵌料,其特征在于,所述增韧碳素介质为多壁碳纳米管、碳纤维、球碳、粗碳粉中的一种或多种。5.根据权利要求2所述的扫描电镜专用低背景导电热镶嵌料,其特征在于,还包括按重量份计为1-10份的改性介质。6.根据权利要求5所述的扫描电镜专用低背景导电热镶嵌料,其特征在于,所述改性介质为金刚石粉、立方氮化硼、晶体硼中的一种或多种。7.根据权利要求1-6任意一项所述的扫描电镜专用低背景导电热镶嵌料,其特征在于,所述酚醛树脂为热固性酚醛树脂,且热固性酚醛树脂过筛≤200目。8.一种权利要求1-7任意一项所述的扫描电镜专用低背景导电热镶嵌料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:配置混合辅助液,并将各组分放入混合辅助液中;搅拌混合辅助液至各组分混合均匀并进行干燥,最后破碎成粉末状得到热镶嵌料。9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述混合辅助液为乙醇溶液、丙酮溶液或甲醇溶液。10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,在各组分于混合辅助液中混合均匀后,先自然晾干,再在40-60℃的条件下干燥0.5-2h。

技术总结
本发明公开了一种扫描电镜专用低背景导电热镶嵌料及其制备方法,热镶嵌料包括酚醛树脂、导电碳素介质及增韧碳素介质,在制备时,先将上述组分按比例放入混合辅助液中,然后分散混合均匀,再干燥破碎即可得到热镶嵌料,制备十分简单,同时热镶嵌料又具有极为优异的使用性能,其不仅导电性能良好,无严重荷电效应,而且具有低元素背景的优点,能有效提升样品的检测效果。测效果。测效果。


技术研发人员:雷瑾
受保护的技术使用者:云南协研科技有限公司
技术研发日:2022.08.26
技术公布日:2022/11/18
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