瞬态电压抑制器用测试仪的制作方法

1.本实用新型涉及半导体器件测试技术领域，尤其涉及一种瞬态电压抑制器用测试仪。


背景技术：

2.数字式四探针测试仪专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的专用仪器，由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果，四探针测试仪是在半导体单晶生产过程中用来测试单晶断面及表皮电阻率的测试仪器。
3.但是，现有的测试方法都是通过移动单晶段改变测试点，在此移动过程中，难以保证测试的精度，导致测试效果欠佳。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是提供一种瞬态电压抑制器用测试仪，该瞬态电压抑制器用测试仪在实现对安装座的位置进行微调的同时，还可以对待测器件放置的位置进行预调节，进一步提高了测试的精度。
5.为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种瞬态电压抑制器用测试仪，包括：基板、可转动地安装于基板上方的圆盘和设置于圆盘正上方的探测仪，一支架的底部安装于基板上并位于圆盘外侧，所述支架的上部延伸至圆盘上方并安装有所述探测仪，所述圆盘上沿周向间隔设置有若干个安装座，所述圆盘的外圆周面下部具有沿全周向分布的齿槽，所述圆盘外侧可转动地安装有一与所述齿槽啮合的齿轮；
6.所述圆盘上表面上开设有若干个与安装座对应的条形槽，每个所述条形槽内转动安装有一沿圆盘径向延伸的丝杆，所述丝杆的一端与条形槽一端内壁转动连接，所述丝杆的另一端自圆盘的圆周面上向外伸出，所述丝杆上并位于条形槽内螺纹套装有一滑动块，所述安装座对应地安装于滑动块上，所述基板上并位于支架一侧安装有一支撑架，所述支撑架的上端延伸至圆盘上方并安装有一用于与待测器件上的待测点配合的激光灯，所述激光灯位于探测仪与放置有待测器件的安装座之间。
7.上述技术方案中进一步改进的方案如下：
8.1. 上述方案中，所述丝杆与圆盘之间通过轴承转动连接。
9.2. 上述方案中，所述条形槽沿圆盘的径向分布。
10.3. 上述方案中，所述基板下方设置有与探测仪电连接的检测仪。
11.4. 上述方案中，一旋转轴的下端通过轴承可转动地安装于基板上，所述旋转轴的上端与圆盘下表面固定连接。
12.由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
13.本实用新型瞬态电压抑制器用测试仪，其圆盘上表面上开设有若干个与安装座对
应的条形槽，每个条形槽内转动安装有一沿圆盘径向延伸的丝杆，丝杆的一端与条形槽一端内壁转动连接，丝杆的另一端自圆盘的圆周面上向外伸出，丝杆上并位于条形槽内螺纹套装有一滑动块，安装座对应地安装于滑动块上，可以在安装座随着圆盘转动至探测仪下方后，通过旋转丝杆对安装座的位置进行微调使得装夹于安装座内的待测试器件位于探测仪的正下方，从而提高测试的精度和准确性；进一步的，其基板上并位于支架一侧安装有一支撑架，支撑架的上端延伸至圆盘上方并安装有一用于与待测器件上的待测点配合的激光灯，激光灯位于探测仪与放置有待测器件的安装座之间，可以通过激光灯与滑动块的配合，对放置有待测器件的安装座在圆盘径向方向的位置进行预调节，再通过转动圆盘将待测器件移动至探测仪下方进行检测，进一步提高了测试的精度。
附图说明
14.附图1是本实用新型的整体结构示意图；
15.附图2是本实用新型的剖面图图；
16.附图3是本实用新型的局部结构剖面图。
17.以上附图中：1、基板；2、圆盘；3、探测仪；4、支架；5、安装座；6、齿轮；7、条形槽；8、丝杆；9、滑动块；10、支撑架；11、激光灯；12、检测仪；13、旋转轴。
具体实施方式
18.在本专利的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利的具体含义。
19.下面结合实施例对本实用新型作进一步描述：
20.实施例1：一种瞬态电压抑制器用测试仪，包括：基板1、可转动地安装于基板1上方的圆盘2和设置于圆盘2正上方的探测仪3，一支架4的底部安装于基板1上并位于圆盘2外侧，所述支架4的上部延伸至圆盘2上方并安装有所述探测仪3，所述圆盘2上沿周向间隔设置有若干个安装座5，所述圆盘2的外圆周面下部具有沿全周向分布的齿槽，所述圆盘2外侧可转动地安装有一与所述齿槽啮合的齿轮6；
21.所述圆盘2上表面上开设有若干个与安装座5对应的条形槽7，每个所述条形槽7内转动安装有一沿圆盘2径向延伸的丝杆8，所述丝杆8的一端与条形槽7一端内壁转动连接，所述丝杆8的另一端自圆盘2的圆周面上向外伸出，所述丝杆8上并位于条形槽7内螺纹套装有一滑动块9，所述安装座5对应地安装于滑动块9上，所述基板1上并位于支架4一侧安装有一支撑架10，所述支撑架10的上端延伸至圆盘2上方并安装有一用于与待测器件上的待测点配合的激光灯11，所述激光灯11位于探测仪3与放置有待测器件的安装座5之间，激光灯
所照射的点就是探测仪检测的点，能够在外部先对半导体器件位置进行预调整，提高接下来的测试效率。
22.上述丝杆8与圆盘2之间通过轴承转动连接。
23.上述条形槽7沿圆盘2的径向分布。
24.上述基板1下方设置有与探测仪3电连接的检测仪12。
25.实施例2：一种瞬态电压抑制器用测试仪，包括：基板1、可转动地安装于基板1上方的圆盘2和设置于圆盘2正上方的探测仪3，一支架4的底部安装于基板1上并位于圆盘2外侧，所述支架4的上部延伸至圆盘2上方并安装有所述探测仪3，所述圆盘2上沿周向间隔设置有若干个安装座5，所述圆盘2的外圆周面下部具有沿全周向分布的齿槽，所述圆盘2外侧可转动地安装有一与所述齿槽啮合的齿轮6；
26.所述圆盘2上表面上开设有若干个与安装座5对应的条形槽7，每个所述条形槽7内转动安装有一沿圆盘2径向延伸的丝杆8，所述丝杆8的一端与条形槽7一端内壁转动连接，所述丝杆8的另一端自圆盘2的圆周面上向外伸出，所述丝杆8上并位于条形槽7内螺纹套装有一滑动块9，所述安装座5对应地安装于滑动块9上，所述基板1上并位于支架4一侧安装有一支撑架10，所述支撑架10的上端延伸至圆盘2上方并安装有一用于与待测器件上的待测点配合的激光灯11，所述激光灯11位于探测仪3与放置有待测器件的安装座5之间，激光灯所照射的点就是探测仪检测的点，能够在外部先对半导体器件位置进行预调整，提高接下来的测试效率。
27.上述丝杆8与圆盘2之间通过轴承转动连接。
28.一旋转轴13的下端通过轴承可转动地安装于基板1上，上述旋转轴13的上端与圆盘2下表面固定连接。
29.采用上述瞬态电压抑制器用测试仪时，其通过转动丝杆，能够带动滑动块上的座体进行移动，将其调整到探测仪的下方，然后转动固定轴上的齿轮，带动圆盘的转动，能够更精准的使半导体器件移动到探测仪的下方，从而方便接下来的测试，通过设置在基板上的支撑架和激光灯，激光灯所照射的点就是探测仪检测的点，能够在外部先对半导体器件位置进行预调整，提高接下来的测试效率。
30.其圆盘上沿周向间隔设置有若干个安装座，圆盘的外圆周面下部具有沿全周向分布的齿槽，圆盘外侧可转动地安装有一与所述齿槽啮合的齿轮，圆盘上表面上开设有若干个与安装座对应的条形槽，每个条形槽内转动安装有一沿圆盘径向延伸的丝杆，丝杆的一端与条形槽一端内壁转动连接，丝杆的另一端自圆盘的圆周面上向外伸出，丝杆上并位于条形槽内螺纹套装有一滑动块，安装座对应地安装于滑动块上，可以在安装座随着圆盘转动至探测仪下方后，通过旋转丝杆对安装座的位置进行微调使得装夹于安装座内的待测试器件位于探测仪的正下方，从而提高测试的精度和准确性；
31.进一步的，其基板上并位于支架一侧安装有一支撑架，支撑架的上端延伸至圆盘上方并安装有一用于与待测器件上的待测点配合的激光灯，激光灯位于探测仪与放置有待测器件的安装座之间，可以通过激光灯与滑动块的配合，对放置有待测器件的安装座在圆盘径向方向的位置进行预调节，再通过转动圆盘将待测器件移动至探测仪下方进行检测，进一步提高了测试的精度。
32.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术
的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。