一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置

技术特征：
1.一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置，其特征是：所述装置包括：参考信号和测量光产生模块、第一偏振器件、第二偏振器件、待测光电探测器、参考信号调理电路、相位解调与光功率和对比度检测电路；所述参考信号和测量光产生模块分别连接偏振器件和参考信号调理电路；所述第一偏振器件连接第二偏振器件；所述第二偏振器件连接待测光电探测器，所述待测光电探测器连接相位解调与光功率和对比度检测电路，所述参考信号调理电路连接相位解调与光功率和对比度检测电路。2.根据权利要求1所述的一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置，其特征是：参考信号和测量光产生模块输出参考信号与两束同轴传输偏振方向垂直、频率不同的测量光；第一偏振器件通过旋转其偏振方向使两束激光发生干涉并能够调节干涉光对比度；第二偏振器件通过旋转其偏振方向能够调节干涉光的光功率；待测光电探测器接收干涉光信号，转化成幅值合适的测量电信号；参考信号调理电路接收参考信号，转化成幅值合适的参考电信号；相位解调与光功率和对比度检测电路接收测量电信号与参考电信号解算两路信号的相位差，并能够进行干涉光信号光功率和对比度的检测。3.根据权利要求2所述的一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置，其特征是：参考信号和测量光产生模块是带参考信号的双频激光器。4.根据权利要求3所述的一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置，其特征是：所述的参考信号和测量光产生模块包括两个不同频率单频激光器、npbs、偏振片；两不同频率单频激光器输出的激光保证其偏振方向垂直，分别垂直输入到npbs相邻两面，输出两组同轴的偏振方向垂直的激光，其中一组作为测量光信号，另一组通过偏振片发生干涉作为参考光信号。5.根据权利要求4所述的一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置，其特征是：所述的参考信号和测量光产生模块包括不带参考信号的双频激光器、npbs、偏振片；双频激光器输出两束同轴传输偏振方向垂直、频率不同的激光，垂直输入到npbs分成两组光，其中一组作为测量光信号，另一组通过偏振片发生干涉作为参考信号。6.根据权利要求5所述的一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置，其特征是：第一和第二偏振器件均是格兰-汤普逊棱镜。7.根据权利要求6所述的一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置，其特征是：第一和第二偏振器件均是pbs，偏振分光棱镜。8.一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试方法，其特征是：所述方法包括以下步骤：步骤1：进行初值选择，在激光干涉位移测量装置中，提前测量在每一个测量轴中参考光与测量光干涉后的最大光强及对比度作为初值；步骤2：进行测量初始化，通过调节偏振器件调节干涉光的光功率与对比度，并进行光功率和对比度的检测，使输出光功率与对比度达到初值；
步骤3：进行测试点选取，利用激光干涉位移测量系统中光强衰减和对比度减小的映射关系，选取测试点；步骤4：开始测量，调节偏振器件改变干涉光的对比度与光功率，并进行干涉光的光功率和对比度的检测，使光功率和对比度达到测试点，利用相位解调电路实时测量干涉光从初值到测试点的相位差。9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行，以用于实现如权利要求8所述的一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试方法。10.一种计算机设备，其特征在于，包括存储器和处理器，所述存储器中存储有计算机程序，当所述处理器运行所述存储器存储的计算机程序时，所述处理器执行根据权利要求8所述的一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试方法。

技术总结
本发明是一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置。本发明涉及外差激光干涉仪探测误差测量技术领域，本发明为了针对外差激光干涉仪光功率和对比度变化引起的探测误差测量困难、干扰因素众多的问题。通过调节干涉光的光功率和对比度等效待测目标的偏摆造成的对比度和光功率降低，能够分离位移、振动、空气扰动等干扰因素的影响。本发明外有着光路简洁、元器件少的特点，利于工程实现，并且在实现难易度、测量精度等方面都具有优势。具有优势。具有优势。


技术研发人员：邢旭 王嘉宁 孙启凡 孙云科 胡鹏程 谭久彬
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
技术研发日：2022.08.25
技术公布日：2022/11/11