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一种电子材料清洗废水强化处理的装置的制作方法

2022-11-12 15:43:12 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及废水处理技术领域,尤其涉及一种电子材料清洗废水强化处理的装置。


背景技术:

2.随着电子行业半导体和芯片的快速发展,生产时需要的连续流动的超纯水以及生产时排放废水。通常的行业废水主要有含铜,镍,锡重金属废水以及含氟离子废水和切割研磨硅片产生的废水,采用分流单独处理针对这种废水的研究处理工艺并且合理回收利用方法取得良好效果,即可以大量的减少污水排放减轻和降低处理成本。全球的水资源紧缺和“双碳”背景驱动下,解决行业节约用水及排水深度处理与回用的难题急需关键实用的技术。回用水作为再生资源,是以后企业污水排放及利用的发展趋势。传统的混凝废水处理方法可以净化废水中的重金属离子、含氟离子和有机物等,目前大多企业运行的废水处理膜装置可以实现达标排放和低阶的废水回用,实现冷却水和绿化用水等,但是难以作为纯化水的制备原水,实现高端回用。清洗废水来源于磨板、水洗、电镀、洗缸等程序,占总水量的80%以上。其中主要问题是硅的含量高,而在电子行业中清洗用水中对各种杂质控制非常严格,过高的硅含量对于常规的纯水制备工艺会引起运行困难,出现硅垢等堵塞现象。为此,本发明设计了一种电子材料清洗废水强化处理的方法与装置,可以深度净化硅的含量、提高出水的浊度可以实现作为出水的制备等高端用水,而且实施方便。


技术实现要素:

3.本实用新型克服了现有技术的不足,提供了一种电子材料清洗废水强化处理的装置。
4.为达上述目的,本实用新型采用的技术方案为:
5.本发明第一方面提供了一种电子材料清洗废水强化处理的装置,包括一级吸附过滤器以及二级吸附过滤器,
6.所述一级吸附过滤器通过管道与所述二级吸附过滤器相连,且所述一级吸附过滤器连通进水管线,所述进水管线连接原水箱,所述二级吸附过滤器连通出水管线,且所述出水管线的一端上接通第一反洗管线,所述第一反洗管线另一端接通一级吸附过滤器;
7.所述一级吸附过滤器的侧部还连接第二反洗管线,所述第二反洗管线的另一端接通原水箱;
8.所述原水箱上还设置有不合格管线,所述不合格管线还连接所述出水管线。
9.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述一级吸附过滤器的内部设置有若干改性的氧化铝或氧化镁的球吸附柱。
10.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述二级吸附过滤器的内部设置有高分子纤维以及活性炭纤维的复合微孔膜。
11.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述球吸附柱采用氧化钙为支撑骨架。
12.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述吸附球柱的耐压强度至少为0.8mpa。
13.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述复合微孔膜的平均孔径为0.2微米。
14.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述球吸附柱的孔径分布在0.5mm以下的占有50%以上,0.5-1.0mm占40%以上。
15.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述进水管线、出水管线、第一反洗管线、第二反洗管线以及不合格管线上均设置有控制阀门。
16.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述一级吸附过滤器以及二级吸附过滤器中均设置有ph值检测传感器。
17.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述二级吸附过滤器中设置有硅含量测量传感器。
18.本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷,本实用新型具备以下有益效果:
19.本实用新型由两级吸附过滤器串联构成,第一级是改性的氧化铝和氧化镁多孔球作为吸附过滤介质,第二级为有机聚合高分子与活性炭纤维复合微孔膜构成。依次对清洗废水中的二氧化硅、浊度实施净化,出水可以作为制备纯水用的原水,方便、简单实现废水的高阶回用,实现减少污染和节水的目的。另外,本实用新型设置有第一反洗管线以及第二反洗管线,当一级吸附过滤器以及二级吸附过滤器的水质清理不完全时,由于设置有硅含量测量传感器以及ph值检测传感器,将对该水质返回继续进行清理,有效地提高了水质清理的效果。
附图说明
20.构成本实用新型的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。
21.图1为一种电子材料清洗废水强化处理的装置的立体结构示意图;
22.图2为一级吸附过滤器的内部结构示意图;
23.图3为二级吸附过滤器的内部结构示意图。
24.图中:
25.1.一级吸附过滤器,2.二级吸附过滤器,3.进水管线,4.原水箱,5.出水管线,6.第一反洗管线,7.第二反洗管线,8.不合格管线,9.球吸附柱,10.复合微孔膜,11.控制阀门。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
27.本实用新型的描述中,“实施例”、“一个实施例”、“一些实施例”、或“其他实施例”的提及表示结合实施例说明的特定特征、结构或特性包括在至少一些实施例中,但不必是
全部实施例。“实施例”、“一个实施例”、或“一些实施例”的多次出现不一定全都指代相同的实施例。如果说明书描述了部件、特征、结构或特性“可以”、“或许”或“能够”被包括,则该特定部件、特征、结构或特性不是必需被包括的。如果说明书或权利要求提及“一”元件,并非表示仅有一个元件。如果说明书或权利要求提及“一另外的”元件,并不排除存在多于一个的另外的元件。此外,特定特征、结构、功能或特性可以以任何适合的方式组合到一个或多个实施例中。例如,第一实施例可以结合第二实施例,只要与这两个实施例相关联的特定特征、结构、功能或特性不互相排斥。
28.在本实用新型的描述中,除非另外规定,否则使用序数形容词“第一”、“第二”及“第三”等来描述共同的对象,仅表示指代相同对象的不同实例,而并不是要暗示这样描述的对象必须采用给定的顺序,无论是时间地、空间地、排序地或任何其它方式。在本实用新型创造的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
29.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.本实用新型提供了一种电子材料清洗废水强化处理的装置,包括一级吸附过滤器1以及二级吸附过滤器2,
31.所述一级吸附过滤器1通过管道与所述二级吸附过滤器2相连,且所述一级吸附过滤器1连通进水管线3,所述进水管线3连接原水箱4,所述二级吸附过滤器2连通出水管线5,且所述出水管线5的一端上接通第一反洗管线6,所述第一反洗管线5另一端接通一级吸附过滤器1;
32.所述一级吸附过滤器1的侧部还连接第二反洗管线7,所述第二反洗管线7的另一端接通原水箱4;
33.所述原水箱4上还设置有不合格管线8,所述不合格管线8还连接所述出水管线5。
34.需要说明的是,首先原水箱4中待净化的废水经过进水管线3进入到一级吸附过滤器1,经过一级吸附过滤器1处理后,由于一级吸附过滤器1中设置有球吸附柱9,球吸附柱9中装有氧化铝和氧化镁的多控球,都是采用氧化钙为支撑骨架,孔径的分布在0.5mm以下的占有50%以上,0.5-1.0mm占40%以上,而大于1.0mm的占10%以下;在装入过滤柱前需要经过活化,该类多孔球首先经过0.1摩尔的强氧化钠或氢氧化钾清洗活化,浸渍在活化剂如乙醇/表面活性剂中,常温浸渍2-12小时;取出后利用去离子水清洗和真空60-80℃脱去乙醇和有机物,多孔球的的耐压强度在0.8mpa以上,采用等球等密度填充;进水的工作条件控制在ph 5-10。在二级吸附过滤器中专有聚丙烯与活性炭纤维的复合膜,平均孔径为0.2微米;再装入过滤壳体也事先经过碱性液活化和去离子水清洗。待处理水的进水管线3采用上进下出、出水管线5水下进上出;由于进水管线3以及出水管线5均装有控制阀门11合格水排除回用系统,不合格水返回原水;合格水链接一级吸附过滤器1的第一反洗管线5以及第二反洗管线6,而且可以间歇对一级吸附过滤系统1以及二级吸附过滤系统2进行反洗。第一级的吸附柱失效后采用1-2%的氢氧化钠或氢氧化钾浸泡和活化剂再生。
35.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述一级吸附过滤器1的内部设置有若
干改性的氧化铝或氧化镁的球吸附柱9。
36.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述二级吸附过滤器2的内部设置有高分子纤维以及活性炭纤维的复合微孔膜10。
37.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述球吸附柱9采用氧化钙为支撑骨架。
38.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述吸附球柱9的耐压强度至少为0.8mpa。
39.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述复合微孔膜10的平均孔径为0.2微米。
40.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述球吸附柱9的孔径分布在0.5mm以下的占有50%以上,0.5-1.0mm占40%以上。
41.需要说明的是,选取的氧化铝微孔球,直径为5mm,孔径的分布在0.5mm以下的占有50%以上,0.5-1.0mm占40%以上,而大于1.0mm的占10%以下;在装入过滤柱前需要经过活化,该类多孔球首先经过0.1molkoh活化1小时,去除沥干后,再次浸渍在活化剂为乙醇/c13h 27o(ch2ch
2o
)nh)中,常温浸渍8小时,去离子水清洗没在真空60℃干燥后,填充在直径为200mm,高度为1000mm,壳体的材质为玻璃钢(frp),填充体积为29l。二级吸附过滤器采用聚丙烯/活性炭纤维膜,孔径为0.2微米;直径为200mm,高度为1000mm,壳体的材质为304不锈钢。
42.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述进水管线3、出水管线5、第一反洗管线6、第二反洗管线7以及不合格管线8上均设置有控制阀门11。
43.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述一级吸附过滤1器以及二级吸附过滤器2中均设置有ph值检测传感器。
44.需要说明的是,利用在一级吸附过滤1器以及二级吸附过滤器2中均设置有ph值检测传感器,可以实时检测水质是否清理达标,从而控制不合格管线8、第一反洗管线5、第二反洗管线6的控制阀门的开关,如在一级吸附过滤器1的清理水质不达标时,此时打开第二反洗管线的控制阀门11,将水吸附回原水箱中,直至清理的水质达标。
45.进一步的,本实用新型一个较佳实施例中,所述二级吸附过滤器2中设置有硅含量测量传感器。
46.需要说明的是,利用硅含量测量传感器来控制第一反洗管线6的控制阀门11的开关,当二级吸附过滤器2的水质硅含量过高时,此时打开控制阀门11的开关,将水分重新吸附回一级吸附过滤器1中,从而实现对二级吸附过滤器2中的水分进行重新清理,直至水质中的硅含量达标。
47.最后说明的是,以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制,尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本技术方案的宗旨和范围,其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
48.上述虽然结合附图对本实用新型的具体实施方式进行了描述,但并非对本实用新型保护范围的限制,所属领域技术人员应该明白,在本实用新型的技术方案的基础上,本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本实用新型的保护范
围以内。
再多了解一些

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