一种实验室光刻胶高效循环过滤装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻胶加工技术领域，具体地说是一种实验室光刻胶高效循环过滤装置。


背景技术：

2.光刻胶材料通常含有树脂、产酸剂、添加剂和溶剂组分，并对其颗粒和金属离子有严格的要求。颗粒和金属离子去除通常使用过滤及离子交换来实现的。对于光刻胶样品实验室制备阶段，传统的过滤方法是通过实验室针头式过滤器单次过滤的方式来实现。但这种单次过滤方式很难保证颗粒和金属离子达到样品要求，通常需要多次采用上述单次过滤方法才能实现，在此过程中耗时、耗材且稳定性差。如使用工业化的循环过滤反应釜，需要的样品量多、耗时、成本高且配制后样品如不达标无法回收利用。因此为了高效低成本的制备实验室光刻胶样品，需要开发新的循环过滤工艺设备来实现对颗粒及金属离子的有效去除。


技术实现要素：

3.针对现有技术中存在光刻胶材料中的颗粒和金属离子通过针头式过滤器单次过滤方式很难保证颗粒和金属离子达到样品要求；同时如果使用工业化循环过滤反应釜，那么需要的样品量多、耗时、成本高且配制后样品如果不达标无法回收利用的问题，本实用新型提供一种实验室光刻胶高效循环过滤装置，可以避免上述问题的发生。
4.本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是：
5.一种实验室光刻胶高效循环过滤装置，包括样本瓶和处于样本瓶一侧的抽吸泵，样本瓶上设置有瓶盖，瓶盖上设置有三个流通孔，抽吸泵的输入端连接有输入管，输入管的一端穿过一个流通孔延伸至样本瓶底部，抽吸泵的输出端连接有输出管，输出管上依次连通有设置在固定架上的离子交换过滤器和颗粒过滤器，输出管的一端穿过另一个流通孔延伸至样本瓶内。
6.本装置通过样本瓶配合瓶盖、抽吸泵和两个过滤器采用循环过滤的方式实现光刻胶样品中颗粒和金属离子的去除，降低样品制备成本。
7.进一步地，所述瓶盖上设置有密封组件，密封组件包括连接台、密封件和安装柱，流通孔贯穿连接台，连接台上设置有安装柱，安装柱内设置有安装孔，安装孔与流通孔一一对应设置，安装柱上螺纹连接有密封件，密封件上设置有密封孔，流通孔、安装孔和密封孔依次相连通，其中两个密封件分别与输入管和输出管相配合。
8.上述方案中利用密封组件进一步提高了输入管以及输出端与样本瓶之间的连接密封性，避免外界杂质混入样本瓶内。
9.进一步地，其中一个所述密封件上连接有单向阀。
10.上述方案中单向阀只允许光刻胶蒸汽流出，不允许外界杂质流入，进一步避免外界杂质进入样本瓶内。
11.进一步地，所述样本瓶上螺纹连接有瓶盖，瓶盖内设置有橡胶圈，橡胶圈与样本瓶相配合。
12.上述方案中橡胶圈提高了瓶盖与样本瓶之间的螺纹密封效果。
13.进一步地，所述密封件内部设置有垫圈。
14.上述方案中当输入管以及输出管通过密封件时会与垫圈相接触实现二重密封。
15.进一步地，所述流通孔、安装孔和密封孔的孔径相等。
16.进一步地，三个所述流通孔关于瓶盖的中心圆周设置。
17.与现有技术相比，本实用新型的有益效果:
18.1、本装置通过样本瓶配合瓶盖、抽吸泵、颗粒过滤器和离子交换过滤器采用循环过滤的方式实现光刻胶样品中颗粒和金属离子的去除，降低样品制备成本。
19.2、本装置增设密封组件进一步提高了管路与瓶盖之间的连接密封性，保证高效的循环过滤流程，多次过滤直至完全将光刻胶中的颗粒以及金属离子除尽。
20.3、本装置通过设置单向阀配合密封组件进一步避免样本瓶内混合外界的杂质，保证装置对光刻胶的循环过滤效果。
附图说明
21.图1为本实用新型的整体结构示意图；
22.图2为密封件安装示意图；
23.图3为安装柱安装示意图；
24.图4为橡胶圈安装示意图
25.附图标记：
26.1、样本瓶；2、瓶盖；201、内螺纹；202、橡胶圈；21、连接台；211、流通孔；22、密封件；23、单向阀；24、安装柱；241、安装孔；3、抽吸泵；31、输入管；32、输出管；4、固定架；5、离子交换过滤器；6、颗粒过滤器。
具体实施方式
27.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
28.如图1至图4所示，一种实验室光刻胶高效循环过滤装置，包括样本瓶1和处于样本瓶1一侧的抽吸泵3，样本瓶1上设置有瓶盖2，进一步细化，样本瓶1上螺纹连接有瓶盖2，瓶盖2内设置有橡胶圈202，橡胶圈202与样本瓶1相配合，利用橡胶圈202可以提高瓶盖2与样本瓶1之间的密封效果，瓶盖2上设置有三个流通孔211，流通孔211与样本箱内部相连通，利用流通孔211实现样本瓶1内光刻胶的循环过滤，方案的优化，三个流通孔211关于瓶盖2的中心圆周设置，抽吸泵3的输入端连接有输入管31，输入管31的一端穿过一个流通孔211延伸至样本瓶1底部，利用抽吸泵3从样本瓶1的内部抽吸光刻胶进行循环过滤流程，抽吸泵3的输出端连接有输出管32，输出管32上依次连通有设置在固定架4上的离子交换过滤器5和
颗粒过滤器6，光刻胶多次反复进行颗粒以及离子的过滤后，达到生产的标准要求，输出管32的一端穿过另一个流通孔211延伸至样本瓶1内；每完成一次过滤后重新将光刻胶通回样本瓶1内。
29.为了提高管路与样本瓶1之间的连接密封性，进一步设计了密封组件，如图1至图4所示，瓶盖2上设置有密封组件，密封组件包括连接台21、密封件22和安装柱24，流通孔211贯穿连接台21，连接台21上设置有安装柱24，安装柱24内设置有安装孔241，安装孔241与流通孔211一一对应设置，安装柱24上螺纹连接有密封件22，密封件22内部设置有垫圈，密封件22上设置有密封孔，流通孔211、安装孔241和密封孔依次相连通且孔径相等，其中两个密封件22分别与输入管31和输出管32相配合，剩余的一个密封件22上连接有单向阀23；利用密封件22可以提高输入管31和输出管32与样本瓶1的连接密封性，当管路通过密封件22的过程中此时会与密封件22内的垫圈相配合实现管路的密封，密封件22活动连接便于拆卸，增设密封组件提高了光刻胶循环过滤的效果，单向阀避免其他外界杂质混入到样本瓶1内部，单向阀23只允许蒸汽流出不允许流入，同样避免外界杂质混入样本瓶1内。
30.本实用新型的工作流程：
31.实验室光刻胶样品循环过滤装置使用方法为，首先将光刻胶各配方组分加入到样本瓶1中混合均匀，按照说明书附图1所示连接样本瓶1、瓶盖2、抽吸泵3、离子交换过滤器5、颗粒过滤器6、输入管31和输出管32，其中输入管31的一端插入样本瓶1瓶底，连接颗粒过滤器6和离子交换过滤器5的输出管32置于样本瓶1内光刻胶溶液上方；抽吸泵3从样本瓶1底部抽取液体，经抽吸泵3、颗粒过滤器6和离子交换过滤器5再回到样本瓶1内，实现循环过滤的目的，光刻胶样品经循环过滤一定时间，测试颗粒或金属达标后，将连接过滤器出口处的输出管32取出，进行灌装，即完成光刻胶样品制备。其中，一开始通入样本瓶1内的光刻胶样本为热的，单向阀23可以保证样本瓶1内处于常压状态，样本瓶1内蒸汽可以从单向阀23排出，但外接空气无法进入到样本瓶1内，防止外界空气进入样本瓶1内引入新的颗粒和金属。
32.其中本装置采用的材料规格如下：
33.(1)样本瓶1为10l以下的玻璃瓶、hdpe塑料瓶、pfa塑料瓶、pp塑料瓶中的其中一种；
34.(2)瓶盖2外壳内部设有内螺纹201和橡胶圈202用于连接样本瓶1。密封组件下部嵌入瓶盖2上，其中密封件22内设置有垫圈；
35.(3)抽吸泵3可为风囊泵或隔膜泵等，其泵内部管材为pfa、ptfe等高纯耐腐蚀性材质；
36.(4)过滤器为颗粒过滤器6和离子交换过滤器5，使用其中一种或两种串联，过滤器滤芯材质通常为聚丙烯(pp)、聚四氟乙烯(ptfe)、聚乙烯(pe)、尼龙、聚醚砜等；
37.(5)输入和输出管路通常为pfa材质的管路。
38.最后应当说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制；尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换；而不脱离本实用新型技术方案的精神，其均应涵盖在本实用新型请求保护的技术方案范围当中。