一种晶圆激光low-k设备涂胶机构转动套筒的制作方法

1.本发明涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆激光low-k设备涂胶机构转动套筒。


背景技术：

2.晶圆mems芯片中高速逻辑元器件晶圆表层镀有一层low-k膜，使用low-k电介质作为ild，可以有效地降低互连线之间的分布电容，从而可使芯片总体性能提升10%左右；low-k镀膜在晶圆附着强度较低，容易产生脱落，常规刀片切割过程中，刀片对low-k膜有较大的应力，严重影响芯片成品率；通过激光在切割道中快速制造出激光凹槽，将相邻的两片晶粒间的low-k膜提前断开，然后以标准速度对晶粒切割，可有效的高成品率，同时减少或消除碎屑、分层和其他切割质量问题。随着对处理器效率要求的增加low-k晶圆在行业中的运用越来越广泛。
3.激光加工工程中晶圆表面需保持一层均匀稳定的涂覆层，喷枪需喷涂至晶圆中心位置，产品上下料的过程中，喷枪需避开产品的活动区间，需要增加旋转转动，胶水容易在空气中凝固、挥发，喷胶结束后需要将胶枪快速封闭因而需要做旋转运动，将喷枪喷口密封， 工过程中会产生粉尘和水雾以及挥发的溶剂，故而需要将传动部分和工作部分隔离，防止对关键部分损坏。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本发明提供一种晶圆激光low-k设备涂胶机构转动套筒，不仅可有效的防止粉尘和水雾进入旋转套筒内部以及从清洗仓中泄露至设备其他位置，而且旋转密封圈在高度洁净区域工作，有效提高旋转密封圈的使用寿命。
5.为解决上述技术问题，本发明提供一种晶圆激光low-k设备涂胶机构转动套筒，包括：直线导轨，所述直线导轨通过配合公差安装在喷涂机构直线轴承套筒内；升降直线轴承安装座，升降直线轴承安装座通过螺栓封闭喷涂机构直线轴承套筒的一端，并限制直线导轨向其中一个方向的移动；旋转升降挡环，旋转升降挡环放入喷涂机构直线轴承套筒与直线导轨接触；升降导杆密封机构，升降导杆密封机构与喷涂机构直线轴承套筒通过螺纹连接，升降导杆密封机构与旋转升降挡环接触，限制直线导轨向另一个方向移动；旋转密封圈，旋转密封圈安装在升降导杆密封机构内；往复运动密封圈，往复运动密封圈放入升降导杆密封帽中；升降导杆密封帽，升降导杆密封帽通过螺纹与升降导杆密封机构连接。
6.进一步地，所述升降直线轴承安装座的密封槽内安装有底座密封圈。
7.进一步地，所述升降导杆密封机构内侧壁开设有避让槽。
8.进一步地，所述升降导杆密封帽上端的横截面形状为圆台形。
9.进一步地，所述往复运动密封圈在旋转密封圈上方。
10.进一步地，所述旋转升降挡环采用可压缩材料。
11.进一步地，所述旋转升降挡环由橡胶制成。
12.本发明的上述技术方案的有益效果如下：1、本发明外形流线，不易残留水；对轴升降过程中有足够的导向长度。
13.2、多种组合密封方式：往复运动密封圈、旋转密封圈以及底座密封圈，按照从上向下往复运动密封、旋转密封的方式，升降过程中往复运动密封将外界粉尘隔离，旋转密封在高度洁净区域工作有效减小粉尘对旋转件的磨损，可增大设备的使用寿命，可有效的防止粉尘和水雾进入旋转套筒内部以及从清洗仓中泄露至设备其他位置。
附图说明
14.图1为本发明晶圆激光low-k设备涂胶机构转动套筒的立体图；图2为本发明晶圆激光low-k设备涂胶机构转动套筒的主视图；图3为图2的b-b剖视图；图4为本发明晶圆激光low-k设备涂胶机构转动套筒的俯视图；图5为本发明晶圆激光low-k设备涂胶机构转动套筒的仰视图。
15.1、直线导轨；2、喷涂机构直线轴承套筒；3、升降直线轴承安装座；4、往复运动密封圈；5、旋转密封圈；6、升降导杆密封机构；7、旋转升降挡环；8、升降导杆密封帽；9、底座密封圈；10、升降旋转导杆。
具体实施方式
16.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图1-5，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
17.如图1-5所示：一种晶圆激光low-k设备涂胶机构转动套筒，包括：直线导轨1，直线导轨1通过配合公差安装在喷涂机构直线轴承套筒2内；升降直线轴承安装座3，升降直线轴承安装座3通过螺栓封闭喷涂机构直线轴承套筒2的一端，并限制直线导轨1向其中一个方向的移动，即限制直线导轨1向下移动；旋转升降挡环7，旋转升降挡环7放入喷涂机构直线轴承套筒2与直线导轨1接触，旋转升降挡环7采用可压缩材料，如橡胶或优力胶等，在升降导杆密封机构6作用下可实现固定直线导轨1，又可以避免直线导轨1被压坏；升降导杆密封机构6，升降导杆密封机构6与喷涂机构直线轴承套筒2通过螺纹连接，升降导杆密封机构6与旋转升降挡环7接触，限制直线导轨1向另一个方向移动，即限制向上移动，通过升降直线轴承安装座3和升降导杆密封机构6将直线导轨1固定在喷涂机构直线轴承套筒2内；旋转密封圈5，旋转密封圈5安装在升降导杆密封机构6内；往复运动密封圈4，往复运动密封圈4放入升降导杆密封帽8中，往复运动密封圈4位于旋转密封圈5的上方，往复运动过程中，往复运动密封圈4可提前将升降旋转导杆10刮
净，使旋转密封圈5在洁净的环境中运行，有效提高旋转密封圈5的使用寿命；升降导杆密封帽8，升降导杆密封帽8通过螺纹与升降导杆密封机构6连接。
18.升降直线轴承安装座3的密封槽内安装有底座密封圈9，密封槽开设在升降直线轴承安装座3的底部，在与外界连接时，在底座密封圈9的作用下，封闭转动套筒底座，达到密封效果。
19.根据本发明的一个实施例，如图1-5所示，升降导杆密封机构6内侧壁开设有避让槽，运动过程中产生的油污暂存至槽中，减少升降旋转导杆10表面的附着物。
20.根据本发明的另一个实施例，如图1-5所示，升降导杆密封帽8上端的横截面形状为圆台形，使转动套筒顶部呈流线形，不易残留水。
21.本发明的工作方法（或工作原理）：本发明套设在升降旋转导杆10上，顶部与清洗槽下底面固定连接，升降旋转导杆10穿过直线导轨1可以自由往复运动和旋转运动，往复运动密封圈4与旋转密封圈5与升降旋转导杆10壁密切贴紧，往复运动过程中往复运动密封圈4可提前将升降旋转导杆10刮净，使旋转密封圈5在洁净的环境中运行，有效提高旋转密封圈5的使用寿命，升降导杆密封机构6内部开避让槽，运动过程中产生的油污暂存至槽中，减少升降旋转导杆10表面的附着物，防止粉尘和水雾进入旋转套筒内部以及从清洗仓中泄露至设备其他位置。
22.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
23.以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。