真空膜压机的膜压方法和真空膜压机与流程

技术特征：
1.一种真空膜压机的膜压方法，其特征在于，包括步骤：将未压膜的晶圆放置在下腔体的下载板上；在晶圆上方提供塑封膜；将下腔体与上腔体合腔并形成真空腔；对上腔体的上载板上的气囊进行充气，并对塑封膜进行加热；朝向气囊方向移动下载板，使得下载板挤压所述气囊；完成晶圆压膜。2.根据权利要求1所述的真空膜压机的膜压方法，其特征在于，在所述完成晶圆压膜后包括步骤：下载板下降至初始位置，下腔体与上腔体分开；切割塑封膜，取下完成压膜的晶圆；将未压膜的晶圆放置到下载板上；在晶圆上方提供塑封膜；将下腔体与上腔体合腔并形成真空腔；朝向气囊方向移动下载板，使得下载板挤压所述气囊；完成晶圆压膜；重复上述步骤依次对多块未压膜的晶圆进行压膜处理；其中，所述气囊始终处于充气状态或充满状态。3.根据权利要求2所述的真空膜压机的膜压方法，其特征在于，所述朝向气囊方向移动下载板，使得下载板挤压所述气囊的步骤之后还包括：同步朝向下载板方向移动上载板。4.根据权利要求2所述的真空膜压机的膜压方法，其特征在于，所述在晶圆上方提供塑封膜的步骤中包括：采用卷膜方式在晶圆上方提供塑封膜，且塑封膜与晶圆之间具有间隙；所述将下腔体与上腔体合腔并形成真空腔的步骤中包括：朝向气囊方向移动下载板，使得下载板上的晶圆与塑封膜接触贴合；移动上腔体，使得上腔体与下墙体合腔，并抽真空形成真空腔。5.根据权利要求4所述的真空膜压机的膜压方法，其特征在于，在所述朝向气囊方向移动下载板，使得下载板挤压所述气囊的步骤中还包括：朝向气囊方向移动下载板；下载板带动晶圆和塑封膜向气囊挤压。6.根据权利要求5所述的真空膜压机的膜压方法，其特征在于，所述完成晶圆压膜的步骤中包括：挤压完成后，向上移动上腔体，带动气囊与晶圆分离；沿晶圆切割塑封膜。7.根据权利要求2所述的真空膜压机的膜压方法，其特征在于，所述气囊在充气完成后保持加热状态，使用所述气囊对塑封膜加热。8.根据权利要求1所述的真空膜压机的膜压方法，其特征在于，所述晶圆采用真空吸附的方式固定在下载板上。
9.一种真空膜压机，其特征在于，使用如权利要求1-8任意一项所述的真空膜压机的膜压方法，所述真空膜压机包括送膜装置、压膜装置和充气装置，所述送膜装置为压膜装置提供塑封膜；所述压膜装置包括上腔体、下腔体、上载板、气囊和下载板，所述下腔体与所述上腔体合腔可抽真空形成真空腔，所述上载板设置在所述上腔体靠近所述下腔体的一侧，所述气囊设置在所述上载板靠近所述下腔体的一侧，所述下载板设置在所述下腔体靠近所述上腔体的一侧；所述下载板可在真空腔内上下移动；所述充气装置用于为所述气囊充气。10.根据权利要求9所述的真空膜压机，其特征在于，所述送膜装置采用卷膜方式为所述压膜装置提供塑封膜，所述送膜装置包括供给端和回收端，所述供给段用于输出塑封膜至所述压膜装置中，所述回收端用于回收所述压膜装置中使用后的塑封膜；所述充气装置用于使得气囊始终处于充气状态或充满状态。

技术总结
本申请公开了一种真空膜压机的膜压方法和真空膜压机，真空膜压机的膜压方法包括步骤：将未压膜的晶圆放置在下腔体的下载板上；在晶圆上方提供塑封膜；将下腔体与上腔体合腔并形成真空腔；对上腔体的上载板上的气囊进行充气，并对塑封膜进行加热；朝向气囊方向移动下载板，使得下载板挤压所述气囊；完成晶圆压膜。通过改变压膜的方式，来避免气囊充气所产生的压力过度导致晶圆破碎的问题。生的压力过度导致晶圆破碎的问题。生的压力过度导致晶圆破碎的问题。


技术研发人员：孔跃春 韩佳伟 鲁艳春
受保护的技术使用者：北海惠科半导体科技有限公司
技术研发日：2022.04.29
技术公布日：2022/7/29