谐波除去电路、位置检测装置、磁轴承装置和真空泵的制作方法

技术特征：
1.一种谐波除去电路，从重叠有谐波信号的交流波形信号中除去所述谐波信号，其特征在于，与所述交流波形信号同步的脉冲的通电期间以所述谐波信号的正侧面积与负侧面积相等的方式被设定。2.根据权利要求1所述的谐波除去电路，其特征在于，所述脉冲的所述通电期间是以反相放大的输出、非反相放大的输出、零输出之中的任一个进行切换而生成的。3.根据权利要求1或权利要求2所述的谐波除去电路，其特征在于，所述脉冲在所述交流波形信号的半周期中由至少一个构成，该脉冲的所述通电期间朝向相位的行进方向将所述交流波形信号的峰值作为中心对称地被生成。4.根据权利要求1、2或3所述的谐波除去电路，其特征在于，所述脉冲为了除去3次谐波而由在所述交流波形信号的半周期中具有2π/3[rad]的通电期间的一个脉冲生成。5.根据权利要求1、2或3所述的谐波除去电路，其特征在于，所述脉冲为了除去5次谐波而由在所述交流波形信号的半周期中具有4π/5[rad]的通电期间的一个脉冲生成。6.根据权利要求1、2或3所述的谐波除去电路，其特征在于，所述脉冲为了除去7次谐波而由在所述交流波形信号的半周期中具有6π/7[rad]的通电期间的一个脉冲生成。7.根据权利要求1、2或3所述的谐波除去电路，其特征在于，所述脉冲为了同时除去3次和5次谐波而由在所述交流波形信号的半周期中具有2π/3[rad]的通电期间的3个脉冲生成。8.根据权利要求1、2或3所述的谐波除去电路，其特征在于，所述脉冲为了同时除去3次和7次谐波而由在所述交流波形信号的半周期中具有2π/3[rad]的通电期间的3个脉冲生成。9.根据权利要求1、2或3所述的谐波除去电路，其特征在于，所述脉冲为了同时除去3次、5次和7次谐波而由在所述交流波形信号的半周期中具有2π/3[rad]的通电期间的7个脉冲生成。10.根据权利要求1～9中任一项所述的谐波除去电路，其特征在于，在所述脉冲的所述通电期间中使用生成正弦波pwm的通电期间。11.根据权利要求2所述的谐波除去电路，其特征在于，配合所述零输出的定时来控制将电力切断接通的开关。12.一种位置检测装置，具备：位置检测部，检测目标物的位置；载波信号供应部，对该位置检测部供应载波信号；以及检波部，利用与所述载波信号同步的开关进行切换而对由所述位置检测部检测到的位置信号进行检波，其特征在于，
所述位置信号由重叠有谐波信号的交流波形信号构成，对所述开关进行驱动的脉冲的通电期间以所述谐波信号的正侧面积和负侧面积相等的方式被设定。13.一种磁轴承装置，具备：位置检测部，非接触地检测目标物的位置；磁轴承部，利用电磁铁控制所述目标物的所述位置；载波信号供应部，对所述位置检测部供应载波信号；以及检波部，利用与所述载波信号同步的开关进行切换而对由所述位置检测部检测到的位置信号进行检波，其特征在于，所述位置信号由重叠有谐波信号的交流波形信号构成，对所述开关进行驱动的脉冲的通电期间以所述谐波信号的正侧面积与负侧面积相等的方式被设定。14.一种真空泵，具备：旋转体；位置检测部，非接触地检测该旋转体的位置；磁轴承部，利用电磁铁控制所述旋转体的所述位置；载波信号供应部，对所述位置检测部供应载波信号；以及检波部，利用与所述载波信号同步的开关进行切换而对由所述位置检测部检测到的位置信号进行检波，其特征在于，所述位置信号由重叠有谐波信号的交流波形信号构成，对所述开关进行驱动的脉冲的通电期间以所述谐波信号的正侧面积与负侧面积相等的方式被设定。

技术总结
提供一种在不使用昂贵的部件的情况下除去在同步检波电路中产生的谐波而实现了低振动、低噪声的谐波除去电路、位置检测装置、磁轴承装置和真空泵。传感器载波频率的奇次谐波能够通过使同步检波电路的开关的通电期间为特定的值而从检波后的位移信号中除去。脉冲的生成方法的条件基本上以在180度 360度


技术研发人员：川岛敏明
受保护的技术使用者：埃地沃兹日本有限公司
技术研发日：2021.02.10
技术公布日：2022/8/26