一种飞秒、纳秒激光制备图案化柔性传感器及其制备方法

技术特征：
1.一种飞秒、纳秒激光制备图案化柔性传感器的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)按照重量比混合pdms单体和固化剂，旋涂制备透明柔性的pdms基底；2)用氧气等离子体辐照pdms基底；3)在步骤2)的pdms基底上旋涂银纳米线浆料，并使浆料干燥；4)在银纳米线浆料上施加压力；5)飞秒激光扫描pdms基底上的银纳米线浆料，连接银纳米线；6)纳秒激光熔融并击飞多余银纳米线，绘制图案；7)旋涂pdms，封装连接后的银纳米线。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤1)中，pdms单体和固化剂的重量比为15:1～20:1。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤3)中，旋涂ag纳米线的速度为200～500rpm，旋涂时间为80～120s。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤4)中，施加的压力值为10～30n，施加的时间为5～10min。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤5)中，飞秒激光的扫描速度为1000-3000mm/s，激光功率为250～500mw。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤5)中，银纳米线直径为200～600nm，长度为50～100μm。7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤6)中，纳秒激光的扫描速度为100-500mm/s，激光功率9～15w，激光频率20～50khz，光斑直径50～100μm。8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤7)中，旋涂pdms的速度为500～700rpm，旋涂时间为80～120s。9.一种飞秒、纳秒激光制备图案化柔性传感器，其特征在于：采用权利要求1-8任一项所述的方法制备。

技术总结
本发明公开了一种飞秒、纳秒激光制备图案化柔性传感器及其制备方法。制备方法包括以下步骤：1)混合聚二甲基硅氧烷(PDMS)单体和固化剂，旋涂制备透明柔性的PDMS基底；2)用氧气等离子体(Plasma)辐照PDMS基底；3)在基底上面旋涂银纳米线浆料；4)对银纳米线浆料施加压力；5)飞秒激光扫描PDMS基底上的银纳米线浆料；6)纳秒激光熔融、击飞多余银纳米线，绘制图案；7)旋涂PDMS，封装图案化银纳米线浆料。本发明提供的方法制备速度快，精度高。所制备的传感器质地柔软，具有优异的透光性能和可拉伸性能。具有优异的透光性能和可拉伸性能。具有优异的透光性能和可拉伸性能。


技术研发人员：桂成群 赵强 杨柏松 薛龙建 陶国裔 鲁才
受保护的技术使用者：武汉大学
技术研发日：2022.04.15
技术公布日：2022/8/9