一种集成式真空泵架体的制作方法

1.本实用新型涉及真空泵组装技术领域，具体为一种集成式真空泵架体。


背景技术：

2.半导体生产车间需要用到真空泵组，传统的半导体生产车间真空泵组，占地空间较大，空间利用率较低，同时不方便管理。


技术实现要素：

3.(一)解决的技术问题
4.为了解决现有技术的上述问题，本实用新型提供一种集成式真空泵架体，其集成化程度较高，减少了空间的占用，也方便管理。
5.(二)技术方案
6.为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案：包括框架本体、安装在框架本体上的若干泵组和配电柜，所述框架本体分为两层，所述泵组位于框架本体上面一层安装有两台，位于下面一层安装有四台，所述框架本体上安装有进气系统、排气系统和循环水系统；
7.所述进气系统包括：通过管道支架安装在框架本体上的进气管组和安装在进气管组上的气用调压阀，所述进气管组进气端安装在泵组进气口；
8.所述排气系统包括：通过管道支架安装在框架本体上的排气管路和安装在排气管路上的流量计，所述排气管路进气端安装在泵组排气口；
9.所述循环水系统包括：通过管道支架安装在框架本体上的循环水管路、安装在循环水管路上的分手阀和水用调压阀。
10.优选的，所述循环水管路包括供水管路和回水管路，所述供水管路上安装有压力表、调压阀和开关球阀，所述回水管路上安装有温度计和开关球阀。
11.优选的，还包括滑轨，所述泵组通过滑轨安装在框架本体内。
12.优选的，还包括氮气供应系统，所述氮气供应系统包括：安装在进气管组主管管路上的压力调节阀、压力显示表、3/4隔离手阀和3/4扩展接头。
13.(三)有益效果
14.本实用新型提供了一种集成式真空泵架体。具备以下有益效果：
15.(1)、本设计集成六台泵组、水管和气管，组装方便、紧凑减少了车间空间的占用。
16.(2)、泵组通过滑轨固定安装，检修时具备抽拉功能，操作更加方便。
附图说明
17.图1为本实用新型结构图。
18.图中：1、框架本体；2、泵组；3、配电柜；4、进气管组；5、气用调压阀；6、排气管路；7、流量计；8、循环水管路；9、分手阀；10、水用调压阀；11、滑轨。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.如图1所示，本实施例的集成式真空泵架体，包括框架本体1、安装在框架本体1上的若干泵组2和配电柜3，框架本体1分为两层，泵组2位于框架本体1上面一层安装有两台，位于下面一层安装有四台，框架本体1上安装有进气系统、排气系统和循环水系统；
21.进气系统包括：通过管道支架安装在框架本体1上的进气管组4和安装在进气管组4上的气用调压阀5，进气管组4进气端安装在泵组2进气口；
22.排气系统包括：通过管道支架安装在框架本体1上的排气管路6和安装在排气管路6上的流量计7，排气管路6进气端安装在泵组2排气口；
23.循环水系统包括：通过管道支架安装在框架本体1上的循环水管路8、安装在循环水管路8上的分手阀9和水用调压阀10。
24.进一步的，循环水管路8包括供水管路和回水管路，供水管路上安装有压力表、调压阀和开关球阀，回水管路上安装有温度计和开关球阀。
25.进一步的，还包括滑轨11，泵组2通过滑轨11安装在框架本体1内。
26.进一步的，还包括氮气供应系统，氮气供应系统包括：安装在进气管组4主管管路上的压力调节阀、压力显示表、3/4隔离手阀和3/4扩展接头。
27.工作原理：本设计集成六台泵组、水管和气管，组装方便、紧凑减少了车间空间的占用。同时，泵组通过滑轨固定安装，检修时具备抽拉功能，操作更加方便。


技术特征：
1.一种集成式真空泵架体，其特征在于：包括框架本体(1)、安装在框架本体(1)上的若干泵组(2)和配电柜(3)，所述框架本体(1)分为两层，所述泵组(2)位于框架本体(1)上面一层安装有两台，位于下面一层安装有四台，所述框架本体(1)上安装有进气系统、排气系统和循环水系统；所述进气系统包括：通过管道支架安装在框架本体(1)上的进气管组(4)和安装在进气管组(4)上的气用调压阀(5)，所述进气管组(4)进气端安装在泵组(2)进气口；所述排气系统包括：通过管道支架安装在框架本体(1)上的排气管路(6)和安装在排气管路(6)上的流量计(7)，所述排气管路(6)进气端安装在泵组(2)排气口；所述循环水系统包括：通过管道支架安装在框架本体(1)上的循环水管路(8)、安装在循环水管路(8)上的分手阀(9)和水用调压阀(10)。2.根据权利要求1所述的一种集成式真空泵架体，其特征在于：所述循环水管路(8)包括供水管路和回水管路，所述供水管路上安装有压力表、调压阀和开关球阀，所述回水管路上安装有温度计和开关球阀。3.根据权利要求1所述的一种集成式真空泵架体，其特征在于：还包括滑轨(11)，所述泵组(2)通过滑轨(11)安装在框架本体(1)内。4.根据权利要求1所述的一种集成式真空泵架体，其特征在于：还包括氮气供应系统，所述氮气供应系统包括：安装在进气管组(4)主管管路上的压力调节阀、压力显示表、3/4隔离手阀和3/4扩展接头。

技术总结
本实用新型涉及真空泵组装技术领域，具体为一种集成式真空泵架体。本包括框架本体、安装在框架本体上的若干泵组和配电柜，框架本体分为两层，泵组位于框架本体上面一层安装有两台，位于下面一层安装有四台，框架本体上安装有进气系统、排气系统和循环水系统；其集成化程度较高，减少了空间的占用，也方便管理。也方便管理。也方便管理。


技术研发人员：项健 方刚 揣士敬 陈剑飞 杨红 李品鑫
受保护的技术使用者：合肥亚笙半导体设备科技有限公司
技术研发日：2022.03.07
技术公布日：2022/8/2