一种光刻机的晶片输送装置的制作方法

技术特征：
1.一种光刻机的晶片输送装置，包括晶片外箱(1)和送料装置(2)，其特征在于：所述送料装置(2)位于晶片外箱(1)的一侧，所述晶片外箱(1)的一侧端固定连接有放料斜板(3)，所述送料装置(2)上设置有送料盘(29)，且送料盘(29)与放料斜板(3)相对应，所述晶片外箱(1)内滑动连接有升降内箱(4)，所述晶片外箱(1)的一侧端开凿有晶片放置口(5)，且晶片放置口(5)与升降内箱(4)相对应，所述升降内箱(4)内固定连接有多个晶片分隔条(6)，所述升降内箱(4)与晶片外箱(1)之间设置有升降组件、驱动组件、推料组件和滚动组件，所述驱动组件通过升降组件控制升降内箱(4)在晶片外箱(1)内的升降，所述推料组件配合滚动组件用于控制晶片的移动。2.根据权利要求1所述的一种光刻机的晶片输送装置，其特征在于：所述送料装置(2)包括滑轨支撑架(201)、电动滑轨(202)和送料滑座(203)，所述滑轨支撑架(201)位于晶片外箱(1)的一侧，所述电动滑轨(202)固定连接于滑轨支撑架(201)的上端，且电动滑轨(202)与外部电源电性连接，所述送料滑座(203)滑动连接于电动滑轨(202)上，所述送料盘(29)固定连接于送料滑座(203)上。3.根据权利要求2所述的一种光刻机的晶片输送装置，其特征在于：所述升降组件包括两个支撑块(7)、两个滚珠丝杆(8)和两个行程螺母(9)，两个所述支撑块(7)分别固定连接于晶片放置口(5)的两侧壁，两个所述滚珠丝杆(8)分别转动连接于两个支撑块(7)上，两个所述行程螺母(9)分别固定连接于升降内箱(4)的两侧端，且两个行程螺母(9)分别螺纹连接于两个滚珠丝杆(8)的外表面。4.根据权利要求3所述的一种光刻机的晶片输送装置，其特征在于：所述驱动组件包括驱动电机(10)、主动转杆(11)、两个主动锥形齿轮(12)和两个从动锥形齿轮(13)，所述驱动电机(10)固定连接于晶片外箱(1)的一侧端，且驱动电机(10)与外部电源电性连接，所述主动转杆(11)转动连接于晶片外箱(1)内，且主动转杆(11)的一端活动贯穿晶片外箱(1)固定连接于驱动电机(10)的输出端，两个所述主动锥形齿轮(12)均固定连接于主动转杆(11)的外表面，两个所述从动锥形齿轮(13)分别固定连接于两个滚珠丝杆(8)的底端，且两个从动锥形齿轮(13)贯穿至两个支撑块(7)的下侧分别与两个主动锥形齿轮(12)相啮合。5.根据权利要求4所述的一种光刻机的晶片输送装置，其特征在于：所述推料组件包括两个蜗杆(17)，两个固定板(18)、两个蜗轮(19)、两个偏心转动杆(20)、固定块(21)、往复推拉架(22)、推料板(23)和两个偏心连杆(24)，两个所述蜗杆(17)分别固定连接于两个滚珠丝杆(8)的顶端，两个所述固定板(18)均固定连接于晶片外箱(1)的上端，两个所述蜗轮(19)分别转动连接于两个固定板(18)相靠近的一端，且两个蜗轮(19)分别与两个蜗杆(17)相啮合，两个所述偏心转动杆(20)分别固定连接于两个蜗轮(19)相靠近的一端，所述固定块(21)固定连接于晶片外箱(1)的一侧端，所述往复推拉架(22)活动贯穿于固定块(21)上，所述推料板(23)固定连接于往复推拉架(22)上，且推料板(23)与多个晶片分隔条(6)相对应，两个所述偏心连杆(24)分别通过铰轴活动铰接于两个偏心转动杆(20)和往复推拉架(22)之间。6.根据权利要求5所述的一种光刻机的晶片输送装置，其特征在于：所述滚动组件包括两个固定齿条(14)、多个移料转动辊(15)和多组转动齿轮(16)，两个所述固定齿条(14)均固定连接于晶片外箱(1)的一侧壁，多个所述移料转动辊(15)均转动连接于升降内箱(4)内，且多个移料转动辊(15)分别与多个晶片分隔条(6)相对应，多组所述转动齿轮(16)分别
固定连接于多个移料转动辊(15)的两端，且多组转动齿轮(16)活动贯穿至升降内箱(4)的两侧与两个固定齿条(14)相对应。7.根据权利要求6所述的一种光刻机的晶片输送装置，其特征在于：所述升降内箱(4)的两侧端均开凿有多个稳固滑槽(31)，所述晶片外箱(1)的底壁固定连接有多个稳固条(25)，且多个稳固滑槽(31)分别与多个稳固条(25)滑动连接。8.根据权利要求7所述的一种光刻机的晶片输送装置，其特征在于：所述晶片外箱(1)的两侧壁均固定连接有辅助稳固块(26)，且两个蜗杆(17)分别转动连接于两个辅助稳固块(26)内。9.根据权利要求8所述的一种光刻机的晶片输送装置，其特征在于：所述放料斜板(3)上开凿有转辊安装槽(30)，所述转辊安装槽(30)内转动连接有多个滑料转辊(27)。10.根据权利要求9所述的一种光刻机的晶片输送装置，其特征在于：所述送料盘(29)的上端固定连接有送料防护框(28)，所述送料防护框(28)的开口与放料斜板(3)相对应。

技术总结
本发明提供一种光刻机的晶片输送装置，属于半导体材料技术领域，该光刻机的晶片输送装置包括晶片外箱和送料装置，送料装置位于晶片外箱的一侧，晶片外箱的一侧端固定连接有放料斜板，送料装置上设置有送料盘，且送料盘与放料斜板相对应；本发明中，工作人员只需将多个晶片放入多个晶片分隔条上，驱动组件通过升降组件控制升降内箱升降，升降内箱每次向上移动的距离相同，使最上层的晶片被推料组件和滚动组件控制移动，从而使晶片进入送料盘内通过送料装置输送，根据光刻机对晶片的光刻时间，升降内箱每次只将一个晶片送出，送出的时间相同，不需要人为干涉，从而避免晶片在输送的过程中发生堆积影响光刻机的取用。程中发生堆积影响光刻机的取用。程中发生堆积影响光刻机的取用。


技术研发人员：陈炳寺
受保护的技术使用者：江苏晶杰光电科技有限公司
技术研发日：2022.07.20
技术公布日：2022/10/11