一种新型长晶炉温度测试装置的制作方法

1.本实用新型涉及pvt法晶体生长技术领域，具体为一种新型长晶炉温度测试装置。


背景技术：

2.pvt法晶体生长技术是针对某些高熔点，低溶解度等特殊性质，使得以液相法生长难以实现，因此以气相为母相或传输介质，实现晶体的生长方法。目前长晶技术感应加热方式为主流加热方式，感应加热为感应线圈加热。即通过铜管旋绕的方式形成电磁发生装置，通过设定线圈间距，线圈直径，调节通过线圈电流，设定通过电流频率来控制加热功率，加热温度，轴向温度梯度以及径向温度梯度。当前长晶炉包含真空腔体，真空腔体等冷却系统，电磁加热系统，气压控制系统，物料传送系统等组成。通过对感应线圈通过电流，在线圈区域根据法拉第电磁感应定律产生高频磁力线，高频磁力线穿过在磁力线内部的导体激发自由电子，自由电子受磁力线作用形成涡流运动，导体材料被加热到指定的温度。
3.因生产时石墨坩埚要被加热到2200℃以上，因此没有能够直接测温的方式来体现工艺生长阶段的温度情况。目前行业采取的方法多为红外感温测试仪的方式。但在加热工艺过程中，sic气体扩散到坩埚外后凝固，会在保温层的空洞形成网状结构，堵塞测温孔，无法全工序对坩埚温度进行评估。
4.为解决上述问题，本技术中提出一种新型长晶炉温度测试装置。


技术实现要素：

5.(一)实用新型目的
6.为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种新型长晶炉温度测试装置，具有提高温度测量的准确度和使用效果的特点。
7.(二)技术方案
8.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种新型长晶炉温度测试装置，包括炉体、加热内筒和盖板，所述加热内筒镶嵌在炉体内部，所述盖板可拆卸连接在加热内筒的顶部开口端位置；
9.所述炉体侧壁开设有装配孔，且装配孔延伸至加热内筒的内表面，所述加热内筒内壁复合有保温毡防护板；
10.所述装配孔的开口位置固定连接装配块，所述装配块表面的插孔位置插接有铂系热电偶传感器检测头，所述铂系热电偶传感器检测头一侧电性连接温度显示器；
11.所述温度显示器安装在装配座表面，且装配座内部插接有水冷件。
12.优选的，所述铂系热电偶传感器检测头插接在炉体侧壁的装配孔内部，且铂系热电偶传感器检测头的插接端延伸至保温毡防护板表面。
13.优选的，所述装配块上下表面均固定连接卡台。
14.优选的，所述装配块外部卡接有定位件，所述定位件包括压环和卡块，所述卡块对称安装在压环表面，所述压环通过卡块与卡台相卡接。
15.优选的，所述水冷件包括储液箱、增压泵和水冷箱，所述增压泵的吸液端与储液箱导通连接，所述增压泵的喷液端与水冷箱导通连接。
16.优选的，所述水冷箱插接在装配座的腔体内部，所述水冷箱侧壁设置有排水接头。
17.本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
18.此种温度测量方法不受sic蒸发气体堵塞排气孔的影响，可以完整工艺过程监控坩埚温度。根据大量数据的总结，可以推出坩埚实际温度与热场表面的关系，因此能够测量得到坩埚实际温度，可以在工艺过程中全程监控坩埚温度，对控制长晶工艺提供有效依据。
附图说明
19.图1为本实用新型的整体结构示意图；
20.图2为本实用新型的炉体和加热内筒连接结构示意图；
21.图3为本实用新型的炉体和铂系热电偶传感器检测头连接结构示意图。
22.附图标记：
23.1、炉体；101、装配孔；2、加热内筒；201、保温毡防护板；3、盖板；4、储液箱；5、增压泵；6、水冷箱；7、装配座；8、温度显示器；9、铂系热电偶传感器检测头；10、装配块；11、卡台；12、压环；13、卡块。
具体实施方式
24.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
25.图1为本实用新型的整体结构示意图；
26.实施例1
27.如图1、图2和图3所示，本实用新型提出的一种新型长晶炉温度测试装置，包括炉体1、加热内筒2和盖板3，所述加热内筒2镶嵌在炉体1内部，所述盖板3可拆卸连接在加热内筒2的顶部开口端位置；
28.所述炉体1侧壁开设有装配孔101，且装配孔101延伸至加热内筒2的内表面，所述加热内筒2内壁复合有保温毡防护板201；
29.所述装配孔101的开口位置固定连接装配块10，所述装配块10表面的插孔位置插接有铂系热电偶传感器检测头9，所述铂系热电偶传感器检测头9一侧电性连接温度显示器8；
30.所述温度显示器8安装在装配座7表面，且装配座7内部插接有水冷件。
31.需要说明的是，使用传感器连接线把铂系热电偶传感器检测头9和温度显示器8电性连接，保温毡防护板201的保温效果可以使保温毡防护板201外温度不会到十分高的温度，因此在保温毡防护板201表面放置铂系热电偶传感器检测头9，通过铂系热电偶传感器检测头9对保温毡防护板201内侧的加热内筒2的温度进行测量，温度实时显示在温度显示器8表面，具有很好的测温效果；使用同一批次的保温毡防护板201，对原有热场空出空间，此空间与带热电偶的热场为负公差尺寸配合，每次生产前对热电偶的热场块测量密度，重
量，热导率，保证热电偶测量的温度的一致性。
32.实施例2
33.在本实施例中，如图3所示，所述铂系热电偶传感器检测头9插接在炉体1侧壁的装配孔101内部，且铂系热电偶传感器检测头9的插接端延伸至保温毡防护板201表面，所述装配块10上下表面均固定连接卡台11，所述装配块10外部卡接有定位件，所述定位件包括压环12和卡块13，所述卡块13对称安装在压环12表面，所述压环12通过卡块13与卡台11相卡接。
34.需要说明的是，相对炉体1安装铂系热电偶传感器检测头9的时候，把铂系热电偶传感器检测头9的检测端插接在装配块10表面的插孔位置，直到装配块10对铂系热电偶传感器检测头9的凸台位置阻挡限位，相对铂系热电偶传感器检测头9推动定位件，压环12沿着铂系热电偶传感器检测头9压合至凸台位置，压环12的卡块13卡接在装配块10的卡台11表面，对铂系热电偶传感器检测头9压紧固定，稳定性好。
35.实施例3
36.在本实施例中，如图3所示，所述水冷件包括储液箱4、增压泵5和水冷箱6，所述增压泵5的吸液端与储液箱4导通连接，所述增压泵5的喷液端与水冷箱6导通连接，所述水冷箱6插接在装配座7的腔体内部，所述水冷箱6侧壁设置有排水接头。
37.需要说明的是，水冷件包括储液箱4、增压泵5和水冷箱6，水冷箱6插接在装配座7的腔体内部，通过增压泵5对水冷箱6内部的水液增压，水液进入水冷箱6内部，水冷箱6对温度显示器8的装配座7进行降温及隔热保护，保持温度显示器8正常使用。
38.应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。