一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机的制作方法

1.本实用新型涉及单晶硅棒生产设备技术领域，具体涉及一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机。


背景技术：

2.单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性，自被人们发现和利用后很快替代其它半导体材料。需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工。滚磨的目的是利用砂轮将截面为不规整的单晶硅棒打磨成截面为圆形的单晶硅棒，现有的滚磨方式是在机床上进行的，这种滚磨方式存在上料工序多的缺陷，降低了生产效率，此外在滚磨过程中还需要工人利用砂轮沿着单晶硅棒的轴线移动，才能对整个单晶硅棒滚磨，增大了工人的劳动强度，进一步降低了滚磨效率。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机，以解决上述背景技术中提出的现有的滚磨方式是在机床上进行的，这种滚磨方式存在上料工序多的缺陷，降低了生产效率，此外在滚磨过程中还需要工人利用砂轮沿着单晶硅棒的轴线移动，才能对整个单晶硅棒滚磨，增大了工人的劳动强度，进一步降低了滚磨效率的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机，包括支撑框架，所述支撑框架的上表面一端设有一号电机，所述一号电机的输出端设有一号固定头，所述支撑框架的上表面另一端设有滑动板，所述滑动板的上端设有辅助框架，所述辅助框架上设有二号固定头，所述滑动板上设有调节轴，所述支撑框架的后侧上端设有线性执行器，所述线性执行器的输出端通过螺栓连接有二号电机，所述二号电机的输出端设有打磨轮。
5.优选的，所述支撑框架包括底部框架，所述底部框架的上方设有安装框架，所述底部框架与所述安装框架之间连接有支撑柱，所述安装框架的侧壁与所述调节轴对应的位置开设有通槽，所述安装框架的内部设有调节齿条，所述调节轴通过齿轮与所述调节齿条啮合。
6.优选的，所述滑动板的前端呈l型设置，所述滑动板与所述支撑框架滑动连接，所述调节轴通过轴承与所述滑动板的l型端转动连接。
7.优选的，所述二号固定头通过轴承与所述辅助框架转动连接，所述二号固定头与所述一号固定头位置对应设置。
8.优选的，所述调节轴通过所述通槽伸入到所述安装框架的内部，所述调节轴的一端设有调节手柄。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过一号固定头及二号固定头，能将单晶硅棒固定在支撑框架上，通过一号电机带动单晶硅棒进行旋转，并通过二号电机带动打磨轮旋转对单晶硅棒进行打磨，代替现有的在机床上进行的滚磨方式，避免这种滚磨方
式导致的上料工序多的缺陷，提升生产效率，通过设置线性执行器，在滚磨过程中不需要工人利用砂轮沿着单晶硅棒的轴线移动，通过线性执行器带动打磨轮移动，能对整个单晶硅棒滚磨，降低工人的劳动强度，进一步提升了滚磨效率。
附图说明
10.图1为本实用新型的主体结构轴测图；
11.图2为本实用新型的主体结构主视剖视图；
12.图3为本实用新型的主体结构主视示意图；
13.图4为本实用新型的主体结构左视示意图；
14.图5为本实用新型的主体结构俯视示意图。
15.图中：1-支撑框架、101-底部框架、102-安装框架、103-支撑柱、2-一号电机、3-一号固定头、4-滑动板、5-辅助框架、6-二号固定头、7-调节轴、8-线性执行器、9-二号电机、10-打磨轮、11-通槽、12-调节齿条、13-调节手柄。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.请参阅图1-5，本实用新型提供一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机，包括支撑框架1，所述支撑框架1的上表面一端设有一号电机2，所述一号电机2的输出端设有一号固定头3，所述支撑框架1的上表面另一端设有滑动板4，所述滑动板4的上端设有辅助框架5，所述辅助框架5上设有二号固定头6，所述滑动板4上设有调节轴7，所述支撑框架1的后侧上端设有线性执行器8，所述线性执行器8的输出端通过螺栓连接有二号电机9，所述二号电机9的输出端设有打磨轮10。
18.使用时，将单晶硅帮的一端抵在一号固定头3上，随后保持单晶硅棒水平设置，通过调节轴7带动滑动板4以及辅助框架5沿着支撑框架1左右滑动，直至二号固定头6抵在单晶硅棒的另一端上，并将单晶硅棒夹持住，随后，一号电机2启动，通过一号固定头3带动单晶硅棒进行旋转，在单晶硅棒旋转的同时，二号电机9启动，带动打磨轮10对单晶硅棒进行打磨，线性执行器8启动，带动二号电机9及打磨轮10进行左右方向的移动，对单晶硅棒进行轴向上的打磨。
19.所述支撑框架1包括底部框架101，所述底部框架101的上方设有安装框架102，所述底部框架101与所述安装框架102之间连接有支撑柱103，通过支撑柱103将底部框架101以及安装框架102连接成一个整体，所述安装框架102的侧壁与所述调节轴7对应的位置开设有通槽11，所述安装框架102的内部设有调节齿条12，所述调节轴7通过齿轮与所述调节齿条12啮合，通过齿轮将调节轴7与调节齿条12啮合，在调节轴7旋转时，带动滑动板4左右滑动，通过设置通槽11使得调节轴7能伸入到安装框架102的内部。
20.所述滑动板4的前端呈l型设置，所述滑动板4与所述支撑框架1滑动连接，所述调节轴7通过轴承与所述滑动板4的l型端转动连接，通过l型结构设计的滑动板4，使得l型端
能抵在安装框架102的前表面上，使得调节轴7能安装在与通槽11对应的位置。
21.所述二号固定头6通过轴承与所述辅助框架5转动连接，所述二号固定头6与所述一号固定头3位置对应设置，使得单晶硅棒旋转时，能带动二号固定头6在辅助框架5上旋转。
22.所述调节轴7通过所述通槽11伸入到所述安装框架102的内部，所述调节轴7的一端设有调节手柄13，通过旋转调节手柄13即可带动调节轴7旋转，并调整滑动板4的位置。
23.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机，其特征在于：包括支撑框架(1)，所述支撑框架(1)的上表面一端设有一号电机(2)，所述一号电机(2)的输出端设有一号固定头(3)，所述支撑框架(1)的上表面另一端设有滑动板(4)，所述滑动板(4)的上端设有辅助框架(5)，所述辅助框架(5)上设有二号固定头(6)，所述滑动板(4)上设有调节轴(7)，所述支撑框架(1)的后侧上端设有线性执行器(8)，所述线性执行器(8)的输出端通过螺栓连接有二号电机(9)，所述二号电机(9)的输出端设有打磨轮(10)。2.根据权利要求1所述的一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机，其特征在于：所述支撑框架(1)包括底部框架(101)，所述底部框架(101)的上方设有安装框架(102)，所述底部框架(101)与所述安装框架(102)之间连接有支撑柱(103)，所述安装框架(102)的侧壁与所述调节轴(7)对应的位置开设有通槽(11)，所述安装框架(102)的内部设有调节齿条(12)，所述调节轴(7)通过齿轮与所述调节齿条(12)啮合。3.根据权利要求1所述的一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机，其特征在于：所述滑动板(4)的前端呈l型设置，所述滑动板(4)与所述支撑框架(1)滑动连接，所述调节轴(7)通过轴承与所述滑动板(4)的l型端转动连接。4.根据权利要求1所述的一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机，其特征在于：所述二号固定头(6)通过轴承与所述辅助框架(5)转动连接，所述二号固定头(6)与所述一号固定头(3)位置对应设置。5.根据权利要求2所述的一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机，其特征在于：所述调节轴(7)通过所述通槽(11)伸入到所述安装框架(102)的内部，所述调节轴(7)的一端设有调节手柄(13)。

技术总结
本实用新型公开了一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机，涉及单晶硅棒生产设备技术领域，包括支撑框架，所述支撑框架的上表面一端设有一号电机，所述一号电机的输出端设有一号固定头，所述支撑框架的上表面另一端设有滑动板，所述滑动板的上端设有辅助框架，所述辅助框架上设有二号固定头，所述滑动板上设有调节轴，所述支撑框架的后侧上端设有线性执行器，所述线性执行器的输出端通过螺栓连接有二号电机，所述二号电机的输出端设有打磨轮，提升生产效率，在滚磨过程中不需要工人利用砂轮沿着单晶硅棒的轴线移动，通过线性执行器带动打磨轮移动，能对整个单晶硅棒滚磨，降低工人的劳动强度，进一步提升了滚磨效率。进一步提升了滚磨效率。进一步提升了滚磨效率。


技术研发人员：潘连胜 何翠翠 秦朗
受保护的技术使用者：锦州神工半导体股份有限公司
技术研发日：2022.02.15
技术公布日：2022/8/30