晶圆载具管理系统及方法与流程

1.本公开涉及物品存取管理技术领域，具体地，涉及晶圆载具管理系统及方法。


背景技术：

2.在整个半导体制程中，晶圆载具的使用在整个生产过程中起着至关重要的作用。目前，晶圆载具的识别管理主要通过两种方式进行，一种是在晶圆载具的卡片盒上贴附条形码，另一种是在卡片盒上安装射频识别装置。
3.在载具的使用过程中，当载具上载设备端后，设备端会将晶圆传入载具中，同时，mes系统（manufacturing execution system）会将晶圆涉及信息下发至设备端，设备端通过条形码扫码装置或射频识别写入装置将晶圆信息传入该载具中，由此，该载具就与传入载具中的晶圆信息进行了绑定；在使用过程中，操作人可以在mes系统通过查询载具信息进而找到对应的晶圆id等晶圆信息。
4.但是，对于与装载在晶圆载具中的晶圆有关的信息的识别，操作者必须通过mes系统查询来进行，导致识别过程比较麻烦且缺乏时效性。此外，在寻找目标载具及装载在其中的晶圆时，需要提前在mes系统记好对应载具的编号，才能在产线进行寻找，导致寻找过程不够便捷，造成了时间和人员成本的浪费，且该问题在放置在产线的载具的数目较大时尤为严重。


技术实现要素：

5.本部分提供了本公开的总体概要，而不是对本公开的全部范围或所有特征的全面公开。
6.本公开的一个目的在于提供一种使操作者能够更便捷地识别与装载在晶圆载具中的晶圆有关的信息的晶圆载具管理系统。
7.本公开的另一目的在于提供一种能够方便且快速地寻找到目标载具的晶圆载具管理系统。
8.为了实现上述目的中的一个或多个，根据本公开的一个方面，提供了一种晶圆载具管理系统，其包括：晶圆载具，其用于装载晶圆；设备模块，其用于向上载到设备模块的晶圆载具转移晶圆和/或从晶圆载具转移晶圆，并且设备模块包括用于传送信息的低频信号传输装置；提示模块，其安装在晶圆载具上并包括显示屏，提示模块用于接收由设备模块的低频信号传输装置传送的信息并通过显示屏显示信息；以及mes系统，其用于在其中为晶圆载具命名，并与设备模块通信以用于通过向设备模块下发指令来使设备模块执行下述操作：向上载到设备模块的晶圆载具转移晶圆和/或从晶圆载具转移晶圆并通过低频信号传输装置向提示模块传送与装载在晶圆载具中的晶圆有关的信息。
9.在上述晶圆载具管理系统中，设备模块可以为清洗机或分选机。
10.在上述晶圆载具管理系统中，设备模块包括用于晶圆载具的上载及下载的载口，并且低频信号传输装置可以设置在载口处。
11.在上述晶圆载具管理系统中，与装载在晶圆载具中的晶圆有关的信息可以包括晶圆载具id、批次id、产品物料号、产品使用的加工流程、晶圆数量、以及装载在晶圆载具中的每一片晶圆的晶圆id和其在晶圆载具中的位置。
12.在上述晶圆载具管理系统中，提示模块可以包括发声装置，发声装置能够根据mes系统向安装在晶圆载具上的提示模块下发的指令发声。
13.在上述晶圆载具管理系统中，提示模块可以包括发光装置，发光装置能够根据mes系统向安装在晶圆载具上的提示模块下发的指令发光。
14.在上述晶圆载具管理系统中，发光装置可以为颜色能够根据mes系统来选定的背光灯。
15.在上述晶圆载具管理系统中，提示模块可以构造成能够被安装在晶圆载具的卡片盒处。
16.在上述晶圆载具管理系统中，晶圆载具可以为前开式晶圆传送盒或前开式晶圆出货盒。
17.根据本公开的另一方面，提供了一种晶圆载具管理方法，其利用根据前述段落中的任一个所述的晶圆载具管理系统来进行，包括：在mes系统中为晶圆载具命名；将晶圆载具上载到设备模块；以及通过mes系统向设备模块下发指令，以使设备模块向晶圆载具转移晶圆和/或从晶圆载具转移晶圆并通过低频信号传输装置向提示模块传送与装载在晶圆载具中的晶圆有关的信息，从而使提示模块的显示屏显示该信息。
18.根据本公开，通过设置安装在晶圆载具上的具有显示屏的提示模块并使提示模块能够接收来自mes系统的信息并将其实时显示在显示屏上，使得操作者能够直观地识别与装载在晶圆载具中的晶圆有关的信息，提高了识别的便捷性，并且同时由于该显示屏显示的是mes系统传送来的信息，因此使得信息的显示具有实时性。此外，通过使提示模块还包括可以根据mes系统的指令发声和/或发光的发声装置和/或发光装置，使得操作者能够根据声音和/或光的指引方便且快速地寻找到目标载具，节省了寻找的时间和人力。
19.通过以下结合附图对本公开的示例性实施方式的详细说明，本公开的上述特征和优点以及其他特征和优点将更加清楚。
附图说明
20.图1示意性地示出了根据本公开的实施方式的晶圆载具管理系统的结构关系；图2示意性地示出了根据本公开的实施方式的安装有提示装置的晶圆载具以及由提示装置的显示屏显示的信息；图3示意性地示出了设备模块的载口，其中，晶圆载具正通过载口上载到设备模块。
具体实施方式
21.下面参照附图、借助于示例性实施方式对本公开进行详细描述。要注意的是，对本公开的以下详细描述仅仅是出于说明目的，而绝不是对本公开的限制。
22.现有的晶圆载具识别管理方式通过在晶圆载具的卡片盒上贴附条形码或在卡片盒上安装射频识别装置来进行。在这种情况下，操作者无法仅通过条形码或射频识别装置来直接获取晶圆载具中的晶圆信息，而是必须通过mes系统查询后才能对晶圆载具中的晶圆信息进行识别，导致识别过程比较麻烦且缺乏时效性。此外，在寻找目标载具时，需要提前在mes系统记好对应载具的编号，然后才能在产线进行寻找，而且仅通过编号来快速地找到目标载具也是比较困难的，需要花费一定的时间和人力，导致寻找过程不够便捷，造成了时间和人力的浪费。这些问题在放置在产线上的载具的数目较大时尤为严重。
23.为解决上述问题，根据本公开的实施方式，参照图1，提供了一种晶圆载具管理系统1，其包括：晶圆载具10，其用于装载晶圆；设备模块20，其用于向上载到设备模块20的晶圆载具10转移晶圆和/或从该晶圆载具10转移晶圆，并且设备模块20包括用于传送信息的低频信号传输装置；提示模块30，其安装在晶圆载具10上并包括显示屏31，提示模块30用于接收由设备模块20的低频信号传输装置传送的信息并通过显示屏31显示这些信息；以及mes系统40，其用于在其中为晶圆载具10命名，并与设备模块20通信以用于通过向设备模块20下发指令来使设备模块20执行下述操作：向上载到设备模块20的晶圆载具10转移晶圆和/或从晶圆载具10转移晶圆并通过低频信号传输装置向提示模块30传送与装载在晶圆载具10中的晶圆有关的信息。
24.需要说明的是，如图1中所示，由于提示模块30被安装在晶圆载具10上，因此二者可以被作为整体看待。
25.晶圆载具10可以是在产线上使用的前开式晶圆传送盒（foup）或者在出货时使用的前开式晶圆出货盒（fosb）。
26.通常，晶圆载具10的流转使用依次包括载具导入、载具命名、载具清洗和载具使用。根据本公开的实施方式，对于新导入的载具，会在mes系统中为晶圆载具10命名，以方便之后流转过程中的区分识别。已命名的晶圆载具10在经过清洗后便可以投入到使用中。
27.在载具的使用过程中，例如，在晶圆清洗工艺的站点中，晶圆载具10可以被上载到设备模块20即在此的清洗机中。mes系统与该设备模块20通信以通过向设备模块20下发指令来使设备模块20，例如通过机械手臂，向上载到设备模块20的晶圆载具10转移晶圆，也就是说，通过机械手臂将晶圆装载到晶圆载具10中。
28.与此同时，mes系统40还会向设备模块20下发指令来使设备模块20向晶圆载具10传送与装载在晶圆载具10中的晶圆有关的信息。
29.在根据本公开的实施方式中，如图2中所示，在晶圆载具10上设置有提示模块30并且该提示模块30具有显示屏31。提示模块30可以接收由设备模块20的低频信号传输装置传送的信息并将其显示在显示屏31上。在这种情况下，通过低频信号传输装置传送的与装载在晶圆载具10中的晶圆有关的信息会被安装在晶圆载具10上的提示模块30接收，并显示在提示模块30的显示屏31上。也就是说，如图1中晶圆载具10至提示模块30的箭头所示，装载
在晶圆载具10中的晶圆的相关信息能够通过提示模块30借助于显示屏31显示出来。
30.作为另一示例，在分选过程中，晶圆载具10可以被上载到设备模块20即在此的分选机中。此时，mes系统40通过向设备模块20下发指令来使设备模块20例如通过机械手臂从上载到设备模块20的晶圆载具10转移晶圆，或额外地再向晶圆载具10转移晶圆，也就是说，通过机械手臂将晶圆从晶圆载具10中转移出或额外地再向晶圆载具10转移晶圆。
31.同样地，与此同时，mes系统40还会向设备模块20下发指令来使设备模块20通过低频信号传输装置向晶圆载具10的提示模块30传送与装载在晶圆载具10中的晶圆有关的信息，该信息由提示模块30接收并显示在提示模块30的显示屏31上。
32.通过这种方式，操作者可以借助显示屏31上显示的信息直观地获取目前装载在晶圆载具10中的晶圆的信息，而不必再通过mes系统搜索查找，由此降低甚至避免了查找出错的风险并且节省了识别过程的时间并因此节省了产线生产的时间。
33.此外，当晶圆载具10中的晶圆及其信息例如在分选的时候发生变化时，提示模块会接收来自mes系统的与当前装载在晶圆载具10中的晶圆有关的信息并将其显示在显示屏31上，由此实现了显示信息的实时更新，从而使操作者不用在mes系统查找更新后的信息，而是能够从显示屏31上始终直观地获取更新后的信息，确保了信息的实时性和有效性。
34.在本公开的实施方式中，设备模块20可以是清洗机或分选机。可以理解的是设备模块20还可以是产线上的能够相对于晶圆载具转移晶圆的其他机器。
35.在本公开的实施方式中，如图3中所示，设备模块20包括用于晶圆载具10的上载及下载的载口21，并且低频信号传输装置可以设置在该载口21处。
36.可以设想的是，低频信号传输装置可以设置在设备模块20的用于晶圆载具10的传递路径上的任何合适的位置处。
37.在本公开的实施方式中，与装载在晶圆载具10中的晶圆有关的信息可以是在晶圆载具管理中所需的任何信息，这些信息可以包括晶圆载具id（carrier id）、批次id（lot id）、产品物料号（ms#）、产品使用的加工流程（flow）、晶圆数量（qty.）、以及装载在晶圆载具10中的每一片晶圆的晶圆id（wafer id）和其在晶圆载具10中的位置（slot no.）。
38.根据本公开的实施方式，提示模块30还可以包括发声装置，该发声装置能够根据mes系统向安装在晶圆载具10上的提示模块30下发的指令发声。
39.替代性地或额外地，提示模块30还可以包括发光装置，该发光装置能够根据mes系统向安装在晶圆载具10上的提示模块30下发的指令发光。
40.通过上述设置，当在产线上寻找目标载具时，仅需要通过mes系统向目标载具的提示模块30下发指令，就可以使提示模块30的发声装置发声和/或发光装置发光，特别是在产线上的载具的数目较大时，声音和光亮能够引导操作者从大量的载具中迅速找到目标载具，由此节省了寻找时间并节省了人力。
41.可以设想的是，发光装置可以是颜色能够根据mes系统40来选定的背光灯。
42.当需要找寻例如不同批次或某些不同类别的晶圆载具时，可以通过mes系统使不同批次或类别的载具发出不同颜色的光来分批找寻对应的载具，由此进一步节省了寻找时间并提高了寻找的效率。
43.可以设想的是，提示模块30可以构造成能够被安装在晶圆载具10的卡片盒处。
44.通常，晶圆载具的卡片盒会用于安置条形码或射频识别装置。在本公开的实施方
式中，通过将提示模块30构造成能够被安装在卡片盒处，可以很好地利用现有的晶圆载具的结构，不必为了安装提示模块30而对晶圆载具进行重新构造。由此，使提示模块30的安装更加便捷并因此节省了成本。
45.以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。