一种用于气体放电离子源的供气系统

技术特征：
1.一种用于气体放电离子源的供气系统，其特征在于，包括：气体安全柜，所述气体安全柜内设置有第一高压气瓶和第二高压气瓶，所述第一高压气瓶和第二高压气瓶的出气端均设有开关阀；抽真空装置，所述第一高压气瓶的出气端通过第一管路与所述抽真空装置连接，所述第二高压气瓶的出气端通过第二管路与所述抽真空装置连接；进气调节装置，所述进气调节装置的一端与所述抽真空装置通过管路连通，另一端与离子源装置之间连通，所述第一管路与第二管路还与所述进气调节装置连通。2.根据权利要求1所述的用于气体放电离子源的供气系统，其特征在于，所述第一管路和第二管路之间还设有放气管路，所述放气管路包括第三管路和第四管路，所述第三管路连通所述第一管路和第二管路，所述第四管路的一端与所述第三管路连通，另一端与大气连通，所述第四管路的两侧各设有一个第一球阀，两个所述第一球阀分别用于控制所述第一管路、第二管路与所述第四管路的连通或断开。3.根据权利要求2所述的用于气体放电离子源的供气系统，其特征在于，所述进气调节装置包括第一气流调节阀、第二气流调节阀、第一调节机构和第二调节机构，所述第一气流调节阀与所述抽真空装置之间通过第五管路连通，所述第四气流调节阀与所述抽真空装置之间通过第六管路连通，所述第一管路与所述第五管路连通，所述第二管路与所述第六管路连通，所述第一管路与所述第一气流调节阀之间还设置有第二球阀，所述第二管路与所述第二气流调节阀之间设置有第三球阀，所述第一管路与所述抽真空装置之间设置有第四球阀，所述第二管路与所述抽真空装置之间设置有第五球阀，所述四球阀和第五球阀分别用于控制所述抽真空装置与所述第五管路和第六管路之间的连通和断开。4.根据权利要求3所述的用于气体放电离子源的供气系统，其特征在于，所述抽真空装置包括真空泵，所述真空泵的一端通过第七管路与所述第五管路和第六管路连通，所述第七管路上设置有第六球阀。5.根据权利要求3所述的用于气体放电离子源的供气系统，其特征在于，所述第一调节机构和第二调节机构结构相同，所述第一调节机构和第二调节机构均包括伺服电机以及绝缘杆，所述伺服电机的输出端通过所述绝缘杆与所述第一气流调节阀连接。6.根据权利要求5所述的用于气体放电离子源的供气系统，其特征在于，还包括两组减压装置，两组减压装置分别用于对第一高压气瓶和第二高压气瓶输出的气体进行减压，所述减压装置包括一级减压阀和二级减压阀，两个所述一级减压阀分别设置在所述第一管路和第二管路上，两个所述一级减压阀均安装在所述气体安全柜内，且分别靠近所述第一高压气瓶和第二高压气瓶，两个所述二级减压阀分别设置在所述第五管路和第六管路上，且分别靠近所述第一气流调节阀和第二气流调节阀。7.根据权利要求4所述的用于气体放电离子源的供气系统，其特征在于，还包括第三高压气瓶，所述第三高压气瓶的出气端通过第八管路与所述第七管路连通，所述第八管路上设置有球阀，所述第八管路上还设有一个一级减压阀。8.根据权利要求6所述的用于气体放电离子源的供气系统，其特征在于，所述气体安全柜内还设置有两个球阀，两个所述球阀分别设置在所述第一管路和第二管路上，且分别靠近所述第一高压气瓶和第二高压气瓶设置。9.根据权利要求4所述的用于气体放电离子源的供气系统，其特征在于，所述第一气流
调节阀、第二气流调节阀、第一调节机构和第二调节机构均固定安装在绝缘板上。10.根据权利要求8所述的用于气体放电离子源的供气系统，其特征在于，还包括两个可燃气体探测器，两个所述可燃气体探测器均安装在所述气体安全柜内，且分别与所述第一高压气瓶和第二高压气瓶连接。

技术总结
本发明涉及一种用于气体放电离子源的供气系统，包括气体安全柜、抽真空装置和进气调节装置。所述气体安全柜内设置有第一高压气瓶和第二高压气瓶，所述第一高压气瓶和第二高压气瓶的出气端均设有开发阀。所述第一高压气瓶的出气端通过第一管路与所述抽真空装置连接，所述第二高压气瓶的出气端通过第二管路与所述抽真空装置连接。所述进气调节装置的一端与所述抽真空装置通过管路连通，另一端与所述离子源装置之间连通。所述抽真空装置能够在所述气体安全柜向所述离子源供气之前将管路内的空气排出，提高供气的安全性，尤其对于易燃易爆的气体，同时也提高了所供气体的纯度。所述进气调节装置能够气体流量的精细调节和确保管路内气体气压的稳定。管路内气体气压的稳定。管路内气体气压的稳定。


技术研发人员：曹云 张雪珍 李家庆
受保护的技术使用者：中国科学院近代物理研究所
技术研发日：2022.08.09
技术公布日：2022/11/18