一种晶棒加工用自动压紧装置的制作方法

1.本技术涉及晶棒加工领域，尤其是涉及一种晶棒加工用自动压紧装置。


背景技术：

2.晶体生长后经过滚磨得到晶棒，在切片之前需要对长晶棒进行截断，截断时由于切割线的切割作用，带动晶棒发生抖动，在蓝宝石等体积较小的晶棒截断工艺中晶棒抖动尤为明显，因此在切割过程中需要对晶棒进行固定。
3.现有技术中，为了改善切割过程中晶棒的抖动问题，一般在晶棒上固定一压板，通过压板将晶棒压住以减小晶棒抖动，现有技术中仅由固定在压板一端上的驱动机构驱动压板上升或下降，同时该驱动机构还作为压板的支撑和连接的基础，不具有其他对压板起到限位或支撑的机构，晶棒抖动作用在压板和驱动机构上，一方面导致晶棒压紧不稳定，另一方面容易导致驱动机构损坏。
4.因此，现有技术的技术问题在于：晶棒压紧效果不佳。


技术实现要素：

5.本技术提供一种晶棒加工用自动压紧装置，解决了现有技术中晶棒压紧效果不佳的技术问题；达到提高晶棒压紧效果的技术效果。
6.本技术提供的一种晶棒加工用自动压紧装置，采用如下的技术方案：
7.一种晶棒加工用自动压紧装置，作用于晶棒，包括：基座，所述基座包括：第一座；第二座，所述第二座位于所述第一座的一侧；压板，所述压板位于所述第一座和第二座之间，且分别与所述第一座和所述第二座滑移连接；以及驱动机构，所述驱动机构连接于所述基座上，所述驱动机构用于驱动所述压板移动而使得所述压板具有第一状态和所述第二状态：第一状态下，所述压板抵触于晶棒；第二状态下，所述压板脱离于晶棒。
8.作为优选，所述基座上设置有导向组件，所述导向组件包括：导向杆，所述导向杆具有两个，两个所述导向杆分别连接于所述第一座和第二座上，两个所述导向杆相互平行；其中，所述压板的两端分别滑移连接于两个所述导向杆上。
9.作为优选，所述压板套设于所述导向杆上。
10.作为优选，所述压板呈水平布置，且所述压板与所述导向杆相垂直。
11.作为优选，所述导向组件还包括：导向套，所述导向套具有两个，所述导向套位于所述导向杆与所述压板之间，所述导向套对应套设于所述导向杆上，且所述导向套与所述压板固定连接。
12.作为优选，所述驱动机构包括：气缸，所述气缸固定连接于所述第一座上，所述气缸的输出端固定连接于所述压板，且所述气缸的输出方向与所述导向杆平行。
13.作为优选，所述驱动机构还包括：箱体，所述箱体固定连接于所述第一座上，所述箱体的内部具有一腔体，所述腔体容置所述气缸。
14.作为优选，所述驱动机构还包括：连接板，所述连接板位于所述气缸和所述压板之
间，所述连接板的两端分别连接于所述气缸的输出端和所述压板之间。
15.作为优选，所述箱体的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板上固定连接所述导向杆。
16.作为优选，所述支撑板与所述第二座的顶部高度齐平。
17.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
18.1、本技术通过滑移连接于两个基座上的压板抵压在待切割的晶棒上，提高基座对压板的限位作用，在晶棒切割时有利于保持压板的稳定性，从而提高压板对晶棒的压紧的稳定性，解决了现有技术中晶棒压紧效果不佳的技术问题；达到提高晶棒压紧效果的技术效果。
19.2、基座和气缸分担压板的重力，改变了现有技术中压板仅由气缸承受全部压板重力，减小气缸损坏的可能。
20.3、导向杆起到对压板的导向作用，保持压杆定向移动，提高压板升降时的稳定性，确保在升降过程中压板保持水平，从而有利于提高压板抵触晶棒时的贴合度，从而提高压板对晶棒的压紧效果。
附图说明
21.图1是本技术所述自动压紧装置的立体示意图；
22.图2是本技术所述自动压紧装置的主视图；
23.图3是图2中a-a的剖视图；
24.图4是本技术所述自动压紧装置的驱动机构示意图。
25.附图标记说明：100、基座；110、第一座；120、第二座；130、导向组件；131、导向杆；132、导向套；200、压板；300、驱动机构；310、箱体；320、气缸；330、支撑板；340、连接板。
具体实施方式
26.本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本技术所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
27.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
28.本技术实施例提供了一种晶棒加工用自动压紧装置，解决了现有技术中晶棒压紧效果不佳的技术问题；达到提高晶棒压紧效果的技术效果。
29.为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上
述技术方案进行详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
30.晶体在经过拉晶之后，需要对晶棒进行磨削滚圆等操作，从而得到圆柱状的晶棒，针对晶棒的截断，一般利用金刚线对晶棒进行切割，在切割过程中不免出现晶棒抖动的情况，晶棒抖动会导致切割面不平整等问题，甚至造成晶棒损毁。因此在截断过程中晶棒抖动是一个亟待解决的问题。
31.本技术提出一种晶棒加工用自动压紧装置，作用于待切割的晶棒，减小晶棒在切割过程中的抖动，如图1所示，自动压紧装置包括基座100、压板200以及驱动机构300，基座100用于连接于压板200，基座100作为压板200和驱动机构300的安装基础；压板200用于抵压固定待切割的晶棒；驱动机构300用于驱动压板200移动，使得压板200抵触于晶棒或从晶棒脱离。
32.基座100，如图1、2所示，基座100用于连接于压板200。基座100包括第一座110、第二座120以及导向组件130，第一座110和第二座120为两个竖直布置的座体，用于作为压板200的连接和支撑基础，第一座110固定连接或放置于地面，第二座120位于第一座110的一侧，第二座120和第一座110并列布置，且均垂直于底面而保持相互平行。值得说明的是，第一座110上连接驱动机构300，因此第一座110的高度相对于第二座120的高度较低，但在驱动机构300的驱动作用下，压板200仍能保持水平状态。
33.压板200，如图1、2所示，压板200用于抵压固定待切割的晶棒。压板200作用于晶棒，利用自身重力将晶棒压紧于切割工位上，因此起到对晶棒的减震效果，压板200为一水平布置的长条板状，压板200滑移连接于基座100上，即压板200相对于第一座110(或第二座120)可移动，驱动机构300的驱动下，压板200受力滑移而形成有第一状态和第二状态，在第一状态下，压板200与待切割的晶棒相抵触，使得晶棒被压板200压紧，晶棒的抖动效果减弱，此为晶棒切割过程中压板200动作状态；在第二状态下，压板200与待切割的晶棒脱离，此为晶棒切割之前后切割之后的压板200动作状态。
34.具体的，如图1、2所示，压板200的两端分别滑移连接在第一座110和第二座120上，在一个实施例中，压板200的两端上分别连接有滑块，对应的，在第一座110和第二座120上开设竖直方向的滑槽，滑块和滑槽滑移配合，使得压板200连接于第一座110和第二座120之间的同时，还可以相对于第一座110(或第二座120)在竖直方向上升降，从而实现压板200相对于晶棒移动，使得压板200抵触于晶棒或脱离于晶棒。
35.在另一个实施例中，如图2、3所示，压板200的连接方式还可以由导向组件130进行连接。导向组件130用于引导压板200，导向组件130包括导向杆131和导向套132，两个导向杆131相互平行布置，且导向杆131与压板200相垂直布置，两个导向杆131分别连接于第一座110和第二座120上，换言之，第一座110的顶部连接有一导向杆131，第二座120的顶部连接有另一导向杆131，每个导向杆131与第一座110(或第二座120)方向相同；压板200的两端分别对应套设于两个导向杆131上，使得压板200可在导向杆131所在方向上移动；进一步的，导向套132位于导向杆131和压板200之间，导向套132具有两个，两个导向套132分别对应的套设于导向杆131上，导向套132的外壁与压板200固定连接，换言之，导向套132套设于导向杆131和压板200之间，通过导向套132减小压板200和导向杆131之间的作用力，有利于对压板200和导向杆131的双向防护。
36.驱动机构300，如图4所示，驱动机构300用于驱动压板200移动。驱动机构300固定连接于第一座110的顶部，第一座110的高度相较于第二座120的高度较低，通过在第一座110顶部固定驱动机构300，使得第一座110整体高度和第二座120整体高度相适应。驱动机构300包括气缸320、箱体310以及连接板340，箱体310为一矩形状的壳体，箱体310固定连接于第一座110的顶部，箱体310的内部具有腔体；气缸320容位于箱体310的内部，即气缸320容置于腔体中，气缸320固定连接于箱体310的内底部或内侧壁，从而使得气缸320被固定，其中，气缸320的输出轴穿设经过箱体310的顶面达到箱体310的上方，且气缸320的输出轴的布置方向与导向杆131所在方向相平行，即气缸320的输出方向与导向杆131所在方向平行；连接板340连接于气缸320的输出轴和压板200之间，具体的，连接板340的第一端固定连接于气缸320的输出轴上，连接板340的第二端固定连接于压板200的端部侧边，且连接板340自身布置在水平状态，在气缸320受控伸出时，气缸320通过连接板340带动压板200在导向杆131上向上滑移；在气缸320受控回缩时，气缸320通过连接板340带动压板200在导向杆131上向下滑移。
37.值得说明的是，如图4所示，导向杆131可以直接固定连接于基座100上，即直接连接于第一座110和第二座120上，在一个实施例中，位于第一座110上的导向杆131通过一支撑板330连接于箱体310上，换言之，箱体310的顶部固定连接有一支撑板330，支撑板330呈水平布置，第一座110上的导向杆131固定连接于该支撑板330上，提高对导向杆131的加固效果；进一步的，支撑板330所在高度与第二座120的顶部高度相齐平，使得压板200位于导向杆131最底部时，压板200的两个端部分别能够与支撑板330和第二座120的顶部相抵触，支撑板330和第二座120分担压板200重力，提供对装置整体的保护。
38.工作原理/步骤：
39.如图1所示，本技术所述的装置由第一座110、第二座120以及压板200形成的龙门结构架设于晶棒截断机的截断工作台上，在对晶棒进行切割之前，气缸320处于伸出状态，压板200位于第二状态下，即压板200与晶棒之间脱离；
40.然后控制气缸320回缩，气缸320带动压板200在导向杆131上实现下降动作，直至压板200处于第一状态，即压板200抵触于晶棒并将晶棒压紧；
41.切割晶棒之后对晶棒下料，控制气缸320伸出，气缸320带动压板200在导向杆131上实现上升动作，直至压板200与晶棒脱离，压板200重新回到第二状态。
42.技术效果：
43.1、本技术通过滑移连接于两个基座100上的压板200抵压在待切割的晶棒上，提高基座100对压板200的限位作用，在晶棒切割时有利于保持压板200的稳定性，从而提高压板200对晶棒的压紧的稳定性，解决了现有技术中晶棒压紧效果不佳的技术问题；达到提高晶棒压紧效果的技术效果。
44.2、基座100和气缸320分担压板200的重力，改变了现有技术中压板200仅由气缸320承受全部压板200重力，减小气缸320损坏的可能。
45.导向杆131起到对压板200的导向作用，保持压杆定向移动，提高压板200升降时的稳定性，确保在升降过程中压板200保持水平，从而有利于提高压板200抵触晶棒时的贴合度，从而提高压板200对晶棒的压紧效果。
46.尽管已描述了本技术的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造
性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本技术范围的所有变更和修改。
47.显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。