一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：s1、基底预处理；s2、将ps球悬浮液自组装到步骤s1处理好的基底上，制备ps球阵列；s3、等离子刻蚀步骤s2的ps球阵列；s4、在步骤s3样品表面沉积所需材料；s5、用溶解性溶剂清洗步骤s4样品；步骤s3所述等离子刻蚀所选气体为氧气或含氧气体混合物。2.根据权利要求1所述的一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器的制备方法，其特征在于，步骤s1所述基底为导电玻璃、沉积金属的普通玻璃片或金属片，预处理过程用丙酮、无水乙醇、去离子水超声清洗5-20min。3.根据权利要求1所述的一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器的制备方法，其特征在于，步骤s2所述ps球的直径≥500nm，ps球阵列制作方法为表面张力自组装、空气-液面自组装或旋涂法。4.根据权利要求1所述的一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器的制备方法，其特征在于，步骤s3所述等离子刻蚀所选功率为10-200w，刻蚀的时间为1-600s，所选气体流速为1-100sccm。5.根据权利要求1所述的一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器的制备方法，其特征在于，步骤s4所述材料为金属、半导体中的一种或多种。6.根据权利要求1所述的一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器的制备方法，其特征在于，步骤s4所述材料沉积方法包括电沉积、溶胶法。7.根据权利要求1所述的一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器的制备方法，其特征在于，步骤s5中所述溶解性溶剂为可溶解聚苯乙烯的有机溶剂或溶剂混合物，包括四氢呋喃、甲苯、丙酮、环己烷。8.一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器，其特征在于，由权利要求1-7任一所述方法制备得到。9.权利要求8所述一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器在电化学、光电化学或光催化反应中的应用。

技术总结
本发明属于微-纳米级微型反应器制备的技术领域，具体涉及一种具有可渗透薄膜的纳米碗阵列微反应器及其制备方法，包括以下步骤：S1.基底预处理；S2.将PS球悬浮液自组装到步骤S1处理好的基底上，制备PS球阵列；S3.等离子刻蚀步骤S2的PS球阵列；S4.在步骤S3样品表面沉积所需材料；S5.用溶解性溶剂清洗步骤S4样品。本发明制备的基底微反应器是由可控大小和可控材料的碗状结构组成，且表面由一层薄薄的聚苯乙烯覆盖，可以不受外界环境影响的同时进行小分子交换，可用于电化学、光电化学和光催化等领域，同时有望在未来的流电池应用。同时有望在未来的流电池应用。同时有望在未来的流电池应用。


技术研发人员：埃泽尔
受保护的技术使用者：肇庆市华师大光电产业研究院
技术研发日：2022.08.26
技术公布日：2022/11/18