高隔离度低损耗集成无源微型双工器及其应用

1.本发明涉及微波通信技术领域，尤其是指一种高隔离度低损耗集成无源微型双工器及其应用。


背景技术：

2.电子设备成为人们日常生活中不可或缺的一部分，但是随着电子设备种类的增加，也产生了一系列的问题。不同的电子设备有不同的工作频率，因此不能够共享一个公共通信通道，只能给每个设备建立单独的通信通道，但是这样会大大增加通信成本。因此为了降低通信成本，多使用双工器解决上述问题。
3.双工器是一种可以实现频分复用的无源器件，双工器通常是互易的，即器件本身没有输入或输出的概念。双工器工作时将两个端口上的频率复用到一个端口上，两个端口上的信号占用不相交的频段，所以两个端口上的信号可以在第三个端口上共存，而且不会相互干扰，因此通过双工器可以共享一个公共通信通道。双工器一般是将两个端口的频率复用到一个端口上，也可以复用到两个以上的端口，三端口到一端口的多路复用器称为三工器，四端口到一端口的多路复用器为四工器。
4.当前已经有许多种类的双工器应用于移动通信端，常见的有波导双工器、同轴双工器、介质双工器和saw双工器。其中波导双工器是最早应用到通信领域的双工器，应用较为广泛，但是其体积大、成本高且调谐非常困难；同轴双工器具有较低的功率损耗，具有很好的实用性，但是由于其体积较大，在电子设备中的应用还是比较困难，基于这个缺点，出现了改进后的螺旋形同轴双工器，使得尺寸大大减小，然而其品质因数q值也随之下降；介质双工器由介质滤波器构成，介质材料的介电常数比空气介质高出几十倍，同时可以实现小型化，提高了双工器的性能，目前使用比较广泛；saw双工器是利用压电石英晶体震荡器材料的压电效应和声表面波传播的物理特性制成的一种换能式无源带通滤波器，其可以抑制电子设备高次谐波、镜像信息、发射漏泄信号以及各类寄生杂波等问题的干扰，且可实现所需任意精度的幅频特性和相频特性的滤波。集成无源微型双工器是一种新型工艺，目前该工艺已经在微波传感器等无源器件的设计中广泛使用，因此，设计得到一种高隔离度低损耗集成无源微型双工器显得尤为重要。


技术实现要素：

5.为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术存在的问题，提出一种高隔离度低损耗集成无源微型双工器及其应用，其通过环形电感和金属-介质-金属型电容的组合设计低通滤波器和高通滤波器，通过低通滤波器和高通滤波器的组合设计微型双工器，实现了基于微波器件的高隔离度通信，可以在工作频率下实现低损耗信号传输，在提高双工器性能的同时，极大地减小了器件的尺寸；其为微型双工器在双工通信中的应用提供了一种有效的解决方案，有助于推进微型双工器在双工通信中的探索与应用。
6.为解决上述技术问题，本发明提供一种高隔离度低损耗集成无源微型双工器，包
括：
7.低通滤波器，其包括第一电感、第二电感、第一电容、第二电容、第三电容、第四电容、第一信号端口和第二信号端口，所述第一电感和第一电容并联，其一端连接第一信号端口，另一端连接第二电容并接地，且连接第二电容的该端同时连接第二电感和第三电容并联后的一端，第二电感和第三电容并联后的另一端连接第四电容并接地，且连接第四电容的该端同时连接第二信号端口；
8.高通滤波器，其包括第五电容、第六电容、第七电容、第八电容、第九电容、第三电感、第四电感和第三信号端口，所述第五电容的一端连接第一信号端口，其另一端连接第三电感和第六电容串联后的一端，且第三电感和第六电容串联后的该端同时连接第七电容的一端，所述第七电容的另一端连接第四电感和第八电容串联后的一端；且第四电感和第八电容串联后的该端连接第九电容的一端，第九电容的另一端连接第三信号端口，所述第三电感和第六电容串联后接地，所述第四电感和第八电容串联后接地；
9.其中，所述第一电容、第二电容、第三电容、第四电容、第五电容、第六电容、第七电容、第八电容和第九电容均为金属-介质-金属型电容；所述第一电感、第二电感、第三电感和第四电感均为环形电感。
10.在本发明的一个实施例中，环形电感的端口处设置有空气桥结构，空气桥结构由多层金属构成。
11.在本发明的一个实施例中，环形电感包括环形金属线和矩形金属线，在制作时，将环形金属线与矩形金属线交叉的地方断开形成间隙，在环形金属线上布局第一层金属，矩形金属线无变化，再在环形金属线上布局第二层金属并将所有的环形金属线连通，矩形金属线无变化，至此制作得到带有空气桥结构的环形电感。
12.在本发明的一个实施例中，所述金属-介质-金属型电容包括层叠设置的第一极板、介质层和第二极板。
13.在本发明的一个实施例中，所述金属-介质-金属型电容在制作时，先制作第一层金属，同时制作第一个矩形端口连接第一层金属作为第二极板，在第二极板的有效区域制作一层氮化硅作为介质层，并在氮化硅上制作第二层金属，同时制作第二个矩形端口连接第二层金属作为第一极板，至此制作得到金属-介质-金属型电容。
14.在本发明的一个实施例中，所述低通滤波器还包括第一接地块和第二接地块，所述第一电感和第一电容并联后的接地端连接第一接地块，所述第二电感和第三电容并联后的接地端连接第二接地块。
15.在本发明的一个实施例中，所述高通滤波器还包括第三接地块和第四接地块，第三电感和第六电容串联后连接第三接地块，所述第四电感和第八电容串联后连接第四接地块。
16.在本发明的一个实施例中，低通滤波器中电感值的计算公式如下：
[0017][0018]
[0019]
ωc＝2πfc[0020]
其中，l表示电感，ωc表示截止频率，γ0表示阻抗比例因子，g表示原型串-并联电感器的电感值，ωc表示角截止频率，z0表示端口阻抗，g0表示源电导，fc表示工作频率。
[0021]
在本发明的一个实施例中，低通滤波器中电容值的计算公式如下：
[0022][0023][0024]
ωc＝2πfc[0025]
其中，c表示电容，ωc表示截止频率，g表示原型串-并联电容器的电容值，γ0表示阻抗比例因子，ωc表示角截止频率，z0表示端口阻抗，g0表示源电导，fc表示工作频率。
[0026]
在本发明的一个实施例中，高通滤波器中电感值的计算公式如下：
[0027][0028]
其中，l表示电感，γ0表示阻抗比例因子，ωc表示角截止频率，ωc表示截止频率，g表示原型并-串联电感器的电感值。
[0029]
在本发明的一个实施例中，高通滤波器中电容值的计算公式如下：
[0030][0031]
其中，c表示电容，ωc表示截止频率，γ0表示阻抗比例因子，ωc表示角截止频率，g表示原型并-串联电容器的电容值。
[0032]
此外，本发明还提供一种如上述所述的高隔离度低损耗集成无源微型双工器在双工通信中的应用。
[0033]
本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[0034]
1.本发明通过环形电感和金属-介质-金属型电容的组合设计低通滤波器和高通滤波器，通过低通滤波器和高通滤波器的组合设计微型双工器，实现了基于微波器件的高隔离度通信，可以在工作频率下实现低损耗信号传输，在提高双工器性能的同时，极大地减小了器件的尺寸；
[0035]
2.本发明为微型双工器在双工通信中的应用提供了一种有效的解决方案，有助于推进微型双工器在双工通信中的探索与应用。
附图说明
[0036]
为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据本发明的具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明。
[0037]
图1为本发明集成无源微型双工器的等效电路图；
[0038]
图2为本发明集成无源微型双工器的平面版图结构示意图；
[0039]
图3为本发明集成无源微型双工器的局部结构示意图；
[0040]
图4为本发明集成无源微型双工器的s参数测试图；
[0041]
图5为本发明低通滤波器的平面版图结构示意图；
[0042]
图6为本发明低通滤波器的s参数测试图；
[0043]
图7为本发明高通滤波器的平面版图结构示意图；
[0044]
图8为本发明高通滤波器的s参数测试图。
[0045]
其中，附图标记说明如下：1、电感；2、电容；3、接地块；4、信号端口；5、第一极板；6、介质层；7、第二极板；8、空气桥结构。
具体实施方式
[0046]
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
[0047]
请参阅图1至图3所示，本发明实施例提供一种高隔离度低损耗集成无源微型双工器，包括低通滤波器和高通滤波器，低通滤波器包括两个电感1、四个电容2、两个接地块3和两个信号端口4；高通滤波器包括五个电容2、两个电感1、两个接地块3和一个信号端口4；电容2均为金属-介质-金属型电容，电感1均为环形电感，环形电感的端口处设置有由多层金属构成的空气桥结构8。
[0048]
具体地，低通滤波器中电感从左向右依次记为第一电感l1和第二电感l2，电容从左向右依次记为第一电容c1、第二电容c2、第三电容c3和第四电容c4，信号端口从左向右依次记为第一信号端口port1和第二信号端口port2，所述第一电感l1和第一电容c1并联，其一端连接第一信号端口port1，另一端连接第二电容c2并连接第一接地块，且连接第二电容c2的该端同时连接第二电感l2和第三电容c3并联后的一端，第二电感l2和第三电容c3并联后的另一端连接第四电容c4并连接第二接地块，且连接第四电容c4的该端同时连接第二信号端口port2；高通滤波器中电感依次记为第三电感l3和第四电感l4，电容依次记为第五电容c5、第六电容c6、第七电容c7、第八电容c8和第九电容c9，所述第五电容c5的一端连接第一信号端口port1，其另一端连接第三电感l3和第六电容c6串联后的一端，且第三电感l3和第六电容c6串联后的该端同时连接第七电容c7的一端，所述第七电容c7的另一端连接第四电感l4和第八电容c8串联后的一端；且第四电感l4和第八电容c8串联后的该端连接第九电容c9的一端，第九电容c9的另一端连接第三信号端口port3，所述第三电感l3和第六电容c6串联后连接第三接地块，所述第四电感l4和第八电容c8串联后连接第四接地块。
[0049]
其中，所述第一电容c1、第二电容c2、第三电容c3、第四电容c4、第五电容c5、第六电容c6、第七电容c7、第八电容c8和第九电容c9均为金属-介质-金属型电容2；所述第一电感l1、第二电感l2、第三电感l3和第四电感l4均为环形电感1，环形电感1的端口处设置有由多层金属构成的空气桥结构8。
[0050]
本发明通过环形电感1和金属-介质-金属型电容2的组合设计低通滤波器和高通滤波器，通过低通滤波器和高通滤波器的组合设计微型双工器，实现了基于微波器件的高隔离度通信，可以在工作频率下实现低损耗信号传输，在提高双工器性能的同时，极大地减小了器件的尺寸。
[0051]
本实施例提出的微型双工器，其采用集成无源器件的加工工艺设计金属传输线、环形电感1、以及金属-介质-金属型电容2，结合空气桥结构8和优化后的并-串联连接方式，
提高了双工器的集成度，可以在很大程度上减小器件的尺寸，其由椭圆函数原型滤波器变换而来的低通滤波器和高通滤波器组成，其中椭圆函数原型低通滤波器的电感值和电容值可以通过下面的等式确定，
[0052][0053][0054][0055]
ωc＝2πfc[0056]
其中，l表示电感，c表示电容，ωc表示截止频率，γ0表示阻抗比例因子，求解电感公式中的g表示原型串-并联电感器的电感值，求解电容公式中的g表示原型串-并联电容器的电容值，ωc表示角截止频率，z0表示端口阻抗，g0表示源电导，fc表示工作频率。
[0057]
椭圆函数原型高通滤波器的电感值和电容值可以通过下面的等式确定，
[0058][0059][0060]
其中，l表示电感，c表示电容，γ0表示阻抗比例因子，ωc表示角截止频率，ωc表示截止频率，求解电感公式中的g表示原型并-串联电感器的电感值，求解电容公式中的g表示原型并-串联电容器的电容值。
[0061]
该微型双工器的平面版图结构示意图如图2所示，其整体包括低通滤波器和高通滤波器，在整个器件的结构中采用环形电感1数量少的谐振方式来减小器件的尺寸；在单个器件的结构中，环形电感1的端口处设计多层金属形成空气桥结构8，实现了器件的立体化设计，减小了设计的误差，同时为器件的三维重叠设计提供了新思路，有望将微波无源器件的体积进一步缩小。该集成无源微型双工器的局部结构示意图如图3所示，展示了环形电感1端口处的空气桥结构8，之所以在两个端口处都采用空气桥结构8是为了对环形电感1与金属-介质-金属型电容2并联的连接方式进行优化，将电容2连接在电感1线圈内部，充分利用空间，缩短了金属线的长度，减小了低通滤波器的局部尺寸，进而减小了双工器的尺寸，提高了双工器的集成度。
[0062]
图1为本发明集成无源微型双工器的等效电路图，低通滤波器接通了信号端口port1和信号端口port2，其中电感l1和电容c1并联之后一端接信号端口port1，另一端接电容c2接地，同时接电感l2和电容c3并联后的一端，电感l2和电容c3并联后的另一端接电容c4接地，同时接信号端口port2；高通滤波器接通了信号端口port1和信号端口port3，其中电容c5一端接信号端口port1，另一端接电感l3和电容c6串联再接地，同时接电容c7的一端，电容c7的另一端接电感l4和电容c8串联再接地，同时接电容c9的一端，电容c9的另一端接信号端口port2。工作时低频信号在信号端口1、2之间进行通信，高频信号在信号端口1、3
之间进行通信，互不干扰。
[0063]
本发明集成无源微型双工器的s参数测试图如图4所示，由s参数测试图可知在0.9ghz和1.8ghz的频率下，双工器的插入损耗即s21和s31非常小，说明在这两个工作频率下通信性能非常好，几乎可以全部通过，同时双工器的回波损耗即s11比较大，说明在这两个工作频率下绝大部分信号都能够通过信号端口port2和信号端口port3，几乎没有信号返回到信号端口port1，即设计的双工器具有低损耗的特点。双工器的隔离度即s32比较大，说明在这两个工作频率下信号端口port2和信号端口port3之间几乎没有信号通过，在双工器的设计过程中，对低通滤波器进行了改进，省略了信号端口port1与低通滤波器之间的一个电容，这样可以增加信号端口port2和信号端口port3之间的隔离度，使得两个端口之间互不影响，互不干扰，以使双工器具有高隔离度的特点。
[0064]
上述低通滤波器的设计方法如下：
[0065]
为了减小设计误差，方便电路的连接，本发明给环形电感1线圈的内部接口设计了空气桥结构8，在不影响环形电感1感值的基础上，将其无接触的连接到线圈外部，减小了环形电感1在使用过程中可能产生的误差。
[0066]
低通滤波器接通了信号端口port1和信号端口port2，其中电感l1和电容c1并联之后一端接信号端口port1，另一端接电容c2接地，同时接电感l2和电容c3并联后的一端，电感l2和电容c3并联后的另一端接电容c4接地，同时接信号端口port2。其中电感l1由6.375匝环形金属线组成，单根线宽15μm，线间距15μm，内径50μm，外径230μm。电感l2由4.5匝环形金属线组成，单根线宽15μm，线间距15μm，内径125μm，外径245μm。电容c1的有效面积为25
×
25.158μm，电容c2的有效面积为200
×
83.438μm，电容c3的有效面积为25
×
72.982μm，电容c4的有效面积为100
×
92.099μm，电容两端的线宽均为20μm。在电容c2和电容c4的接地处设计有一个100
×
100μm的方块，方便将其进行接地，上述数值的确定能够提升电感的品质因数，降低电容的损耗。
[0067]
在这个低通滤波器的设计中省略了其中一个电容接地的结构，通过这个设计可以增加信号端口port2和信号端口port3之间的隔离度，提高双工器的性能，能够将其应用到更复杂、要求更高的环境中。为了解决双工器体积太大的问题，本发明通过空气桥结构8对电容2与电感1并联的连接方式做出了改进，提供了一种把电容2设计在环形电感1中间空白区域的连接方式，可以将低通滤波器的体积减小一半，同时减小双工器的尺寸。
[0068]
环形电感1与空气桥的设计方法：先在砷化镓基板上制作环形电感1的地方布局一层5μm的金属，把环形金属线与矩形金属线交叉的地方断开，形成一个间隙，接下来只在环形金属线上布局一层3μm的金属，矩形金属线没有变化，最后在环形金属线上再布局一层2μm的金属并将所有的环形金属线连通，矩形金属线没有变化，至此带有空气桥的环形电感1即设计完成，同时该方法适用于所有形状的环形电感1，不仅限于圆形，矩形、正方形、多边形等都可以采用这种方法。此设计可以减小双工器的尺寸，同时给环形电感与金属-介质-金属型电容的并联连接提供了一种新的连接方式。
[0069]
上述高通滤波器的设计方法如下：
[0070]
高通滤波器接通了信号端口port1和信号端口port3，其中电容c5一端接信号端口port1，另一端接电感l3和电容c6串联再接地，同时接电容c7的一端，电容c7的另一端接电感l4和电容c8串联再接地，同时接电容c9的一端，电容c9的另一端接信号端口port2。其中
电感l3由3.25匝环形金属线组成，单根线宽15μm，线间距15μm，内径100μm，外径190μm。电感l4由3.5匝环形金属线组成，单根线宽15μm，线间距15μm，内径100μm，外径190μm。电容c5的有效面积为56.267
×
100μm，电容c6的有效面积为235
×
223.572μm，电容c7的有效面积为50
×
67.608μm，电容c8的有效面积为200
×
137.56μm，电容c9的有效面积为100
×
60.695μm，电容两端的线宽均为20μm。在电容c6和电容c8的接地处设计有一个100
×
100μm的方块，方便将其进行接地，上述数值的确定能够提升电感的品质因数，降低电容的损耗。
[0071]
金属-介质-金属型电容2的设计方法：先在砷化镓基板上布局一层5μm的金属，同时布局一个矩形端口连接在一起作为电容2的第二极板7(下极板)，接下来在第二极板7的有效区域布局一层氮化硅作为电容2的介质层6，最后在氮化硅上面布局一层5μm的金属，同时生长一个矩形端口连接在一起作为电容2的第一极板5(上极板)，至此金属-介质-金属结构的三维立体电容2即设计完成，同时该方法适用于所有形状的金属-介质-金属型电容2，不仅限于矩形，圆形、菱形、多边形等都可以采用这种方法。
[0072]
上述低通滤波器和高通滤波器组合在一起即可构成本发明提出的高隔离度低损耗集成无源微型双工器，在整体设计中，传输线的宽度均为20μm，每个信号端口处的尺寸为100
×
137.604μm，这个尺寸是由仿真软件advanced design system 2020计算得到的，此尺寸可以更好地进行50ω匹配，方便该器件与其他器件进行组合，可以直接连接在一起，由此引起的误差非常小，可以忽略不计。
[0073]
在一个优选的实施方案中，图5所示为本发明低通滤波器的平面版图结构示意图，所述低通滤波器包括两个环形电感1、五个金属-介质-金属型电容2、三个接地块3以及两个信号端口4，其结构采用串-并联谐振的方式，可以减少电路中电感的个数，进而减小低通滤波器的整体尺寸，同时在支路并联电容2得到传输零点，保证在高频的情况下谐振时产生较大串联阻抗阻止信号传输。
[0074]
其中低通滤波器的电感值和电容值可以通过上述等式计算确定，低通滤波器中被省略的电容值为3.46pf，电容c1：0.23pf，电容c2：5.71pf，电容c3：0.64pf，电容c4：3.11pf，电感l1：10.29nh，电感l2：9.1nh。在图5的平面版图结构示意图中，电容采用金属-介质-金属型的结构，低通滤波器中被省略的电容结构尺寸为53
×
203μm，电感采用圆形环形电感的结构，线宽和线间隔都为15μm。优选这些数值可以减小低通滤波器的插入损耗，保证信号尽可能完全通过；增大低通滤波器的回波损耗，尽可能减少信号从输入端口返回；增大了双工器的隔离度。
[0075]
低通滤波器的频率响应结果如图6所示，传输极点分别为0.615ghz、0.957ghz，传输零点分别为2.085ghz、3.272ghz，传输极点的位置可以保证低通滤波器在0.9ghz的频率下正常工作，同时传输零点可以在高频时阻止信号传输，该低通滤波器可以实现一个五阶低通频率响应，性能比较好。0.9ghz的频率波段在无线电磁波通信中应用极为广泛，自最初的gsm通信系统以来，一直沿用至今。从无线通信的1g到现在的5g，再到未来的6g，使用的无线电磁波的频率在不断升高，频段在不断地扩宽，但是最初的波段也一直被沿用下来，因此该低通滤波器在无线电磁波通信领域有很大的应用前景。该低通滤波器还可以用于过滤来自电路的高频噪声信号，当信号通过该低通滤波器时，高频信号可以被阻断消除。
[0076]
在一个优选的实施方案中，图7所示为本发明的高通滤波器的平面版图结构示意图，所述高通滤波器包括两个环形电感1、五个金属-介质-金属型电容2、两个接地块3以及
两个信号端口4。高通滤波器的设计是由低通滤波器结构中电感1与电容2元件逆变换得到的，所以为了减少电路中电感1元件的个数，减小整体器件的尺寸，电路的设计采用了并-串联谐振的方式，在变换之后，由五个电感1变成两个电感1，同时并联电感1与电容2结构得到传输零点，保证在低频的情况下谐振时产生较大并联阻抗阻止信号传输，组成五阶椭圆函数高通滤波器。
[0077]
其中高通滤波器的电感值和电容值可以通过上述等式计算确定，高通滤波器中各器件取值如下，电容c5：1.95pf，电容c6：28.99pf，电容c7：1.18pf，电容c8：10.59pf，电容c9：2.17pf，电感l3：4.1nh，电感l4：4.64nh。优选这些数值可以减小高通滤波器的插入损耗，保证信号尽可能完全通过；增大高通滤波器的回波损耗，尽可能减少信号返回到输入端口；优化了传输零点的性能，提高了双工器的隔离度。
[0078]
高通滤波器的频率响应结果如图8所示，传输极点分别为1.569ghz、2.435ghz，传输零点分别为0.462ghz、0.718ghz，传输极点的位置可以保证高通滤波器1.8ghz的频率下正常工作，同时传输零点可以在低频时阻止信号传输，该高通滤波器可以实现一个五阶高通频率响应，灵敏度高，性能好。1.8ghz频段无线通信在自动化配电领域发挥了重大作用，国内无线电频率应用主要分为三个波段：0.223-0.235ghz、1.427-1.525ghz以及1.785-1.805ghz，其中0.223-0.235ghz由电网公司以25khz为一个频点进行数据传输；1.427-1.525ghz中的部分频点被部分电网公司作为微波使用；1.785-1.805ghz只有一些零星波段被应用。电力无线宽带专网覆盖的范围与110kv变电站的供电范围基本吻合，而且国内已经建成了基于1.8ghz的td-lte无线通信网络，是电力行业规模最大的无线宽带，覆盖了密集城区、郊区的空旷区域以及应急演练点等场景。因此所述性能优化后的1.8ghz高通滤波器在电力无线通信技术中有很大的应用前景，可以进一步增大区域覆盖的范围、提高电网通信的稳定度。
[0079]
相应于上述高隔离度低损耗集成无源微型双工器的实施例，本发明实施例还提供一种高隔离度低损耗集成无源微型双工器在双工通信中的应用。
[0080]
在一个优选的实施方案中，本发明利用集成无源器件加工工艺设计了一种微型五阶双工器，双工器允许在单个路径进行双向(双工)通信，在雷达和无线电通信系统中，它将接收器与发射器隔离，同时允许它们共享一个公共天线，它可以在很多无线电中继器系统中发挥作用，基于频率、极化或定时进行工作。本发明设计的双工器可以由一个五阶椭圆函数低通滤波器和一个五阶椭圆函数高通滤波器组成，以隔离接收器与发射器。总电路尺寸为2236
×
1966μm，工作频率为0.9ghz和1.8ghz，两个工作频段的插入损耗为0.003db和0.001db，插入损耗是在工作频率对应的信号通道中，通带频点对有用信号的损耗，损耗越小带内波动越小信号更容易通过，此设计的损耗均小于0.01db实现了低损耗的目标；隔离度分别为39.439db和43.197db，隔离度是指低通滤波器与高通滤波器的阻带衰减量，一般双工器的接收通道和发射通道中的阻带衰减量是相当的，隔离度小的条件下，信号会两个通道中通过，隔离度大的条件下，信号只会通过自己的通道，此设计的隔离度均大于35db实现了高隔离度的目标，能够在很大程度上提高双工器的工作效率。本发明利用集成无源器件的加工工艺，可以极大地减小无源器件的尺寸，环形电感和金属-介质-金属型电容的组合增大了设计精度和设计灵活性，结构稳定，受环境影响较小，在一定程度上实现了三维立体型设计，可以通过跳线很容易地和其他器件集成，有利于提高射频电路的集成度，增大其
性能。
[0081]
本发明提出的一种高隔离度低损耗集成无源微型双工器在应用于双工通信时，本发明为微型双工器在双工通信中的应用提供了一种有效的解决方案，有助于推进微型双工器在双工通信中的探索与应用。
[0082]
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。