晶圆载具管理系统及方法与流程

技术特征：
1.一种晶圆载具管理系统，其特征在于，包括：晶圆载具，其用于装载晶圆；设备模块，其用于向上载到所述设备模块的所述晶圆载具转移晶圆和/或从所述晶圆载具转移晶圆，并且所述设备模块包括用于传送信息的低频信号传输装置；提示模块，其安装在所述晶圆载具上并包括显示屏，所述提示模块用于接收由所述设备模块的所述低频信号传输装置传送的信息并通过所述显示屏显示所述信息；以及mes系统，其用于在其中为所述晶圆载具命名，并与所述设备模块通信以用于通过向所述设备模块下发指令来使所述设备模块执行下述操作：向上载到所述设备模块的所述晶圆载具转移晶圆和/或从所述晶圆载具转移晶圆并通过所述低频信号传输装置向所述提示模块传送与装载在所述晶圆载具中的晶圆有关的信息。2.根据权利要求1所述的晶圆载具管理系统，其特征在于，所述设备模块为清洗机或分选机。3.根据权利要求1或2所述的晶圆载具管理系统，其特征在于，所述设备模块包括用于所述晶圆载具的上载及下载的载口，并且所述低频信号传输装置设置在所述载口处。4.根据权利要求1或2所述的晶圆载具管理系统，其特征在于，所述与装载在所述晶圆载具中的晶圆有关的信息包括晶圆载具id、批次id、产品物料号、产品使用的加工流程、晶圆数量、以及装载在所述晶圆载具中的每一片晶圆的晶圆id和其在所述晶圆载具中的位置。5.根据权利要求1或2所述的晶圆载具管理系统，其特征在于，所述提示模块包括发声装置，所述发声装置能够根据所述mes系统向安装在所述晶圆载具上的所述提示模块下发的指令发声。6.根据权利要求1或2所述的晶圆载具管理系统，其特征在于，所述提示模块包括发光装置，所述发光装置能够根据所述mes系统向安装在所述晶圆载具上的所述提示模块下发的指令发光。7.根据权利要求6所述的晶圆载具管理系统，其特征在于，所述发光装置为颜色能够根据所述mes系统来选定的背光灯。8.根据权利要求1或2所述的晶圆载具管理系统，其特征在于，所述提示模块构造成能够被安装在所述晶圆载具的卡片盒处。9.根据权利要求1或2所述的晶圆载具管理系统，其特征在于，所述晶圆载具为前开式晶圆传送盒或前开式晶圆出货盒。10.一种晶圆载具管理方法，其利用根据权利要求1至9中的任一项所述的晶圆载具管理系统来进行，包括：在所述mes系统中为所述晶圆载具命名；将所述晶圆载具上载到所述设备模块；以及通过所述mes系统向所述设备模块下发指令，以使所述设备模块向所述晶圆载具转移晶圆和/或从所述晶圆载具转移晶圆并通过所述低频信号传输装置向所述提示模块传送与装载在所述晶圆载具中的晶圆有关的信息，从而使所述提示模块的所述显示屏显示所述信息。

技术总结
本公开涉及晶圆载具管理系统及方法，该系统包括：晶圆载具，用于装载晶圆；设备模块，用于向上载到其的晶圆载具转移晶圆和/或从晶圆载具转移晶圆并且包括用于传送信息的低频信号传输装置；提示模块，安装在晶圆载具上并包括显示屏，用于接收由低频信号传输装置传送的信息并通过显示屏显示信息；以及MES系统，用于在其中为晶圆载具命名，并与设备模块通信以用于通过向其下发指令来使其执行下述操作：向上载到设备模块的晶圆载具转移晶圆和/或从晶圆载具转移晶圆并通过低频信号传输装置向提示模块传送与装载在晶圆载具中的晶圆有关的信息。通过晶圆载具管理系统，操作者能够直观地识别信息，提高了识别的便捷性。提高了识别的便捷性。提高了识别的便捷性。


技术研发人员：郭盾
受保护的技术使用者：西安奕斯伟硅片技术有限公司
技术研发日：2022.10.14
技术公布日：2022/11/11