半导体设备用气动装置的制作方法

1.本发明涉及半导体设备中流体控制装置技术领域，尤其是涉及一种半导体设备用气动装置。


背景技术：

2.半导体设备包含多个部件时，不同部件对气体(例如：正压气体、压缩气体；或者抽真空气体)的压力与流量需求不同，多个部件对应多个支路，每个支路对气体压力以及流量均有不同要求，亟需一种能够同时对不同支路的气体压力和气体流量调节的气动装置。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种半导体设备用气动装置，以在一定程度上解决上述技术问题。
4.本发明提供了一种半导体设备用气动装置，包括：总管、分流阀块以及多个支管；所述总管通过所述分流阀块分别与多个所述支管连通；每个所述支管上均设有调压阀、压力检测元件、调速阀和流量检测元件。
5.每个支管对应不同的半导体设备的部件，向总管中通入需要输送的气体，通过分流阀块将气体分成多个支路输送至相应的支管中，通过每个支管上的调压阀可以对该支路上的气体压力进行调整，通过调速阀可以对该支路上的气体流量进行调节，通过压力检测元件可以实时获得该支路上的气体压力，通过流量检测元件可以实时获得该支路上的气体流量，这样可以实现根据需要将该支路上的气体压力和气体流量调节至所需范围内。本发明提供的半导体设备用气动装置可以同时对多个支路的气体压力和气体流量分别进行调整，方便使用。
6.进一步地，所述总管上设有总阀，所述总阀位于所述分流阀块的远离所述支管的一侧。
7.进一步地，所述调压阀靠近所述分流阀块设置，所述调速阀远离所述分流阀块设置，所述压力检测元件连通在所述调压阀和所述调速阀之间，所述流量检测元件连通在所述调速阀的远离所述调压阀的一侧。
8.进一步地，所述总管包括送气总管和抽气总管，所述分流阀块包括送气分流阀块和抽气分流阀块，所述总阀包括送气总阀和抽气总阀，多个所述支管中包括多个送气支管和多个抽气支管；所述送气总管通过所述送气分流阀块分别与多个所述送气支管连通，所述抽气总管通过所述抽气分流阀块分别与多个所述抽气支管连通；每个所述送气支管上均设有送气调压阀、送气压力检测元件、送气调速阀和送气流量检测元件；每个所述抽气支管上均设有抽气调压阀、抽气压力检测元件、抽气调速阀和抽气流量检测元件。
9.进一步地，半导体设备用气动装置还包括箱体，所述送气总管、所述抽气总管、所述送气分流阀块、所述抽气分流阀块、所述送气支管、所述抽气支管、所述送气调压阀、所述送气压力检测元件、所述送气调速阀、所述送气流量检测元件、所述抽气调压阀、所述抽气
压力检测元件、所述抽气调速阀和所述抽气流量检测元件均设置在所述箱体内；
10.所述箱体的外壁上设有与所述送气总管连通的送气总接口、与所述抽气总管连通的抽气总接口、与多个所述送气支管一一对应连通的送气支接口以及与多个所述抽气支管一一对应连通的抽气支接口。
11.进一步地，所述箱体包括相对设置的第一侧板和第二侧板，所述送气总阀和所述抽气总阀设置在所述第一侧板上，多个所述送气支管和多个所述抽气支管设置在所述第二侧板上。
12.进一步地，所述第二侧板上还设有安装接头、网线接头和电源接头。
13.进一步地，沿所述箱体的长度方向，多个所述送气调压阀间隔设置，多个所述抽气调压阀间隔设置；沿所述箱体的宽度方向，所述送气调压阀和所述抽气调压阀并排设置。
14.进一步地，沿所述箱体的长度方向，多个所述送气压力检测元件和多个所述抽气压力检测元件堆叠设置；且所述送气压力检测元件和所述抽气压力检测元件靠近所述第二侧板设置。
15.进一步地，所述箱体还包括相对设置的第三侧板和第四侧板，所述第三侧板和所述第四侧板均连接在所述第一侧板和所述第二侧板之间；所述送气分流阀块和抽气分流阀块设置在所述第三侧板的内壁；
16.在所述箱体的长度方向上，多个所述送气流量检测元件位于所述送气调压阀的靠近所述第三侧板的一侧，多个所述抽气流量检测元件位于多个所述抽气调压阀的靠近所述第三侧板的一侧。
17.应当理解，前述的一般描述和接下来的具体实施方式两者均是为了举例和说明的目的并且未必限制本公开。并入并构成说明书的一部分的附图示出本公开的主题。同时，说明书和附图用来解释本公开的原理。
附图说明
18.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为本发明实施例的半导体设备用气动装置的第一视角结构示意图；
20.图2为图1所示的半导体设备用气动装置的第二视角结构示意图；
21.图3为图1所示的半导体设备用气动装置的第三视角结构示意图；
22.图4为图1所示的半导体设备用气动装置的第四视角结构示意图；
23.图5为图1所示的半导体设备用气动装置的第五视角结构示意图；
24.图6为图1所示的半导体设备用气动装置的原理图。
25.图标：1-箱体；2-送气支接口；3-抽气支接口；4-送气总阀；5-抽气总阀；6-送气分流阀块；7-抽气分流阀块；8-送气调压阀；9-送气压力检测元件；10-送气调速阀；11-送气流量检测元件；12-抽气调压阀；13-抽气压力检测元件；14-抽气调速阀；15-抽气流量检测元件；16-安装接头；17-网线接头；18-电源接头；19-封板；20-电气件；21-铝轨道；22-接地柱。
具体实施方式
26.下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
27.通常在此处附图中描述和显示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。
28.基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
29.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
31.如图1至图6所示，本发明实施例提供一种半导体设备用气动装置，包括：总管、分流阀块以及多个支管；所述总管通过所述分流阀块分别与多个所述支管连通；每个所述支管上均设有调压阀、压力检测元件、调速阀和流量检测元件。
32.本实施例中，每个支管对应不同的半导体设备的部件，使总管中流通气体，分流阀块将总管中的气体分成多个支路输送至相应的多个支管中，或者分流阀块将多个支管中的气体汇合至总管中；通过每个支管上的调压阀可以对该支路上的气体压力进行调整，通过调速阀可以对该支路上的气体流量进行调节，通过压力检测元件可以实时获得该支路上的气体压力，通过流量检测元件可以实时获得该支路上的气体流量，这样可以实现根据需要将该支路上的气体压力和气体流量调节至所需范围内。半导体设备用气动装置可以同时对多个支路分别进行调整，方便使用。
33.其中，压力检测示元件可以与终端(例如：手机或者电脑等)通讯连接，工作人员通过终端获得支路上的气体压力。可选的，压力检测元件，采用可读数的压力检测元件，工作人员可以直接获得气体压力信息，进一步方便使用。
34.流量检测元件可以与终端(例如：手机或者电脑等)通讯连接，工作人员通过终端获得支路上的气体流量。可选的，流量检测元件，采用可读数的流量检测元件，工作人员可以直接获得气体流量信息，进一步方便使用。
35.如图6所示，在上述实施例基础之上，进一步地，所述总管上设有总阀，所述总阀位于所述分流阀块的远离所述支管的一侧。
36.本实施例中，在总管上设置总阀，可以控制总管内的气体流动情况，在整体上对气体流动进行控制。
37.其中，调压阀、压力检测元件、调速阀以及流量检测元件的与支路连通的位置可以
根据需要来设置。
38.可选的，如图6所示，所述调压阀靠近所述分流阀块设置，所述调速阀远离所述分流阀块设置，所述压力检测元件连通在所述调压阀和所述调速阀之间，所述流量检测元件连通在所述调速阀的远离所述调压阀的一侧。
39.本实施例中，沿远离分流阀块6的方向，调压阀、压力检测元件、调速阀以及流量检测元件依次设置。
40.具体地，如图1至图5所示，所述总管包括送气总管和抽气总管，所述分流阀块包括送气分流阀块6和抽气分流阀块7，所述总阀包括送气总阀4和抽气总阀5，多个所述支管中包括多个送气支管和多个抽气支管；所述送气总管通过所述送气分流阀块6分别与多个所述送气支管连通，所述抽气总管通过所述抽气分流阀块7分别与多个所述抽气支管连通；每个所述送气支管上均设有送气调压阀8、送气压力检测元件9、送气调速阀10和送气流量检测元件11；每个所述抽气支管上均设有抽气调压阀12、抽气压力检测元件13、抽气调速阀14和抽气流量检测元件15。
41.本实施例中，可以通过送气总管和送气支管向部件输送正压气体或者压缩气体；通过抽气总管和抽气支管可以对部件进行抽真空，也即，向送气总管内输送正压气体或者压缩气体，气体经过分流阀块分流后分别进入相应的支管，然后由支管输送至相应的部件，抽气装置(例如：真空泵)工作，气体由部件处进入支管，然后通过分流阀块进入总管。
42.送气总阀4和送气分流阀块6设置在送气总管上，送气总管用于输送正压气体或者压缩气体，多个送气支管通过送气分流阀块6分别与送气总管连通，送气调压阀8用于调整送气支路的气体压力，送气压力检测元件9用于检测送气支路的气体压力，送气调速阀10用于调整送气支路的气体流量，送气流量检测元件11用于检测送气支路的气体流量；抽气总阀5和抽气分流阀块7设置在抽气总管上，抽气总管用于输送抽真空气体，多个抽气支管通过抽气分流阀块7分别与抽气总管连通，抽气调压阀12用于调整抽气支路的气体压力，抽气压力检测元件13用于检测抽气支路的气体压力，抽气调速阀14用于调整抽气支路的气体流量，抽气流量检测元件15用于检测抽气支路的气体流量。
43.如图1至图5所示，在上述实施例基础之上，进一步地，半导体设备用气动装置还包括箱体1，所述送气总管、所述抽气总管、所述送气分流阀块6、所述抽气分流阀块7、所述送气支管、所述抽气支管、所述送气调压阀8、所述送气压力检测元件9、所述送气调速阀10、所述送气流量检测元件11、所述抽气调压阀12、所述抽气压力检测元件13、所述抽气调速阀14和所述抽气流量检测元件15均设置在所述箱体1内；所述箱体1的外壁上设有与所述送气总管连通的送气总接口、与所述抽气总管连通的抽气总接口、与多个所述送气支管一一对应连通的送气支接口2以及与多个所述抽气支管一一对应连通的抽气支接口3。
44.本实施例中，外部供气装置通过送气总接口向送气总管供入相应气体，抽气装置通过抽气总接口与抽气总管连通，这种结构的半导体设备用气动装置的集成程度高，方便使用。
45.如图1至图5所示，在上述实施例基础之上，进一步地，所述箱体1包括相对设置的第一侧板和第二侧板，所述送气总阀4和所述抽气总阀5设置在所述第一侧板上，多个所述送气支管和多个所述抽气支管设置在所述第二侧板上，这种布局使得箱体1内的结构紧凑、规整，节省安装空间。
46.如图1至图5所示，在上述实施例基础之上，进一步地，所述第二侧板上还设有安装接头16、网线接头17和电源接头18。本实施例中，设置安装接头16可以实现与外部部件进行连接，设置网线接头17可以实现本设备可以实现通信连接，设置电源接头18可以实现外部供电元件给箱体1内的用电元件供电。
47.具体地，可以在箱体1内设置控制元件，控制元件与压力检测元件和流量检测元件通信连接等。
48.如图1至图5所示，在上述实施例基础之上，进一步地，沿所述箱体1的长度方向，多个所述送气调压阀8间隔设置，多个所述抽气调压阀12间隔设置；沿所述箱体1的宽度方向，所述送气调压阀8和所述抽气调压阀12并排设置。这种布局使得箱体1内的结构紧凑、规整，节省占用空间，从而使的该设备的体积小。
49.如图1至图5所示，在上述实施例基础之上，进一步地，沿所述箱体1的长度方向，多个所述送气压力检测元件和多个所述抽气压力检测元件堆叠设置；且所述送气压力检测元件和所述抽气压力检测元件靠近所述第二侧板设置。
50.其中，多个送气压力检测元件作为一个整体堆叠在多个抽气压力检测元件的上方或者下方。
51.如图1至图5所示，在上述实施例基础之上，进一步地，所述箱体1还包括相对设置的第三侧板和第四侧板，所述第三侧板和所述第四侧板均连接在所述第一侧板和所述第二侧板之间；所述送气分流阀块6和抽气分流阀块7设置在所述第三侧板的内壁；在所述箱体1的长度方向上，多个所述送气流量检测元件11位于所述送气调压阀8的靠近所述第三侧板的一侧，多个所述抽气流量检测元件15位于多个所述抽气调压阀12的靠近所述第三侧板的一侧。
52.具体地，箱体1可以一侧开口设置，从而方便向箱体1内安装部件，半导体设备用气动装置还包括封板19，封板19设置在箱体1的开口侧以将开口覆盖。
53.如图1至图5所示，在上述实施例基础之上，进一步地，箱体1内还可以设置电气件20，电气件20通过铝轨道21与箱体1连接。还可以在箱体1上设置接地柱22。
54.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。在此处所提供的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。