换能器及其制造方法与流程

技术特征：
1.一种换能器，包括：一基板；一下电极，设置于该基板上；一绝缘层，设置于该下电极上；一牺牲图案，设置于该绝缘层上；一振荡膜，设置于该牺牲图案上，且具有多个贯孔，其中在该换能器的俯视图中，该振荡膜的该些贯孔分别位于该牺牲图案的不同的多侧；多个上电极，设置于该振荡膜上；以及一封装层，包括多个封止部，其中该些封止部分别设置于该振荡膜的该些贯孔中，且延伸至该绝缘层；该振荡膜、该封装层的该些封止部、该牺牲图案及该绝缘层定义多个子空腔，且该牺牲图案分隔该些子空腔。2.如权利要求1所述的换能器，其中在该换能器的俯视图中，该些上电极分别位于该牺牲图案的不同的该些侧。3.如权利要求1所述的换能器，其中在该换能器的一俯视图中，一虚拟直线通过该振荡膜的该些贯孔，一方向实质上平行于该虚拟直线，且该牺牲图案在该方向上的一宽度随着远离该虚拟直线而增加。4.如权利要求1所述的换能器，其中该牺牲图案具有相对的一顶面及一底面，且该牺牲图案的该顶面及该底面分别直接地接触于该振荡膜及该绝缘层。5.如权利要求1所述的换能器，其中该牺牲图案具有连接该振荡膜与该绝缘层的一侧面，且该侧面包括一曲面。6.如权利要求1所述的换能器，其中一母空腔包括该些子空腔及该牺牲图案；在该换能器的俯视图中，该母空腔大致上呈一菱形。7.如权利要求1所述的换能器，其中该牺牲图案的不同的该些侧包括互不相同的一第一侧、一第二侧、一第三侧及一第四侧，该第一侧与该第二侧相对，该第三侧与该第四侧相对；该些子空腔包括分别位于该牺牲图案的该第一侧、该第二侧、该第三侧及该第四侧的一第一子空腔、一第二子空腔、一第三子空腔及一第四子空腔。8.一种换能器的制造方法，包括：于一基板上形成一第一导电层，其中该第一导电层包括一下电极；于该第一导电层上形成一绝缘层；于该绝缘层上形成一牺牲材料层，其中该牺牲材料层包括设置于该上电极上的一牺牲区域；形成一振荡材料膜，以包覆该牺牲材料层；于该振荡材料膜上形成一第二导电层，其中该第二导电层包括多个上电极；于该振荡材料膜中形成多个贯孔，以使该振荡材料膜形成一振荡膜，其中该些贯孔分别暴露该牺牲区域的多处；令一蚀刻液进入该些贯孔，以去除对应该些贯孔的该牺牲区域的该些处，并残留该牺牲区域的一内部，其中残留的该牺牲区域的该内部称为一牺牲图案；以及于该振荡膜上形成一封装层，其中该封装层包括多个封止部，该些封止部分别设置于
该振荡膜的该些贯孔中且延伸至该绝缘层，该振荡膜、该封装层的该些封止部、该牺牲图案及该绝缘层定义多个子空腔，且该牺牲图案分隔该些子空腔。9.如权利要求8所述的换能器的制造方法，其中一虚拟直线通过该振荡膜的该些贯孔，一方向实质上平行于该虚拟直线，且该牺牲图案在该方向上的一宽度随着远离该虚拟直线而增加。10.如权利要求8所述的换能器的制造方法，其中该牺牲图案具有连接该振荡膜与该绝缘层的一侧面，且该侧面包括一曲面。

技术总结
一种换能器及其制造方法，换能器包括基板、设置于基板上的下电极、设置于下电极上的绝缘层、设置于绝缘层上的牺牲图案、设置于牺牲图案上的振荡膜。振荡膜具有多个贯孔。在换能器的俯视图中，振荡膜的多个贯孔分别位于牺牲图案的不同的多侧。多个上电极设置于振荡膜上。封装层包括多个封止部。多个封止部分别设置于振荡膜的多个贯孔中，且延伸至绝缘层。振荡膜、封装层的多个封止部、牺牲图案及绝缘层定义多个子空腔，且牺牲图案分隔多个子空腔。且牺牲图案分隔多个子空腔。且牺牲图案分隔多个子空腔。


技术研发人员：邱品翔 黄泰翔 丘炜茹 陈政翰
受保护的技术使用者：友达光电股份有限公司
技术研发日：2022.06.02
技术公布日：2022/8/22