温湿度传感器的校准系统的制作方法

1.本发明涉及海洋温湿度芯片检测设备技术领域。


背景技术：

2.目前的海洋温湿度芯片检测的过程中，工作效率比较慢，因为需要比较苛刻的湿度条件，而在调节湿度环境的过程需要比较漫长的时间，那么就对工作效率来说是不利的，因为芯片的数量比较多，而由不希望过多的采购资金。
3.高精度的海洋温湿度芯片需要更加严格的检测条件，传统的检测设备均因为检测精度不够导致不能够很好的评价海洋温湿度芯片的性能，因此出货的水准不高，且不稳定。因此需要在海洋温湿度芯片检测设备中进行改进，以提高温度控制模块的温度控制精度，减轻温度误差大导致检测不准的问题。


技术实现要素：

4.本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供温湿度传感器的校准系统，其能够提供预设温度和湿度的校准空间，结构简单，成本低，效率高，使用方便的优点。
5.本发明所采用的技术方案是：
6.温湿度传感器的校准系统，其包括控制器、温度控制模块和湿度控制模块；控制器均电性连接于温度控制模块和湿度控制模块；
7.其中，温度控制模块包括：
8.外壳，其内部设有第一空间；第一空间设有四个自下而上依次排布的小空间；相邻两个小空间之间设有隔离板，共设有三个隔离板，三个隔离板自下而上分布，分别为第一隔离板、第二隔离板及第三隔离板；每个格力板内部均设有第一真空腔体；四个小空间分别为小空间一、小空间二、小空间三级小空间四；控制器固定安装在外壳上；
9.第一水箱，其设于小空间一内部，其设于第一隔离板上；第一水箱内部设有第一空腔，且第一水箱的侧壁内部设有第二真空腔体；
10.第一加热器，其固定安装在第一水箱内部，其与控制器电性连接；
11.第一温度传感器，其固定安装在第一水箱内部，其与控制器电性连接；
12.第一插管，其一端设于第一水箱内部，其另一端设于第一水箱外部；
13.第一水泵，其与第一插管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
14.第一连接管，其一端与第一水泵相连通；
15.第一电磁阀，其一端与第一连接管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
16.第一分支管，其一端与第一电磁阀的另一端相连通；
17.汇合管，其与第一分支管相连通；
18.第二水箱，其设于小空间二内部，其设于第二隔离板上；第二水箱内部设有第二空腔，且第二水箱的侧壁内部设有第三真空腔体；
19.第二加热器，其固定安装在第二水箱内部，其与控制器电性连接；
20.第二温度传感器，其固定安装在第二水箱内部，其与控制器电性连接；
21.第二插管，其一端设于第二水箱内部，其另一端设于第二水箱外部；
22.第二水泵，其与第二插管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
23.第二连接管，其一端与第二水泵相连通；
24.第二电磁阀，其一端与第二连接管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
25.第二分支管，其一端与第二电磁阀的另一端相连通；第一分支管与汇合管相连通；
26.第三水箱，其设于小空间三内部，其设于第三隔离板上；第三水箱内部设有第三空腔，且第三水箱的侧壁内部设有第三真空腔体；
27.第三加热器，其固定安装在第三水箱内部，其与控制器电性连接；
28.第三温度传感器，其固定安装在第三水箱内部，其与控制器电性连接；
29.第三插管，其一端设于第三水箱内部，其另一端设于第三水箱外部；
30.第三水泵，其与第一插管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
31.第三连接管，其一端与第三水泵相连通；
32.第三电磁阀，其一端与第三连接管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
33.第三分支管，其一端与第三电磁阀的另一端相连通；第三分支管与汇合管相连通；
34.第四水箱，其设于小空间四内部，其设于外壳底部；第四水箱内部设有第四空腔，且第四水箱的侧壁内部设有第四真空腔体；
35.第四加热器，其固定安装在第四水箱内部，其与控制器电性连接；
36.第四温度传感器，其固定安装在第四水箱内部，其与控制器电性连接；
37.第四插管，其一端设于第四水箱内部，其另一端设于第四水箱外部；
38.第四水泵，其与第四插管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
39.第四连接管，其一端与第四水泵相连通；
40.第四电磁阀，其一端与第四连接管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
41.第四分支管，其一端与第四电磁阀的另一端相连通；第四分支管与汇合管相连通；
42.总管，其一端与汇合管相连通；
43.第五电磁阀，其一端与总管的另一端相连通；
44.三通接头，其设有第一接口、第二接口及第三接口；三通接头的一接口与第五电磁阀的另一端相连通；三通接头的第二接头连接有排水管二；三通阀的第三接头连接有第六电磁阀；第五电磁阀和第六电磁阀均电性连接于控制器；
45.进水管，其一端与第六电磁阀的另一端相连通；
46.检测腔体，其内部设有工件放置空间，其侧壁内部设有第五真空腔体；第五真空腔体与进水管的另一端相连通；
47.排水管一，其一端与第五真空腔体相连通；
48.其中，湿度控制模块包括：
49.机架；
50.第一电机，其固定安装在机架上，其与控制器电性连接；
51.转盘，其与第一电机传动连接；
52.第一检测壳体，其内部设有第一工件放置空间；其侧壁内部设有真空结构；
53.第一滤网，其呈筒状，其侧壁设有若干第一气孔；
54.第二电机，其固定安装在第一检测壳体上端，且其与第一滤网传动连接，其与控制器电性连接；
55.第一湿度传感器，其与控制器电性连接，其设于第一工件放置空间，其固定安装在第一检测壳体上；
56.第一喷嘴，其设于第一工件放置空间内，其固定安装在第一检测壳体上，其设于第一滤网外部，第一滤网内部设有空间一；
57.第二喷嘴，其设于第一工件放置空间内，其固定安装在第一检测壳体上，其设于第一滤网外部；
58.第一输送管，其一端与第一喷嘴相连通；
59.第二输送管，其一端与第二喷嘴相连通；
60.第一抽空管，其一端与第一检测壳体内部的第一工件检测空间相连通；
61.抽真空泵，其与第一抽空管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
62.高压泵，其与第一输送管的另一端和第二输送管的另一端相连通；
63.第二检测壳体，其内部设有第二工件放置空间；其侧壁内部设有真空结构；
64.第二滤网，其呈筒状，其侧壁设有若干第二气孔；
65.第三电机，其固定安装在第二检测壳体上端，且其与第二滤网传动连接，其与控制器电性连接；
66.第二湿度传感器，其与控制器电性连接，其设于第二工件放置空间，其固定安装在第二检测壳体上；
67.第三喷嘴，其设于第二工件放置空间内，其固定安装在第二检测壳体上，其设于第二滤网外部，第二滤网内部设有空间二；
68.第四喷嘴，其设于第二工件放置空间内，其固定安装在第二检测壳体上，其设于第二滤网外部；
69.第三输送管，其一端与第三喷嘴相连通；
70.第四输送管，其一端与第四喷嘴相连通；
71.第二抽空管，其一端与第二检测壳体内部的第二工件检测空间相连通；抽真空泵与第二抽空管的另一端相连通。
72.转盘为圆形转盘。
73.也就是通过采用双工位的设计，使得一个检测壳体正在检测的时候，可以拿出已经检测好的芯片，同时将准备检测的芯片放入设备内部进行检测，滤网内部就是检测芯片放置的位置空间，大大提高了检测速度。控制器控制高压泵将水通过喷嘴往工件检测空间喷射，控制器控制第二电机/第三电机旋转，使得第一滤网/第二滤网旋转，也就是避免喷嘴直接喷向芯片，同时具有进一步分散水分的作用，滤网在旋转的过程中，使得水分分布更加均匀。控制器通过控制抽空泵将工件检测空间的湿度抽离。控制器通过湿度传感器检测内部的湿度数值。
74.进一步，因为第一工件检测空间/第二工件检测空间的侧壁均采用真空结构，因为不受外部温度的影响，也就不会出现水分液化影响内部湿度的情况。
75.控制器通过第一加热器对第一水箱内部的水进行加热，控制器通过第一温度传感器探测第一水箱内部的温度。控制器控制第一水泵工作，将第一水箱的水抽取出来，水依次
经过第一插管、第一水泵、第一连接管、第一电磁阀、第一分支管、汇合管、总管、第五电磁阀及三通接头的第二接头，先预先排一定的水，将整个管路的温度更加接近第一水箱内部的温度；也就是先排水一定时间，然后控制器控制第七电磁阀关闭，水就不能够从排水管二排出，同时控制控制第六电磁阀打开，使得水从进水管进入检测腔体内部，最后经过排水管一流出。
76.进一步，排水管的另一端连通有第八电磁阀，控制器控制器第八电磁阀的启闭来实现是否继续排水。
77.第二水箱、第三水箱及第四水箱均采用同样的方式进行工作，不同水箱内部的温度可以设定好。
78.控制器还电性连接有显示屏和输入模块。
79.本发明的有益效果是：能够提供预设温度和湿度的校准空间，结构简单，成本低，效率高，使用方便的优点。
附图说明
80.图1是本发明的原理示意图；
81.图2是本发明的湿度控制模块原理示意图；
82.图3是本发明的温度控制模块示意图。
具体实施方式
83.如图1、图2、图3所示，本发明温湿度传感器的校准系统，其包括控制器、温度控制模块和湿度控制模块；控制器均电性连接于温度控制模块和湿度控制模块；
84.其中，温度控制模块包括：
85.外壳，其内部设有第一空间；第一空间设有四个自下而上依次排布的小空间；相邻两个小空间之间设有隔离板，共设有三个隔离板，三个隔离板自下而上分布，分别为第一隔离板、第二隔离板及第三隔离板；每个格力板内部均设有第一真空腔体；四个小空间分别为小空间一、小空间二、小空间三级小空间四；控制器固定安装在外壳上；
86.第一水箱，其设于小空间一内部，其设于第一隔离板上；第一水箱内部设有第一空腔，且第一水箱的侧壁内部设有第二真空腔体；
87.第一加热器，其固定安装在第一水箱内部，其与控制器电性连接；
88.第一温度传感器，其固定安装在第一水箱内部，其与控制器电性连接；
89.第一插管，其一端设于第一水箱内部，其另一端设于第一水箱外部；
90.第一水泵，其与第一插管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
91.第一连接管，其一端与第一水泵相连通；
92.第一电磁阀，其一端与第一连接管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
93.第一分支管，其一端与第一电磁阀的另一端相连通；
94.汇合管，其与第一分支管相连通；
95.第二水箱，其设于小空间二内部，其设于第二隔离板上；第二水箱内部设有第二空腔，且第二水箱的侧壁内部设有第三真空腔体；
96.第二加热器，其固定安装在第二水箱内部，其与控制器电性连接；
97.第二温度传感器，其固定安装在第二水箱内部，其与控制器电性连接；
98.第二插管，其一端设于第二水箱内部，其另一端设于第二水箱外部；
99.第二水泵，其与第二插管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
100.第二连接管，其一端与第二水泵相连通；
101.第二电磁阀，其一端与第二连接管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
102.第二分支管，其一端与第二电磁阀的另一端相连通；第一分支管与汇合管相连通；
103.第三水箱，其设于小空间三内部，其设于第三隔离板上；第三水箱内部设有第三空腔，且第三水箱的侧壁内部设有第三真空腔体；
104.第三加热器，其固定安装在第三水箱内部，其与控制器电性连接；
105.第三温度传感器，其固定安装在第三水箱内部，其与控制器电性连接；
106.第三插管，其一端设于第三水箱内部，其另一端设于第三水箱外部；
107.第三水泵，其与第一插管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
108.第三连接管，其一端与第三水泵相连通；
109.第三电磁阀，其一端与第三连接管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
110.第三分支管，其一端与第三电磁阀的另一端相连通；第三分支管与汇合管相连通；
111.第四水箱，其设于小空间四内部，其设于外壳底部；第四水箱内部设有第四空腔，且第四水箱的侧壁内部设有第四真空腔体；
112.第四加热器，其固定安装在第四水箱内部，其与控制器电性连接；
113.第四温度传感器，其固定安装在第四水箱内部，其与控制器电性连接；
114.第四插管，其一端设于第四水箱内部，其另一端设于第四水箱外部；
115.第四水泵，其与第四插管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
116.第四连接管，其一端与第四水泵相连通；
117.第四电磁阀，其一端与第四连接管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
118.第四分支管，其一端与第四电磁阀的另一端相连通；第四分支管与汇合管相连通；
119.总管，其一端与汇合管相连通；
120.第五电磁阀，其一端与总管的另一端相连通；
121.三通接头，其设有第一接口、第二接口及第三接口；三通接头的一接口与第五电磁阀的另一端相连通；三通接头的第二接头连接有排水管二；三通阀的第三接头连接有第六电磁阀；第五电磁阀和第六电磁阀均电性连接于控制器；
122.进水管，其一端与第六电磁阀的另一端相连通；
123.检测腔体，其内部设有工件放置空间，其侧壁内部设有第五真空腔体；第五真空腔体与进水管的另一端相连通；
124.排水管一，其一端与第五真空腔体相连通；
125.其中，湿度控制模块包括：
126.机架；
127.第一电机，其固定安装在机架上，其与控制器电性连接；
128.转盘，其与第一电机传动连接；
129.第一检测壳体，其内部设有第一工件放置空间；其侧壁内部设有真空结构；
130.第一滤网，其呈筒状，其侧壁设有若干第一气孔；
131.第二电机，其固定安装在第一检测壳体上端，且其与第一滤网传动连接，其与控制器电性连接；
132.第一湿度传感器，其与控制器电性连接，其设于第一工件放置空间，其固定安装在第一检测壳体上；
133.第一喷嘴，其设于第一工件放置空间内，其固定安装在第一检测壳体上，其设于第一滤网外部，第一滤网内部设有空间一；
134.第二喷嘴，其设于第一工件放置空间内，其固定安装在第一检测壳体上，其设于第一滤网外部；
135.第一输送管，其一端与第一喷嘴相连通；
136.第二输送管，其一端与第二喷嘴相连通；
137.第一抽空管，其一端与第一检测壳体内部的第一工件检测空间相连通；
138.抽真空泵，其与第一抽空管的另一端相连通，其与控制器电性连接；
139.高压泵，其与第一输送管的另一端和第二输送管的另一端相连通；
140.第二检测壳体，其内部设有第二工件放置空间；其侧壁内部设有真空结构；
141.第二滤网，其呈筒状，其侧壁设有若干第二气孔；
142.第三电机，其固定安装在第二检测壳体上端，且其与第二滤网传动连接，其与控制器电性连接；
143.第二湿度传感器，其与控制器电性连接，其设于第二工件放置空间，其固定安装在第二检测壳体上；
144.第三喷嘴，其设于第二工件放置空间内，其固定安装在第二检测壳体上，其设于第二滤网外部，第二滤网内部设有空间二；
145.第四喷嘴，其设于第二工件放置空间内，其固定安装在第二检测壳体上，其设于第二滤网外部；
146.第三输送管，其一端与第三喷嘴相连通；
147.第四输送管，其一端与第四喷嘴相连通；
148.第二抽空管，其一端与第二检测壳体内部的第二工件检测空间相连通；抽真空泵与第二抽空管的另一端相连通。
149.转盘为圆形转盘。
150.也就是通过采用双工位的设计，使得一个检测壳体正在检测的时候，可以拿出已经检测好的芯片，同时将准备检测的芯片放入设备内部进行检测，滤网内部就是检测芯片放置的位置空间，大大提高了检测速度。控制器控制高压泵将水通过喷嘴往工件检测空间喷射，控制器控制第二电机/第三电机旋转，使得第一滤网/第二滤网旋转，也就是避免喷嘴直接喷向芯片，同时具有进一步分散水分的作用，滤网在旋转的过程中，使得水分分布更加均匀。控制器通过控制抽空泵将工件检测空间的湿度抽离。控制器通过湿度传感器检测内部的湿度数值。
151.进一步，因为第一工件检测空间/第二工件检测空间的侧壁均采用真空结构，因为不受外部温度的影响，也就不会出现水分液化影响内部湿度的情况。
152.控制器通过第一加热器对第一水箱内部的水进行加热，控制器通过第一温度传感器探测第一水箱内部的温度。控制器控制第一水泵工作，将第一水箱的水抽取出来，水依次
经过第一插管、第一水泵、第一连接管、第一电磁阀、第一分支管、汇合管、总管、第五电磁阀及三通接头的第二接头，先预先排一定的水，将整个管路的温度更加接近第一水箱内部的温度；也就是先排水一定时间，然后控制器控制第七电磁阀关闭，水就不能够从排水管二排出，同时控制控制第六电磁阀打开，使得水从进水管进入检测腔体内部，最后经过排水管一流出。
153.进一步，排水管的另一端连通有第八电磁阀，控制器控制器第八电磁阀的启闭来实现是否继续排水。
154.第二水箱、第三水箱及第四水箱均采用同样的方式进行工作，不同水箱内部的温度可以设定好。
155.控制器还电性连接有显示屏和输入模块。
156.本发明的有益效果是：能够提供预设温度和湿度的校准空间，结构简单，成本低，效率高，使用方便的优点。