滑动部件的制作方法

1.本发明涉及一种在滑动面相对滑动的一对滑动部件，例如机械密封件、滑动轴承、其他适合于滑动部的滑动部件。特别是，涉及一种需要使流体夹存于滑动面来减小摩擦并且防止流体从滑动面泄漏的密封环或者轴承等滑动部件。


背景技术：

2.作为防止被密封流体泄漏的密封装置，已知由在滑动面相对滑动的一对滑动部件构成的密封装置(例如，机械密封件)。在这样的密封装置中，需要在滑动面间形成由被密封流体形成的流体润滑膜来减小滑动转矩并维持高密封性。并且，作为用于实现高密封性和低滑动转矩的一个方法，已知将多个凹穴(dimple)排列于滑动面的技术。
3.例如，已知：将在滑动面具有圆形的开口部的凹穴配置为排列于以该滑动部件的旋转中心为中心的虚拟圆周上，能实现高密封性和低滑动转矩。(例如，参照专利文献1)。
4.此外，已知：将具有端部为半圆状且呈细长矩形状的开口部的凹穴以规定的凹穴角度θ进行配置，将穿过凹穴中心的圆上的凹穴的圆周方向长度l1与该圆上的相邻的凹穴间的台面部的圆周方向长度l2的比l1/l2设为0.001≤l1/l2≤0.1，由此将凹穴整体的密封性和滑动转矩调整为最佳(例如，参照专利文献2)。
5.现有技术文献
6.专利文献
7.专利文献1：日本特开2010－133496号公报
8.专利文献2：日本专利5456772号公报


技术实现要素：

9.发明所要解决的问题
10.在专利文献1的技术中，即使能在特定的运转条件下实现高密封性和低滑动转矩，也无法在宽的转速区域内实现高密封性和低滑动转矩。
11.此外，在专利文献2的技术中也同样，由于凹穴角度被固定，因此即使能在特定的运转条件下减少被密封流体的泄漏并减小滑动转矩，也无法在宽的转速区域内实现高密封性和低滑动转矩。特别是，在反转使用的情况下，存在密封性下降和滑动转矩增加的趋势。
12.本发明的目的在于提供一种滑动部件，在滑动面相对滑动的一对滑动部件中，即使在宽的转速范围内使用并且无论旋转方向如何都能实现高密封性和低滑动转矩。
13.用于解决问题的方案
14.为了解决上述问题，本发明的滑动部件是在滑动面彼此相对滑动的一对滑动部件，其特征在于，
15.至少一方的滑动面具备配置多个凹穴而成的凹穴组，所述凹穴的开口部的形状具有正交的长轴和短轴，
16.所述凹穴组包括：顺时针方向凹穴组，从所述滑动面的内径侧朝向外径侧沿着顺
时针方向配设所述凹穴；以及逆时针方向凹穴组，从所述滑动面的内径侧朝向外径侧沿着逆时针方向配设所述凹穴。
17.根据该特征，具备从所述滑动面的内径侧朝向外径侧的顺时针方向凹穴组和从所述滑动面的内径侧朝向外径侧的逆时针方向凹穴组，因此无论旋转方向如何都能发挥高密封性和低滑动转矩。
18.本发明的滑动部件的特征在于，
19.所述顺时针方向凹穴组具备使所述凹穴的所述长轴整齐排列而成的第一凹穴组，所述逆时针方向凹穴组具备使所述凹穴的所述长轴整齐排列而成的第二凹穴组。
20.根据该特征，顺时针方向凹穴组的第一凹穴组、逆时针方向凹穴组的第二凹穴组分别使凹穴的长轴整齐排列，因此能容易地调整凹穴的吸入效果、动压效果的强度，进而，作为凹穴组整体，能在宽的转速范围内发挥高密封性和低滑动转矩。
21.本发明的滑动部件的特征在于，
22.所述顺时针方向凹穴组还具备使构成所述第二凹穴组的所述凹穴的所述短轴整齐排列而成的第三凹穴组，并且所述逆时针方向凹穴组还具备使构成所述第一凹穴组的所述凹穴的所述短轴整齐排列而成的第四凹穴组。
23.根据该特征，顺时针方向凹穴组还具备使短轴整齐排列而成的第三凹穴组，并且逆时针方向凹穴组还具备使短轴整齐排列而成的第四凹穴组，因此能对具有不同的特性的第一凹穴组至第四凹穴组进行组合来容易地调整吸入效果、动压效果的强度，进而，作为凹穴组整体，能在宽的转速范围内发挥高密封性和低滑动转矩。
24.本发明的滑动部件的特征在于，
25.构成所述第一凹穴组的所述凹穴与构成所述第二凹穴组的所述凹穴在深度上不同。
26.根据该特征，构成第一凹穴组的所述凹穴与构成第二凹穴组的所述凹穴在深度上不同，因此能容易地改变第一凹穴组至第四凹穴组的吸入效果、动压效果的强度，因此，作为凹穴组整体，能在宽的转速范围内发挥高密封性和低滑动转矩。
27.本发明的滑动部件的特征在于
28.所述第一凹穴组朝向滑动面的径向外侧形成凸的曲线，所述第二凹穴组朝向滑动面的径向外侧形成凸的曲线。
29.根据该特征，凹穴分别沿着曲线配置，因此能渐渐地改变凹穴的角度，作为凹穴组整体，能在宽的转速范围内发挥高密封性和低滑动转矩。
30.本发明的滑动部件的特征在于，
31.所述凹穴的开口部的形状为椭圆。
32.根据该特征，即使具有椭圆的开口部的凹穴为相同的形状、大小的椭圆，也能通过改变凹穴的长轴的倾斜来增强吸入效果或者增强动压效果，因此能通过配置改变了凹穴的长轴的倾斜的凹穴，在宽的转速范围内实现高密封性和低滑动转矩。
附图说明
33.图1是表示将本发明的滑动部件应用于机械密封件的一个例子的纵剖视图。
34.图2是图1的w－w向视图，是表示本发明的实施例1的滑动部件的滑动面的一个例
子的图。
35.图3是图1的w－w向视图，是表示本发明的实施例2的滑动部件的滑动面的一个例子的图。
36.图4是图1的w－w向视图，是表示本发明的实施例3的滑动部件的滑动面的一个例子的图。
37.图5是图1的w－w向视图，是表示本发明的实施例4的滑动部件的滑动面的一个例子的图。
38.图6是表示本发明的凹穴的其他实施例的图。
具体实施方式
39.以下，参照附图，基于实施例示例性地说明用于实施本发明的方式。其中，只要没有特别明确的记载，本实施例中所记载的构成部件的尺寸、材质、形状、该构成部件的相对配置等不意味着将本发明的范围仅限于此。
40.实施例1
41.参照图1和图2，对本发明的实施例1的滑动部件进行说明。在以下的实施例中，以作为滑动部件的一个例子的机械密封件为例进行说明，但不限于此，例如，也可以用作一边将润滑油密封于圆筒状滑动面的轴向一侧一边与旋转轴滑动的轴承的滑动部件。需要说明的是，将构成机械密封件的滑动部件的外周侧设为被密封流体侧(高压流体侧)，将内周侧设为泄漏侧(低压流体侧，例如大气侧)来进行说明。
42.图1是表示机械密封件1的一个例子的纵剖视图，是对欲从滑动面s的外周朝向内周方向泄漏的被密封流体进行密封的形式的内装(inside)形式的机械密封件，由旋转侧筒(cartridge)和固定侧筒构成。旋转侧筒具备：套筒2，嵌合于旋转轴10；圆环状的旋转侧密封环3，其为一方的滑动部件；以及填料(packing)8，对套筒2与旋转侧密封环3之间进行密封，旋转侧筒与旋转轴10一起旋转。
43.固定侧筒具备：壳体(housing)4，装配于箱体(casing)9；圆环状的固定侧密封环5，其为另一方的滑动部件；波纹管(bellows)7，对固定侧密封环5和壳体4进行密封；以及螺旋波纹弹簧6，经由波纹管7对固定侧密封环5向旋转侧密封环3侧施力，壳体4相对于箱体9在旋转方向和轴向上固定。
44.在具备以上的构成的机械密封件1中，旋转侧密封环3的滑动面s和固定侧密封环5的滑动面s彼此滑动来防止被密封流体从外周侧向内周侧流出。需要说明的是，图1中示出了旋转侧密封环3的滑动面的宽度比固定侧密封环5的滑动面的宽度宽的情况，但不限于此，当然在相反的情况下也能应用本发明。
45.旋转侧密封环3和固定侧密封环5的材质从在耐磨性上优异的碳化硅(sic)和在自润滑性上优异的碳等中选定，例如可以是两者为sic或者旋转侧密封环3为sic而固定侧密封环5为碳的组合。
46.如图2所示，在固定侧密封环5的滑动面s具备顺时针方向凹穴组51、53、逆时针方向凹穴组52、54。凹穴11、12具有实质上相同的大小和相同的深度。凹穴组51、54由多个凹穴11构成，凹穴组52、53由多个凹穴12构成。凹穴组51、52、53、54分别由相同的数量的凹穴构成。
47.在本发明中，凹穴11、12是指具有被平坦的滑动面s包围的开口部和从滑动面s凹陷的底部的凹陷部，凹穴的开口部11a、12a由具有正交的长轴l和短轴k的形状构成。此外，凹穴11、12彼此隔着台面(land)部r分离地配置。在本发明中，长轴是穿过开口部的形状的图心并且将开口部的最大宽度部分连接的虚拟的线。此外，短轴是穿过图心并且以与长轴正交的方式连接开口部的虚拟的线。关于本实施例中的凹穴11、12的开口部，以具有正交的长轴l和短轴k的椭圆为例进行说明。然而，不限于椭圆，只要是具有正交的长轴l和短轴k的形状，也可以是卵形(oval shape)、菱形、多边形或者如图6所示由任意的封闭曲线91、92、93、94构成的形状。
48.如图2所示，在凹穴组51中，将凹穴11的长轴l以沿着虚拟的螺旋sp1与之相切的方式配置，该凹穴11以从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成顺时针方向的螺旋sp1的方式等间隔地配设有规定数量(在图2的例子中为7个)。在凹穴组53中，将凹穴12的短轴k以沿着虚拟的螺旋sp3与之相切的方式配置，该凹穴12以从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成顺时针方向的螺旋sp3的方式等间隔地配设有与凹穴11相同的数量。并且，凹穴组51和凹穴组53以在周向上交替的方式等间隔地并且交错排列于滑动面s上。在此，交错排列是指当以在周向上相邻的方式配置凹穴组51和凹穴组53时，以整齐排列配置有短轴k的凹穴12的长轴l位于整齐排列配置有长轴l的凹穴11与凹穴11之间的方式进行排列。此外，在凹穴组52中，将凹穴12的长轴l以沿着虚拟的螺旋sp2与之相切的方式配置，该凹穴12配设为从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成逆时针方向的螺旋sp2。在凹穴组54中，将凹穴11的短轴k以沿着虚拟的螺旋sp4与之相切的方式配置，该凹穴11以从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成逆时针方向的螺旋sp4的方式配置。凹穴11的长轴l形成为与虚拟的螺旋sp1相切，凹穴11的短轴k形成为与虚拟的螺旋sp4相切，凹穴12的长轴l形成为与虚拟的螺旋sp2相切，凹穴12的短轴k形成为与虚拟的螺旋sp3相切。并且，在滑动面s中，顺时针方向的凹穴组51和凹穴组53在周向上交替配置，此外，逆时针方向的凹穴组52和凹穴组54在周向上交替配置。
49.构成顺时针方向凹穴组51的凹穴11的个数与构成逆时针方向凹穴组54的凹穴11的个数相同，且相对于穿过凹穴组51与凹穴组54的中间的径向轴对称。此外，构成逆时针方向凹穴组52的凹穴12的个数与构成顺时针方向凹穴组53的凹穴12的个数相同，且相对于穿过凹穴组52与凹穴组53的中间的径向轴对称。
50.对各凹穴11、12的作用进行说明。当旋转侧密封环3向顺时针方向旋转时，滑动面s间的流体和凹穴11、12内的流体因其粘性而追随着旋转侧密封环3的移动方向移动。对于向凹穴11、12内流入的流体而言，其流路急剧扩大，因此在凹穴11、12的上游侧形成负压，产生气穴。不过，气穴内的负压的大小被流体的蒸汽压的值限制，因此不会成为较大的负压。此外，在凹穴11、12的下游侧，流路急剧缩小，由此，通过楔效应而产生正压(动压效果)。通过在凹穴11、12的上游侧产生的负压，凹穴11、12发挥将周围的流体吸入的吸入效果。另一方面，在凹穴11、12的下游侧产生的正压的大小大于气穴内的负压的大小，因此作为凹穴11、12整体，形成为正压。通过由配置于滑动面s的多个凹穴11、12产生的正压，滑动面s之间被推开，流体流入滑动面s而得到润滑功能。
51.接着，对凹穴组51、52、53、54的作用进行说明。当旋转侧密封环3向顺时针方向旋转时，顺时针方向凹穴组51、53的泄漏侧周缘5a的附近的凹穴11、12发挥从泄漏侧吸入流体的泵送功能。此外，在相邻的凹穴11、12之间，吸入和排出连续反复进行，流体渐渐地从泄漏
侧向被密封流体侧移动，因此能极大地减少泄漏。而且，通过凹穴11、12的动压效果来向滑动面s供给高压的流体，因此对于滑动面s而言，流体润滑状态被保持，能减小滑动转矩。
52.此外，顺时针方向凹穴组51配置为将凹穴11的长轴l彼此相连来形成螺旋sp1，与此相对，顺时针方向凹穴组53在配置为将凹穴12的短轴k彼此相连来形成螺旋sp3这一点上不同。由此，即使是相同的顺时针方向凹穴组51、53，其泵送效果、流体润滑效果也不同。具体而言，使凹穴11的长轴l整齐排列而形成螺旋sp1的顺时针方向凹穴组51的动压产生效果高，因此即使在低转速时也会发挥流体润滑功能。另一方面，使凹穴12的短轴k整齐排列而形成螺旋sp3的顺时针方向凹穴组53的吸入效果高，因此即使在低转速时也会发挥泵送功能。由此，即使在宽的转速范围内运转，顺时针方向凹穴组51、53也相互补充其功能，能发挥较高的流体润滑功能和密封功能。
53.相反，当旋转侧密封环3向逆时针方向旋转时，逆时针方向凹穴组52、54泄漏侧周缘5a的附近的凹穴11、12发挥从泄漏侧吸入流体的泵送功能。此外，在相邻的凹穴11、12之间，吸入和排出连续反复进行，流体渐渐地从泄漏侧向被密封流体侧移动，因此能极大地减少泄漏。而且，通过凹穴11、12的动压效果来向滑动面s供给高压的流体，因此对于滑动面s而言，流体润滑状态被保持，能减小滑动转矩。
54.此外，逆时针方向凹穴组52配置为将凹穴12的长轴l彼此相连来形成螺旋sp2，与此相对，逆时针方向凹穴组54在配置为将凹穴11的短轴k彼此相连来形成螺旋sp4这一点上不同。由此，即使是相同的逆时针方向凹穴组52、54，其泵送效果、流体润滑效果也不同。具体而言，使凹穴12的长轴l整齐排列而形成螺旋sp2的逆时针方向凹穴组52的动压产生效果高，因此即使在低转速时也会发挥流体润滑功能。另一方面，使凹穴11的短轴k整齐排列而形成螺旋sp4的逆时针方向凹穴组54的吸入效果高，因此即使在低转速时也会发挥泵送功能。由此，即使在宽的转速范围内运转，逆时针方向凹穴组52、54也相互补充着其功能，能发挥较高的流体润滑功能和密封功能。
55.如此，将顺时针方向凹穴组51与逆时针方向凹穴组54以及逆时针方向凹穴组52与顺时针方向凹穴组53设为相对于径向对称，由此，具备顺时针方向凹穴组和逆时针方向凹穴组，因此无论旋转方向如何都能发挥高密封性和低滑动转矩。
56.以上，通过附图，对本发明的实施例进行了说明，但具体构成不限于这些实施例，即使存在不脱离本发明的主旨的范围内的变更、追加，也包括在本发明内。
57.在上述实施例中，凹穴11、12的形状、大小实质相同，但不限于此。例如，也可以通过深度不同凹穴11和凹穴12来构成顺时针方向凹穴组51、52和逆时针方向凹穴组53、54。通过改变凹穴的深度，能改变将流体保持于凹穴内的流体保持效果、吸入效果、动压效果，因此通过配置具有不同的深度的凹穴，即使在更宽的转速时，也能发挥高密封性和低滑动转矩。
58.此外，凹穴组51、52、53、54以形成螺旋的方式配设有凹穴11、12，但也可以不采用螺旋而采用从滑动面s的内径侧朝向外径侧沿着顺时针方向或逆时针方向延伸设置的向径向外侧凸的曲线例如圆弧、抛物线、正弦波、次摆线等、或者直线。此外，也可以将曲线与直线组合。
59.实施例2
60.对本发明的实施例2的滑动部件进行说明。图3示出了实施例2的滑动部件的滑动
面s，在构成顺时针方向凹穴组55、56的凹穴15、16的个数与构成逆时针方向凹穴组57、58的凹穴15、16的个数不同这一点上与实施例1不同。其他构成与实施例1相同。以下，对于与实施例1相同的构件、构成，标注相同的附图标记，省略重复的说明。
61.如图3所示，在固定侧密封环5的滑动面s设有从滑动面s的内径侧朝向外径侧沿着顺时针方向配设有多个凹穴15、16的顺时针方向凹穴组55、56，且设有从滑动面s的内径侧朝向外径侧沿着逆时针方向配设有多个凹穴15、16的逆时针方向凹穴组57、58。
62.如图3所示，在顺时针方向凹穴组55中，将凹穴15的长轴l以具有规定的角度的方式沿着虚拟的螺旋sp5配置，该凹穴15以从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成顺时针方向的螺旋sp5的方式等间隔地配设有规定数量(在图3的例子中为13个)。在顺时针方向凹穴组56中，将凹穴16的短轴k以具有规定的角度的方式沿着虚拟的螺旋sp5配置，该凹穴16配设为从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成顺时针方向的螺旋sp6。在逆时针方向凹穴组57中，将凹穴17的短轴k以具有规定的角度的方式沿着虚拟的螺旋sp7配置，该凹穴17以从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成逆时针方向的螺旋sp7的方式配设有规定数量(在图3的例子中为4个)。在逆时针方向凹穴组58中，将凹穴16的长轴l以具有规定的角度的方式沿着虚拟的螺旋sp8配置，该凹穴16配设为从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成逆时针方向的螺旋sp8。并且，在滑动面s中，顺时针方向的凹穴组55和凹穴组56在周向上交替配置，此外，逆时针方向的凹穴组57和凹穴组58在周向上交替配置。
63.当旋转侧密封环3向顺时针方向旋转时，顺时针方向凹穴组55、56发挥密封功能和流体润滑功能，能减少泄漏，减小滑动转矩。相反，当旋转侧密封环3向逆时针方向旋转，逆时针方向凹穴组57、58发挥密封功能和流体润滑功能，能减少泄漏，减小滑动转矩。
64.构成顺时针方向凹穴组55、56的凹穴15、16的个数比构成逆时针方向凹穴组57、58的凹穴15、16的个数多，因此能提高顺时针方向旋转时的密封功能和流体润滑功能。此外，螺旋sp5及螺旋sp6与泄漏侧周缘5a形成的角度θ1比螺旋sp7及螺旋sp8与泄漏侧周缘5a形成的角度θ2小，因此在顺时针方向旋转时，顺时针方向凹穴组55、56能从低转速起发挥泵送效果。特别是，在顺时针旋转下的运转转速范围达到低速旋转的情况下有效。
65.在实施例1的滑动部件中，构成顺时针方向凹穴组51、53的凹穴11、12的个数与构成逆时针方向凹穴组52、54的凹穴11、12的个数为相同的数量，因此在顺时针方向旋转时和逆时针方向旋转下，发挥相同的密封功能和流体润滑功能。另一方面，在实施例2的滑动部件中，构成顺时针方向凹穴组55、56的凹穴15、16的个数比构成逆时针方向凹穴组57、58的凹穴15、16的个数多，因此与逆时针方向相比，能提高顺时针方向旋转时的密封功能和流体润滑功能。此外，螺旋sp5及螺旋sp6与泄漏侧周缘5a形成的角度θ1比螺旋sp7及螺旋sp8与泄漏侧周缘5a形成的角度θ2小，因此与逆时针方向凹穴组57、58相比，顺时针方向凹穴组55、56能从低转速起发挥泵送效果。
66.实施例3
67.对本发明的实施例3的滑动件进行说明。图4示出实施例3的滑动部件的滑动面s。在实施例1中，将顺时针方向凹穴组51和顺时针方向凹穴组53以相同的数量在周向上进行了交替配置，但在实施例3中，在将顺时针方向凹穴组61的个数和顺时针方向凹穴组62个数配置为不同这一点上与实施例1不同。其他构成与实施例1相同。以下，对于与实施例1相同的构件、构成，标注相同的附图标记，省略重复的说明。
68.如图4所示，在固定侧密封环5的滑动面s设有从滑动面s的内径侧朝向外径侧沿着顺时针方向配设有多个凹穴19、20的顺时针方向凹穴组61、62，并设有从滑动面s的内径侧朝向外径侧沿着逆时针方向配设有多个凹穴19、20的逆时针方向凹穴组59、60。
69.如图4所示，在顺时针方向凹穴组61中，将凹穴19的长轴l以沿着虚拟的螺旋sp9与之相切的方式配置，该凹穴19以从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成顺时针方向的螺旋sp9的方式等间隔地配设有规定数量(在图4的例子中为6个)。在顺时针方向凹穴组62中，将凹穴20的短轴k以沿着虚拟的螺旋sp10与之相切的方式配置，该凹穴20配设为从滑动面s的内径侧朝向外径侧成为顺时针方向的螺旋sp10。在逆时针方向凹穴组59中，将凹穴20的长轴l以沿着虚拟的螺旋sp12与之相切的方式配置，该逆时针方向凹穴组59以从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成逆时针方向的螺旋sp12的方式配设有规定数量(在图3的例子中为4个)。在逆时针方向凹穴组60中，将凹穴19的短轴k以沿着虚拟的螺旋sp11与之相切的方式配置，该凹穴19配设为从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成顺时针方向的螺旋sp11。并且，在滑动面s中，连续三个凹穴组61、一个凹穴组62、一个凹穴组61、一个凹穴组62依次在周向上配置。
70.当旋转侧密封环3向顺时针方向旋转时，顺时针方向凹穴组61、62发挥密封功能和流体润滑功能，能减少泄漏，减小滑动转矩。相反，当旋转侧密封环3向逆时针方向旋转时，沿着逆时针方向延伸设置的凹穴组59、60发挥密封功能和流体润滑功能，能减少泄漏，减小滑动转矩。然而，顺时针方向凹穴组61的个数多，因此与逆时针方向旋转时相比，能提高顺时针方向旋转时的密封功能和流体润滑功能。
71.实施例1的滑动部件将顺时针方向凹穴组51和顺时针方向凹穴组53以相同的数量在周向上进行了交替配置，与此相对，实施例3的滑动部件将顺时针方向凹穴组61配置得多，因此在顺时针方向旋转的频率高的情况下有效。
72.实施例4
73.对本发明的实施例4的滑动件进行说明。图5示出了实施例4的滑动部件的滑动面s，并在相邻配置的顺时针方向凹穴组63、64、65由不同的凹穴24、25、26构成这一点上不同。以下，对于与实施例1相同的构件、构成，标注相同的附图标记，省略重复的说明。
74.如图5所示，在固定侧密封环5的滑动面s设有从滑动面s的内径侧朝向外径侧沿着顺时针方向配设有多个凹穴24、25、26的顺时针方向凹穴组63、64、65，并设有从滑动面s的内径侧朝向外径侧沿着逆时针方向配设有多个凹穴24的逆时针方向凹穴组66。对于凹穴24、25、26而言，其大小、深度、凹穴的角度中的至少一项不同，各凹穴的特性不同。凹穴的角度是指穿过长轴l与短轴k的交点的半径方向轴与长轴l形成的角度。
75.如图5所示，在顺时针方向凹穴组63中，将凹穴24的长轴l以具有规定的角度的方式沿着虚拟的螺旋sp13配置，该凹穴24以从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成顺时针方向的螺旋sp13的方式等间隔地配设有规定数量(在图5的例子中为6个)。在顺时针方向凹穴组64中，将凹穴25的短轴k以具有规定的角度的方式沿着螺旋sp14配置，该凹穴25配设为从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成顺时针方向的螺旋sp14。在顺时针方向凹穴组65中，将凹穴26的短轴k以具有规定的角度的方式沿着虚拟的螺旋sp15配置，该凹穴26配设为从滑动面s的内径侧朝向外径侧形成顺时针方向的螺旋sp15。在逆时针方向凹穴组66中，将凹穴27的短轴以具有规定的角度的方式沿着虚拟的螺旋sp16配置，该凹穴27配设为从滑动面s的内
径侧朝向外径侧形成逆时针方向的螺旋sp16。并且，顺时针方向凹穴组65、63、64依次在周向上配置。在此，对于构成顺时针方向凹穴组63的凹穴24、构成顺时针方向凹穴组64的凹穴25、构成顺时针方向凹穴组65的凹穴26而言，凹穴24、25、26的形状分别相同，但凹穴相对于长轴l或者短轴l的配置角度不同。由此，能将顺时针方向凹穴组63、64、65的密封性能的效率、润滑性能的效率配置为分别在不同的转速时达到最高。即，顺时针方向凹穴组63、64、65在不同的转速时发挥较高的密封功能和流体润滑功能，因此对于机械密封件1而言，即使在宽的转速范围内使用，也能发挥较高的密封功能和流体润滑功能。
76.以上，通过附图，对本发明的实施例进行了说明，但具体构成不限于这些实施例，即使存在不脱离本发明的主旨的范围内的变更、追加，也包括在本发明内。
77.在上述实施例中，将外周侧设为了被密封流体侧，将内周侧设为了泄漏侧，但不限于此，在内周侧为被密封流体侧且外周侧为泄漏侧的情况下也能应用。此外，凹穴组形成为将凹穴的长轴或者短轴沿着螺旋配置，但不限于此。例如，也可以将凹穴沿着抛物线、次摆线、正弦曲线等曲线配置来构成凹穴组。
78.附图标记说明
79.1：机械密封件；
80.2：套筒；
81.3：旋转侧密封环；
82.4：壳体；
83.5：固定侧密封环；
84.5a：侧周缘；
85.6：螺旋波纹弹簧；
86.7：波纹管；
87.8：填料；
88.9：箱体；
89.10：旋转轴；
90.11：凹穴；
91.11a：开口部；
92.12：凹穴；
93.12a：开口部；
94.15：凹穴；
95.16：凹穴；
96.21：凹穴；
97.22：凹穴；
98.24：凹穴；
99.25：凹穴；
100.26：凹穴；
101.51：顺时针方向凹穴组(第一凹穴组)；
102.52：逆时针方向凹穴组(第二凹穴组)；
103.53：顺时针方向凹穴组(第三凹穴组)；
104.54：逆时针方向凹穴组(第四凹穴组)；
105.55：顺时针方向凹穴组；
106.56：顺时针方向凹穴组；
107.57：逆时针方向凹穴组；
108.58：逆时针方向凹穴组；
109.59：逆时针方向凹穴组；
110.60：逆时针方向凹穴组；
111.61：顺时针方向凹穴组；
112.62：顺时针方向凹穴组；
113.63：顺时针方向凹穴组；
114.64：顺时针方向凹穴组；
115.65：顺时针方向凹穴组；
116.66：逆时针方向凹穴组；
117.91：封闭曲线；
118.92：封闭曲线；
119.93：封闭曲线；
120.94：封闭曲线；
121.k：短轴；
122.l：长轴；
123.r：台面部；
124.s：滑动面；
125.s：凹穴滑动面；
126.θ：凹穴角度；
127.θ1：角度；
128.θ2：角度。