具有高透明度和高击穿电压的钝化透明压电器件的制作方法

技术特征：
1.压电器件(2)，包括：-透明衬底(4)；-透明衬底(4)上的透明压电层(8)；-透明压电层(8)上的叉指电极(12)的透明导电层(10)；其特征在于，所述压电器件(2)还包括：-直接布置在透明压电层(8)上的透明介电层(16)，该透明介电层(16)与叉指电极(12)接触，并且具有大于3兆伏/米的介电强度；并且：透明介电层(16)在400纳米至700纳米波长范围内的折射率低于透明压电层(8)在所述波长范围内的折射率；和/或透明介电层(16)覆盖叉指电极(12)的透明导电层(10)，并且其在400纳米至700纳米波长范围内的折射率低于叉指电极(12)的透明导电层(10)在所述波长范围内的折射率。2.如权利要求1所述的压电器件(2)，其中所述叉指电极(12)的每个电极(12)包括与所述叉指电极(12)的另一个电极的对应部分(14)相邻的部分(14)，以在所述部分(14)和对应部分(14)之间形成间隙，所述透明介电层(16)在所述叉指电极之间延伸并桥接所述叉指电极。3.如权利要求1和2之一所述的压电器件(2)，其中所述透明介电层(16)在叉指电极(12)之间表现出的平均厚度是所述叉指电极(12)的平均厚度的至少80％。4.如权利要求1至3中任一项所述的压电器件(2)，其中所述叉指电极(12)的透明导电层(10)在所述波长范围内的折射率低于所述透明压电层(8)在所述波长范围内的折射率。5.如权利要求1至4中任一项所述的压电器件(2)，其中所述透明介电层(16)的厚度小于5微米和/或大于0.2微米，优选等于1微米。6.如权利要求1至5中任一项所述的压电器件(2)，其中所述透明介电层(16)是由选自双酚a酚醛环氧树脂、二氧化硅、氮化硅、sio
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、氧化铝、二氧化铪、二氧化锆的材料组成的。7.如权利要求1至6中任一项所述的压电器件(2)，其中所述叉指电极(12)的透明层(10)包括两组共面的叉指电极，每组叉指电极是一个电极，每个电极具有多个叉指形的指。8.如权利要求1至7中任一项所述的压电器件(2)，其中所述压电器件还包括垫(18)，每个垫(18)连接至叉指电极(12)的透明层(10)的电极(12)，所述垫(18)没有透明介电层(16)。9.如权利要求1至8中任一项所述的压电器件(2)，其中所述叉指电极(12)的透明层(10)是由导电透明氧化物组成的。10.如权利要求9所述的压电器件(2)，其中所述导电透明氧化物是氧化铟锡(ito)、或氧化氟锡(fto)、或掺铝氧化锌(azo)、或氧化镓铟锡(gito)、或氧化锌铟锡(zito)、或氧化镓铟(gio)，或氧化锌铟(zio)。11.如权利要求1至11中任一项所述的压电器件(2)，其中所述透明阻挡层施加在所述透明衬底与所述透明压电层之间，所述透明阻挡层(6)是由氧化镁；二氧化钛；二氧化铪；二氧化锆组成的。12.如权利要求1至11中任一项所述的压电器件(2)，其中所述透明压电层(8)是由pb(zr,ti)o3(pzt)、(k,na)nbo3、(ba,cr)(zr,ti)o3、(bi
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3-batio3、氮化铝、掺钪氮化铝、bifeo3、掺镧bifeo3、掺锰bifeo3、或它们的任何组合制成的。
13.如权利要求1至12中任一项所述的压电器件(2)，其中所述透明压电层(8)具有代表透明衬底(4)的表面的100％的表面。14.制造透明压电器件(2)的方法，包括以下步骤：-提供透明衬底(4)；-在透明衬底(4)上沉积透明压电层(8)；-在透明压电层(8)上沉积叉指电极(12)的透明层(10)，其特征在于，所述方法还包括在叉指电极(12)之间直接在透明压电层(8)上沉积具有高于3兆伏/毫米的介电强度的透明介电层(16)并使该透明介电层(16)与叉指电极(12)接触的步骤；并且其中：透明介电层(16)在400纳米至700纳米波长范围内的折射率低于透明压电层(8)在所述波长范围内的折射率；和/或透明介电层(16)覆盖叉指电极(12)的透明导电层(10)，并且其在400纳米至700纳米波长范围内的折射率低于叉指电极(12)的透明导电层(10)在所述波长范围内的折射率。15.根据权利要求14所述的方法，其中所述压电器件(2)是如权利要求1至13中任一项所述的压电器件。16.如权利要求14和15中任一项所述的方法，其中所述在透明压电层(8)上在叉指电极(12)之间沉积透明介电层(16)的步骤是通过旋涂进行的。17.如权利要求14至16中任一项所述的方法，其中所述方法还包括在沉积透明介电层(16)的步骤之后通过光刻对透明介电层(16)图案化的步骤。

技术总结
本发明涉及一种压电器件(2)，该压电器件(2)包括透明衬底(4)；衬底(4)上的透明阻挡层(6)；透明阻挡层(6)上的透明压电层(8)；透明压电层(8)上的叉指电极(12)的透明层(10)；其中所述压电器件(2)还包括至少布置在叉指电极(12)的透明层(10)的相继的指之间的压电层部分上的透明介电层(16)，所述透明介电层(16)的折射率低于叉指电极(12)的透明层(10)的折射率，并且其介电强度高于3兆伏/米。并且其介电强度高于3兆伏/米。并且其介电强度高于3兆伏/米。


技术研发人员：E.德费 S.吉罗德 S.格林塞克 A.马朱布
受保护的技术使用者：卢森堡科学技术研究院
技术研发日：2021.01.22
技术公布日：2022/8/19