一种用于OHT大角度旋转装置的制作方法

一种用于oht大角度旋转装置
技术领域
1.本实用新型属于oht物料小车设备技术领域，特别是一种用于oht大角度旋转装置。


背景技术：

2.半导体领域内，晶圆厂普遍使用自动物料传输系统(amhs)来提高工厂自动化程度，更加智能地去管理厂内物料的运输与工艺流程管理。空中的自动物料搬运小车(oht)简称小车,是自动物料传输系统中的重要子系统，主要负责搬运晶圆料盒(foup)至不同的工艺设备或仓储设备。
3.目前的空中自动搬运小车(oht)，可使foup转向的r轴都是只有
±
10
°
左右的转动,转动的角度较小，有些晶圆厂在生产过程中，每个工作台上晶圆盒的摆放角度的变化比较大，因此无法满足使用。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于oht大角度旋转装置，具有方便了操作者根据工位的角度来调节oht小车上的晶圆盒的角度的特点。
5.本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：
6.一种用于oht大角度旋转装置，包括底板，底板安装在oht小车上，在底板上开设有一安装孔，在底板下表面上通过法兰固定连接有一中空轴承，中空轴承的外壁与法兰固定连接，在中空轴承内圈下表面上固定连接有一安装座，安装座下表面上固定连接有连接法兰，在底板上设有用于驱动安装座转动的驱动机构，在底板上设有用于限位安装座转动角度的限位机构。
7.进一步的，所述驱动机构包括固定连接在底板下表面上的伺服电机、固定连接在底板下表面上的减速机、固定连接在减速机输出轴上的第一皮带轮、同轴固定连接在安装座外壁上的第二皮带轮、绕卷在第一皮带轮和第二皮带轮之间的传动带和设置在底板上用于调节传动带松紧的调节件，所述伺服电机的输出轴通过联轴器与减速机的输入轴固定连接。
8.进一步的，所述调节件包括固定连接在底板下表面上的固定块、开设在固定块上的调节孔、一端滑动连接在调节孔中的调节螺杆、固定连接在调节螺杆一端上固定板、固定连接在固定板下表面上的支杆、转动连接在支杆一端上的调节轮和螺纹连接在调节螺杆外壁上的调节螺母，所述调节螺母在传动带和调节轮的作用下抵接在固定块外壁上。
9.进一步的，所述减速机选用蜗轮蜗杆减速机。
10.进一步的，所述限位机构包括同轴固定连接在安装座外壁上的安装环、固定连接在安装环外壁上的检知板、固定连接在检知板一端上的检知杆、两个固定连接在底板下表面上的微动开关，所述检知板呈圆弧状
11.进一步的，所述检知板的圆弧角度为180-220度。
12.进一步的，在所述底板下表面上固定连接有一支座，在支座上固定连接有一原点传感器。
13.与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：
14.1、本实用新型通过伺服电机带动减速机工作，减速机上的第一皮带轮传动带带动第二皮带轮转动，第二皮带轮带动安装座转动，安装座带动oht小车上的升降机构转动，通过限位机构可以限位安装座转动的角度，通过调节件可以调节传动带的松紧，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了操作者根据工位的角度来调节oht小车上的晶圆盒的角度。
15.2、本实用新型通过将检知板的圆弧角度设置为190度，限制了安装座在190度的范围内的随意调节，扩大了oht小车上的升降机构的转动角度的范围。
16.3、本实用新型通过在底板上固定固定块，固定块上的安装孔中滑动调节螺杆，调节螺杆上的调节螺母抵接在固定块外壁上，支杆上的调节轮抵接在传动带外壁上，在作用力与反作用的作用下，调节螺杆上的调节螺母始终抵紧在固定块外壁上，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了操作者调节传动带的松紧。
附图说明
17.图1是本实用新型的结构示意图。
18.图2是本实用新型中底板下表面上的结构示意图。
19.图中，1、底板；2、安装孔；3、中空轴承；4、安装座；5、连接法兰；6、驱动机构；7、限位机构；8、伺服电机；9、减速机；10、第一皮带轮；11、第二皮带轮；12、传动带；13、调节件；14、固定块；15、调节孔；16、调节螺杆；17、固定板；18、支杆；19、调节轮；20、调节螺母；21、安装环；22、检知板；23、检知杆；24、微动开关；25、支座；26、原点传感器。
具体实施方式
20.以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
21.如图1、图2所示，一种用于oht大角度旋转装置，包括底板1，底板1安装在oht小车上，在底板1上开设有一安装孔2，安装孔2呈圆形设置，在底板1下表面上通过法兰固定连接有一中空轴承3，中空轴承3的外壁与法兰固定连接，在中空轴承3内壁下表面上同轴固定连接有一安装座4，在安装座4下表面上固定连接有一连接法兰5，连接法兰5用于连接oht小车的升降机构，在底板1下表面上设有用于驱动安装座4转动的驱动机构6，在底板1上设有用于限位安装座4转动角度的限位机构7。
22.如图1、图2所示，驱动机构6包括伺服电机8、减速机9、第一皮带轮10、第二皮带轮11、传动带12和调节件13，伺服电机8固定连接在底板1下表面上，减速机9固定连接在底板1下表面上，减速机9设置为蜗轮蜗杆减速机9，伺服电机8的输出轴通过联轴器与减速机9的输入轴固定连接，第一皮带轮10固定连接在减速机9的输出轴上，第二皮带轮11固定连接在安装座4外壁上，第一皮带轮10的直径小于第二皮带轮11的直径，传动带12绕卷在第一皮带轮10和第二皮带轮11之间，调节件13设置在底板1下表面上，调节件13用于调节传动带12的松紧。
23.如图1、图2所示，调节件13包括固定块14、调节孔15、调节螺杆16、固定板17、支杆18、调节轮19和调节螺母20，固定块14固定连接在底板1下表面上，调节孔15开设在固定块14上，调节孔15贯穿固定块14两侧侧壁，调节螺杆16滑动连接在调节孔15中，固定板17固定连接在调节螺杆16一端上，支杆18固定连接在固定板17下表面上，调节轮19转动连接在支杆18一端上，调节轮19抵接在传动带12外壁上，调节螺母20螺纹连接在调节螺杆16外壁上，在传动带12的反作用力下，调节螺母20抵紧在固定块14外壁上。
24.如图1、图2所示，限位机构7包括安装环21、检知板22、检知杆23和微动开关24，安装环21同轴固定连接在安装座4外壁上，检知板22固定连接在安装环21外壁上，检知板22呈圆弧状设置，检知板22的圆弧角度为190度，在检知杆23固定连接在检知板22一端上，微动开关24固定连接在底板1下表面上，在底板1下表面上固定连接有两个微动开关24，两个微动开关24和检知杆23的配合用于限位安装座4的两个方向上的极限转动角度。
25.如图1、图2所述，为了方便操作者定位安装座4转动的原点，在底板1下表面上固定连接有一支座25，在支座25上固定连接有一原点传感器26，通过原点传感器26可以检测安装座4转动的原点的位置。
26.本实用新型实施例的工作原理：通过原点传感器26，检测安装座4位于原点；
27.根据需要调节安装座4的角度，伺服电机8带动减速机9运动，减速机9上的第一皮带轮10通过传动带12带动第二皮带轮11转动，第二皮带轮11带动安装座4转动；
28.转动调节螺母20，调节螺杆16在安装孔2中滑动，调节轮19抵紧在传动带12外壁上，调节传动带12的松紧；
29.检知板22带动检知杆23运动，检知杆23在两个微动开关24的限位下，转动角度为0-190度。
30.本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
31.尽管本文较多地使用了1、底板；2、安装孔；3、中空轴承；4、安装座；5、连接法兰；6、驱动机构；7、限位机构；8、伺服电机；9、减速机；10、第一皮带轮；11、第二皮带轮；12、传动带；13、调节件；14、固定块；15、调节孔；16、调节螺杆；17、固定板；18、支杆；19、调节轮；20、调节螺母；21、安装环；22、检知板；23、检知杆；24、微动开关；25、支座；26、原点传感器等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。