一种三束同时辐照装置及其方法与流程

技术特征：
1.一种三束同时辐照装置，其特征在于，其包括离子源子系统、初阶加速子系统、第二阶加速子系统和靶室子系统，所述离子源子系统、所述初阶加速子系统和所述第二阶加速子系统依序连接，所述靶室子系统均与所述初阶加速子系统和所述第二阶加速子系统连接；所述离子源子系统包括一个ecr离子源部件，所述ecr离子源部件产生至少三种多电荷态离子以及h

和h
2
两种单电荷态离子；所述初阶加速子系统包括与所述ecr离子源部件连接的初阶加速管部件以及与所述初阶加速管部件连接的低能静电分析器或磁分析器部件，所述靶室子系统对经过所述低能静电分析器或磁分析器部件的低能量离子进行束流测量与辐照；所述第二阶加速子系统包括与所述低能静电分析器或磁分析器部件连接的第二阶加速管部件以及与所述第二阶加速管部件连接的90
°
磁分析器部件，所述靶室子系统对经过所述90
°
磁分析器部件的高能量离子进行束流测量与样品辐照。2.根据权利要求1所述的三束同时辐照装置，其特征在于，所述靶室子系统包括第一靶室和第二靶室；所述初阶加速子系统还包括均与所述低能静电分析器或磁分析器部件连接的第一条束流管道和第二条束流管道，所述第一条束流管道与第一靶室连接，第二条束流管道与第二靶室连接。3.根据权利要求1所述的三束同时辐照装置，其特征在于，所述靶室子系统还包括第三靶室和第四靶室；所述第二阶加速子系统还包括均与所述90
°
磁分析器部件连接的第三条束流管道和第四条束流管道，所述第三条束流管道与第三靶室连接，第四条束流管道与第四靶室连接。4.根据权利要求3所述的三束同时辐照装置，其特征在于，所述第二阶加速子系统还包括安装在所述第三条束流管道和第四条束流管道之间的高能静电分析器或磁分析器。5.根据权利要求3所述的三束同时辐照装置，其特征在于，所述初阶加速子系统还包括包裹所述ecr离子源部件的第一高压台架部件。6.根据权利要求5所述的三束同时辐照装置，其特征在于，所述第二阶加速子系统还包括包裹第一高压台架部件、初阶加速管部件和低能静电分析器或磁分析器部件的第二高压台架部件。7.根据权利要求1所述的三束同时辐照装置，其特征在于，还包括第三阶加速子系统、第四阶加速子系统、
…
以及第n阶加速子系统，其中n≥2，每个加速子系统均与靶室子系统连接。8.用于权利要求1-7任一所述的三束同时辐照装置的辐射方法，其特征在于，包括如下步骤：s1：ecr离子源部件产生至少三种多电荷态离子和h

和h
2
两种单电荷态离子；s2：所述离子经初阶加速管部件进行加速，经加速后的离子经低能静电分析器或磁分析器部件注入第二阶加速管部件进行加速，同时所述低能静电分析器或磁分析器部件选择低能量离子进入第一靶室和第二靶室进行束流测量与辐照；s3：经所述第二阶加速管部件加速后的离子进入90
°
磁分析器部件，所述90
°
磁分析器部件选择高能量离子进入第三靶室和第四靶室进行束流测量与辐照。9.根据权利要求8所述的三束同时辐照方法，其特征在于，s2中，第一靶室对低能量的h

进行束流测量与样品辐照，第二靶室对低能量的h
2
与4he
2
两种离子的辐照或者对h
2
、4he
2
和重离子三束辐照。10.根据权利要求8所述的三束同时辐照方法，其特征在于，其中，s3中，第三靶室对较高能量的h

进行束流测量与样品辐照；第四靶室对较高能量的h
2
与4he
2
两种离子或者对h
2
、4he
2
和重离子的三束辐照。

技术总结
本发明提供一种三束同时辐照装置及其方法，三束同时辐照装置包括离子源子系统、初阶加速子系统、第二阶加速子系统和靶室子系统，所述离子源子系统、所述初阶加速子系统和所述第二阶加速子系统依序连接，所述靶室子系统均与所述初阶加速子系统和所述第二阶加速子系统连接。本发明采用多电荷态的ECR离子源部件能同时产生质子(H)、阿尔法(4He


技术研发人员：姜山 姬卿
受保护的技术使用者：启先核（北京）科技有限公司
技术研发日：2021.02.09
技术公布日：2022/8/15