探针单元的制作方法

技术特征：
1.一种探针单元，包括：多个第一接触探针，其分别在长度方向上的一个端部侧与接触对象的电极接触；第二接触探针，其与外部的接地连接；以及探针座，其保持所述第一接触探针和所述第二接触探针，所述探针座中形成有：第一中空部，其插入并保持所述第一接触探针；第二中空部，其插入并保持所述第二接触探针；和通孔，其设置于所述第一中空部的周围，所述探针座具有导电部，该导电部构成所述通孔，且将所述通孔与所述第二接触探针电连接。2.根据权利要求1所述的探针单元，其中，所述导电部设置于所述通孔、以及形成该通孔的开口端的表面上。3.根据权利要求1或2所述的探针单元，其中，所述通孔形成为直径在局部不同的呈台阶状的孔状。4.根据权利要求1至3中任一项所述的探针单元，其中，所述通孔形成为中心轴的位置彼此不同的呈台阶状的孔状。5.根据权利要求1至4中任一项所述的探针单元，其中，所述探针座由一个构件形成。6.根据权利要求1至4中任一项所述的探针单元，其中，所述探针座是在所述第一中空部的贯穿方向上层叠多个构件而形成的。7.根据权利要求6所述的探针单元，其中，所述通孔由分别形成于所述多个构件中的贯穿孔形成，在至少一个构件中，形成为所述贯穿孔的直径在局部不同的呈台阶状的孔状。8.根据权利要求6或7所述的探针单元，其中，所述通孔由分别形成于所述多个构件中的贯穿孔形成，在至少一个构件中，形成为所述贯穿孔的中心轴的位置彼此不同的呈台阶状的孔状。9.根据权利要求6所述的探针单元，其中，在所述多个构件中分别形成有构成所述通孔的贯穿孔，所述通孔中，在所述构件的层叠方向上彼此相邻的构件中形成的贯穿孔的至少一部分，从该贯穿孔的贯穿方向观察时彼此重叠。10.据权利要求1至9中任一项所述的探针单元，其中，所述通孔在从贯穿方向观察时的开口的形状形成为长孔状。

技术总结
本发明的探针单元具有：多个第一接触探针，其分别在长度方向上的一个端部侧与接触对象的电极接触；第二接触探针，其与外部的接地连接；探针座，其保持第一接触探针和第二接触探针，其中，探针座中形成有：第一中空部，其插入并保持第一接触探针；第二中空部，其插入并保持第二接触探针；通孔，其设置在第一中空部的周围，且探针座具有导电部，该导电部构成通孔，且将该通孔与第二接触探针电连接。且将该通孔与第二接触探针电连接。且将该通孔与第二接触探针电连接。


技术研发人员：井沼毅 高桥秀志 相马一也 仁平崇 广中佑哉
受保护的技术使用者：日本发条株式会社
技术研发日：2021.03.17
技术公布日：2022/11/11