影像确认计算机的制作方法

1.本发明涉及一种影像确认计算机，该影像确认计算机用于确认与机器人的动作相关的影像。


背景技术：

2.过往，例如，已经使用机器人用于运送晶圆等的基板。专利文献1的机器人具备控制器，该控制器用以控制机器人的运动。[现有技术文献][专利文献]
[0003]
专利文献1：日本特开2008-28134号公报


技术实现要素：

发明所要解决的技术问题
[0004]
机器人可能会因为各种的原因而产生故障。在此种情况下，需要根据产生的故障进行维修作业。在晶圆处理设备等中，为了实现高等级的信息管理，多数情况下会限制将数据携带至其他的场所、以及限制与外部网络的通讯。在这种状况下，要求能迅速地确定机器人故障的原因并加以排除。
[0005]
有鉴于此，本发明的目的在于，例如当机器人产生故障时，能使操作人员迅速且良好地把握状况。解决问题所使用的技术方案
[0006]
本发明所欲解决的问题诚如上面的说明，下面对用以解决该问题的手段及其功效进行说明。
[0007]
根据本发明的观点，提供以下结构的影像确认计算机。也就是说，该影像确认计算机，为了确认与机器人的动作相关的影像而使用。所述影像确认计算机，具备存储部和运算部。所述存储部能够存储信息。所述运算部输出基于所述存储部的存储内容的信息。所述存储部用于存储电动机的位置信息和影像信息。所述电动机用以驱动所述机器人的连杆体。所述电动机的位置信息从所述机器人的控制器接收。所述影像信息能够通过安装在所述机器人的照相机获取。所述运算部使模型区域和影像区域并排显示在本机以及连接于本机的计算机中的至少任一个上。在所述模型区域内，通过计算机绘图显示再现所述机器人的姿势的二维或三维的模型。在所述影像区域内显示所述影像。
[0008]
通过以这种方式并排显示2个区域，操作人员能够复合且直观地把握与机器人的动作相关的状况。由此，操作人员能够平滑且准确地处理状况。(发明的功效)
[0009]
根据本发明，例如当机器人产生故障时，操作人员能够迅速且良好地把握状况。
附图说明
[0010]
图1是显示应用本发明的一实施方式的影像确认计算机的半导体处理设备的一部分的平面剖视图；图2是剖切显示半导体处理设备的一部分的侧面剖视图；图3是说明构建在半导体处理设备中的通讯网络的示意图；图4是显示被显示在影像确认计算机上的状况确认画面的显示例的图；图5是显示被显示在处理计算机上的日志分析画面的显示例的图；图6是显示故障处理支援画面的显示例的图；和图7是显示说明书画面的显示例的图。附图标记说明27机器人
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44控制器(机器人控制器)65影像确认计算机
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66存储电路(存储部)67运算电路(运算部)
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68显示器(显示部)72模型区域
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73影像区域74日志区域
具体实施方式
[0011]
下面，参照附图说明本发明的实施方式。图1是显示应用本发明的一实施方式的半导体处理设备20的一部分的平面剖视图。图2是剖切显示半导体处理设备20的一部分的侧面剖视图。在图1以及图2中，以二点点划线显示以各种方式移动机器人27的状态。
[0012]
半导体处理设备20，对作为处理对象基板的晶圆24实施预先设定的处理。在本实施方式中，晶圆24是半导体晶圆。作为对晶圆24施加的处理，能够列举各种各样的制程处理、例如热处理、杂质导入处理、薄膜形成处理、光刻处理、清洗处理或平坦处理等。也能够在半导体处理设备20中进行所述基板处理以外的基板处理。
[0013]
半导体处理设备20，具备晶圆处理装置22和晶圆移载装置23。半导体处理设备20，是通过例如semi标准预先定义的。semi是semicondutor equipment and materials international的缩写。在此种情况下，例如，晶圆传送盒(foup)25以及用以开闭晶圆传送盒25的晶圆盒开启器26，遵循semi标准的e47.1、e15.1、e57、e62、e63、e84等的规格。但是，半导体处理设备20的构成也能够不同于semi标准。
[0014]
在晶圆处理装置22上形成有填充既定的气体的处理空间30。晶圆处理装置22，在该处理空间30内对晶圆24实施所述处理。晶圆处理装置22，除了具备对晶圆24实施处理的处理装置主体外，还具备形成处理空间30的处理空间形成部、在处理空间30内运送晶圆24的运送装置、以及控制充满处理空间30内的环境用气体的调整装置。调整装置通过风扇滤网机组等实现。
[0015]
晶圆移载装置23，从晶圆传送盒25中取出处理前的晶圆24，将其供给于晶圆处理装置22，并且从晶圆处理装置22中取出处理后的晶圆24，将其重新收容在晶圆传送盒25内。晶圆移载装置23具有作为前端模块装置(equipment front end module；efem)的功能。在半导体处理设备20中，晶圆移载装置23，作为在晶圆传送盒25与晶圆处理装置22之间进行晶圆24交接的接口部。晶圆24在移动于晶圆传送盒25内的空间与晶圆处理装置22的处理空
间30之间的期间，通过充满预定的环境气体的高纯净度的准备空间29。
[0016]
准备空间29是一进行了污染控制的封闭空间。在准备空间29中，空气中的悬浮微细颗粒被控制在限定的纯净度等级以下，且根据需要还对温度、湿度、压力等环境条件进行管理。在本实施方式中，处理空间30以及准备空间29以不会对晶圆24的处理产生不良影响的方式保持为既定的纯净度。该纯净度例如采用iso(国际标准化机构)规定的class1。
[0017]
机器人27发挥作为晶圆移载机器人的作用。在本实施方式中，机器人27通过scara(平面关节型机械手臂)型的水平多关节机器人而实现。scara是「selective compliance assembly robot arm」的缩写。机器人27配置在准备空间29内。
[0018]
如图2等所示，机器人27具备基座41、机器人手臂42、上下驱动致动器43a、水平驱动致动器43b和控制器44。
[0019]
基座41具有作为支撑机器人手臂42的基座部件的功能。在基座41的上面安装有机器人手臂42。
[0020]
机器人手臂42具有连杆结构，该连杆结构具备沿从基端部朝向前端部的方向依序连结的多个连杆体。机器人手臂42的前端部设置有机械手45。机械手45能够保持晶圆24或解除该保持。通过机械手45保持晶圆24的方法各式各样，例如，能够在机械手45上载置晶圆24、或者通过机械手45夹持晶圆24、或者通过负压将晶圆24吸附在机械手45上等。
[0021]
上下驱动致动器43a使机器人手臂42沿上下方向移位。上下驱动致动器43a，例如构成为电动机。通过机器人手臂42沿上下方向移动，能够变更机械手45的高度。
[0022]
水平驱动致动器43b，使机器人手臂42的各连杆体分别绕对应的关节轴旋转。水平驱动致动器43b，例如构成为电动机。通过使各连杆体绕上下方向的关节轴旋转，能够使机械手45在水平面内移动。
[0023]
控制器44根据预先设定的动作程序或者由用户输入的移动指令，控制上下驱动致动器43a以及水平驱动致动器43b，使机械手45朝预先设定的位置移动。如图3所示，控制器44具备存储电路46、运算电路47和输出装置48。存储电路46存储既定的程序以及各种数据。运算电路47根据所述程序进行运算处理。输出装置48根据运算电路47的运算结果，将控制信号输出至上下驱动致动器43a以及水平驱动致动器43b。存储电路46，例如通过ram、rom、以及hdd等实现。运算电路47例如通过cpu实现。
[0024]
如图3所示，半导体处理设备20具备高阶控制器(high-order controller)61。高阶控制器61将用以执行半导体处理工序的指令传送至构成半导体处理设备20的各种装置。
[0025]
高阶控制器61，以有线或无线方式与机器人27具备的所述控制器44连接。高阶控制器61，以机器人27按要求的时间执行所需的动作的方式对控制器44传送指令。控制器44根据从高阶控制器61接收的指令控制机器人27。
[0026]
在产生某种故障的情况下，控制器44将关于该故障的信息传送至高阶控制器61。用以供控制器44控制机器人27的程序，由多个模块构成。其中，模块是指用以通过机器人27实现某个动作单位的程序的部分。作为动作单位，例如能够列举将通过机械手45保持的晶圆24载置在既定位置的动作、以及通过机械手45保持载置在既定位置上的晶圆24的动作等，但不限于此。
[0027]
上下驱动致动器43a以及水平驱动致动器43b，分别构成为电动机。电动机是公知的构成，虽未图示，但具备电机驱动电路、电机主体、旋转位置传感器和电流传感器。电机主
体具备定子、转子和输出轴。控制器44，以电动机进行期望的动作的方式经由电源电路对电机驱动电路供给电流。其结果，电动机的输出轴根据流动的电流而旋转。
[0028]
流经电机驱动电路的电流，通过电动机的动作的目标值以及动作的测量值而确定。作为电动机的动作的目标值，例如，能够列举与旋转位置、旋转速度或旋转加速度相关的目标值。同样地，作为测量值，例如，能够列举与旋转位置、旋转速度或旋转加速度相关的测量值。在流经电机驱动电路的电流的控制中，也能够使用反馈控制规则或应用控制规则等的控制规则。
[0029]
在机器人手臂42中的固定有机械手45的连杆体上固定有照相机62。如图3所示，该照相机62经由网络连接于影像确认计算机65。影像确认计算机65例如能够为移动终端、个人计算机等。
[0030]
在半导体处理设备20上设置有用以拍摄机器人27的照相机63。照相机63以有线或无线方式与控制器44连接。
[0031]
在机器人27中产生某种异常且产生排除故障的需要的情况下，操作人员能够操作某台计算机以获取用以处理的信息。该计算机也能够称为处理计算机70。在本实施方式中，高阶控制器61兼作处理计算机70。
[0032]
影像确认计算机65，具备存储电路(存储部)66和运算电路(运算部)67。存储电路66，例如通过ram、rom以及hdd等实现。运算电路67，例如通过cpu实现。
[0033]
在影像确认计算机65的存储电路66以及控制器44的存储电路46(以下，简称为存储电路)中存储有例如下面(1)～(6)所示的信息。这些存储动作能够连续地进行，也能够间隔式地分散进行。
[0034]
(1)与通过照相机62、63获得的影像相关的信息(2)与控制器44从高阶控制器61接收的信号、以及由控制器44传送至高阶控制器61的信号相关的信息(通讯日志信息)(3)与控制器44为了控制机器人27而执行的程序相关的信息(4)与机器人27具备的电动机的电流值、位置、速度、加速度(包含负加速度。以下相同)、位置偏差、速度偏差以及加速度偏差相关的信息(5)与来自机器人27搭载的各种传感器(例如，光投射/遮光传感器、气动致动器的活塞位置传感器、压力传感器、电磁阀的阀位置传感器)的输出信号相关的信息(6)与输入机器人27搭载的各种机器(例如电磁阀)的输入信号相关的信息
[0035]
其中，电动机的电流值，通过设在电机驱动电路的电流传感器测量。电动机的位置，能够根据设在该电动机的旋转位置传感器的测定值而获得。电动机的速度以及加速度，能够通过对所述旋转位置传感器的测定值进行时间微分而获得。位置偏差、速度偏差以及加速度偏差，能够通过计算所述位置、速度以及加速度与目标位置、目标速度以及目标加速度的差而获得。
[0036]
在控制器44中预先安装有web服务器应用程序以及数据库应用程序，且在所述存储电路46存储有程序。
[0037]
然而，机器人27可能因某种原因而产生故障。在此种情况下，影像确认计算机65，能够根据存储在存储电路66的内容，显示如图4所示的状况确认画面71。该状况确认画面71，具备模型区域72、影像区域73、日志区域74和图形区域75。
[0038]
在模型区域72中，通过计算机绘图显示有二维以及三维的模型，该二维以及三维的模型用于再现机器人27在某个时刻的姿势。并且，所显示的模型的姿势，根据存储在存储电路66的电机的位置进行计算。在模型区域72的下部配置有搜索条72a，且在该搜索条72a上配置有滑块、再生键、暂停键以及反向再生键。由此，能够在模型区域72的显示中再现机器人27的动作、或者能够在某个时刻停止机器人27的动作。即使在实际的机器人27位于例如隐藏在照相机63后面而不能摄影的位置情况下，操作人员也能够参照模型区域72的显示内容轻松把握机器人27处在何种的姿势下。
[0039]
在影像区域73中显示有通过照相机62获得且被存储在存储电路66的摄影影像。影像的再生位置能够通过所述搜索条72a指定。由此，能够使模型区域72中的模型动作的再现与影像区域73的动画的再生同步。
[0040]
在日志区域74显示有存储在存储电路66的通讯日志。也能够在日志区域74显示与为了控制机器人27而执行的程序相关的信息。
[0041]
在图形区域75中，分别以不同颜色的图表显示与存储在存储电路66的电动机的电流值、位置、速度、加速度、位置偏差、速度偏差以及加速度偏差相关的信息。在图4所示的例中显示有折线图，其中在纵轴上取各值，且在横轴上取时刻。在图形区域75的各图表中显示有垂直的直线(时刻图形)。该直线的位置与在模型区域72以及影像区域73中显示的时间点上的时刻对应。
[0042]
当在机器人27中产生某种故障时，将在包含故障产生时的既定时间范围内(例如，从产生故障时的数秒前至产生故障时的数秒后为止的范围)存储在存储电路66的信息，作为显示在状况确认画面71上的显示对象。
[0043]
当在搜索条72a上按下再生键时，能够在模型区域72以及影像区域73中再生显示对象的信息。同样地，当按下反向再生键时，显示对象的信息被反向再生。当按下暂停键时，则将再生/反向再生暂停，若再次按下暂停键，则解除暂停。搜索条72a上也能够包含用以进行公知的快送操作/倒退操作的键。
[0044]
在再生显示对象的信息的情况下，在模型区域72内显示有被再现的机器人27的运动，且在影像区域73内动态地显示照相机62的摄影图像。再生时，在日志区域74显示通讯日志，且在图形区域75显示图表。在日志区域74中显示有以搜索条72a指示的时刻上的日志履历。该日志履历与再生同步地随着时刻而被逐一追记。在图形区域75中，各图表中的所述时刻图形与再生同步地横向移动。
[0045]
利用上面的构成，操作人员能够在产生故障时通过操作影像确认计算机65，从各式各样的角度迅速地确定故障原因并加以处理。
[0046]
在所述例子中，将在故障产生前后的既定时间范围内存储在存储电路66的信息作为显示在状况确认画面71的显示对象。也能够取代此，将产生故障时存储在动作单位或模块的信息作为显示在状况确认画面71的显示对象，其中该动作单位或模块在控制器44中被执行。
[0047]
模型区域72以及影像区域73，以相互接近的方式并排配置在相同的状况确认画面71。由此，操作人员能够根据2个区域的信息复合且直观地了解产生故障的状况。
[0048]
机器人27整体的状况能够从模型区域72获得，机械手45的前端周边的详细状况能够从影像区域73获得。如此，显示在模型区域72的二维或三维模型的信息与显示在影像区
域73的摄影影像的信息，彼此能够成为互补的关系。在这层意义上讲，同样说明并排显示两个影像有益无害。
[0049]
除此之外，由于日志区域74的日志履历的追加在与显示模型区域72以及影像区域73的时刻一致的时间上进行，因此操作人员不会在状况的把握上产生混乱。
[0050]
由于模型区域72与影像区域73相邻配置，因此操作人员能够容易将模型影像与摄影图像作为统一的信息而加以把握。由此，可设为下面的构成：即使通过模型区域72的搜索条72a对影像区域73的影像进行再生/停止，仍难以产生不调和感。
[0051]
在图4的例子中，以模型区域72位于左侧且影像区域73位于右侧的方式配置。然而，也能够将配置左右颠倒。另外，模型区域72与影像区域73也能够上下排列配置。
[0052]
接着，参照图5，说明能够通过控制器44显示在处理计算机70的显示器(例如，图3所示的显示器68)上的日志分析画面81。
[0053]
在机器人27中产生某种故障的情况下，描述此时刻前后的通讯内容的通讯日志，是对用以确定故障原因等价值非常高的信息。然而，通讯日志通常包含与故障的关联性高以及关联性低的内容，且多数情况下与故障的关联性低的内容占据的部分更大。由此，存在与故障的关联性高的内容可能被埋没而难以发现的风险。
[0054]
因此，在本实施方式中，在通过控制器44输出至处理计算机70的日志分析画面81中，具有即使在通讯日志中也能撷取且显示与故障的关联性高的内容的功能。由此，能够容易确定故障原因以及进行处理。处理计算机70能够发挥作为控制器44的终端的功能。
[0055]
具体说明如下，在通讯日志的每一行描述有显示通讯种类的通讯代码。在控制器44的存储电路46中，以与确定故障种类的信息(例如，故障代码)建立关联的形式预先存储有在通讯日志中与故障的关联性高的通讯代码的信息。在操作人员指示撷取通讯日志的情况下，以仅显示与故障代码的关联性高的种类的通讯日志的方式进行筛选，从控制器44输出至处理计算机70。
[0056]
在使通讯日志以这种限缩范围的形式显示在处理计算机70的情况下，控制器44例如能够同时集中显示下面的信息(1)～(5)。操作人员能够根据该日志分析画面81更容易地了解状况。
[0057]
(1)故障说明区域82。在故障说明区域82的显示内容中包含有例如故障的产生日期和时间、故障代码以及故障的概要。(2)详细日志区域83。在详细日志区域83的显示内容中包含有如上述撷取的、从故障产生的既定时间前至故障产生时为止的通讯日志。(3)动作位置区域84。在动作位置区域84，能够以在电动机中测量的位置或目标值的形式显示用以显示故障产生时的机器人27的姿势的数值。(4)程序状态区域85。在程序状态区域85显示有用以根据显示在详细日志区域83的通讯日志来确定为了控制机器人27而执行的模块的信息。然而，也能够在详细日志区域83中选择通讯日志的各行，且在程序状态区域85显示根据所选择的行的日志的程序。(5)输入/输出信号区域86。输入/输出信号区域86显示有来自机器人27搭载的各种传感器的输出信号、以及朝各种机器输入的输入信号。
[0058]
接着，参照图6，说明能够由处理计算机70显示的故障处理支援画面88。
[0059]
控制器44的存储电路46存储有显示在机器人27中产生某种故障的情况时的处理
方法的数据。通过将该处理方法从控制器44输出至处理计算机70，且显示在显示器(例如，图3所示的显示器68)上，能够支援操作人员进行故障应对。
[0060]
作为为了支援处理故障的作业而显示在显示器68上的内容，例如能够为下面的(1)～(3)。
[0061]
(1)故障说明区域89。在故障说明区域89显示有故障的产生日期、时间以及故障代码等。在故障说明区域89中，也能够选择性地显示从最近的故障产生时刻算起的过去的既定时间内产生的故障、或者从最近的故障产生时刻算起的过去产生的既定次数的故障。下面的说明中，亦能够将显示在故障说明区域89的过去的故障称为故障履历。
[0062]
(2)处理内容说明区域(详细说明区域)90。在处理内容说明区域90详细地显示有与在故障说明区域89中作为说明对象的故障对应的处理方法。处理方法，通过机器人27的制造商对应故障代码而预先制作，且被以html数据、图像数据、动画数据、pdf数据等适宜的电子数据的形式存储在控制器44的存储电路46。于在故障说明区域89中选择了故障履历的情况下，也能够在处理内容说明区域90中显示与该故障履历对应的处理方法。动画数据，例如能够为当过去产生故障时通过照相机63拍摄机器人27而得的数据。
[0063]
(3)关联项目一览区域91。在关联项目一览区域91显示有与在故障说明区域89中作为说明对象的故障相关的项目的一览。于在故障说明区域89中选择了故障履历的情况下，也能够在关联项目一览区域91中显示与该故障履历相关的项目。一览由一个或多个关联项目构成。作为关联项目，例如能够为下面的(a)、(b)。(a)过去的与本次故障或所选的故障履历对应的作业记录。在产生故障的情况下，操作人员通过操作适宜的用户接口装置，能够使作业记录制作画面显示在显示器68上。该接口例如能够为与显示器68一体设置的触控面板、或配置在显示器68附近的硬件键等，但不限于此。操作人员通过在作业记录制作画面上指定故障代码、故障产生日期和时间、操作日期和时间、操作人员、操作内容及其结果、作业记录的标题、作业记录的重要度等而能够制作作业记录。由操作人员输入处理计算机70的作业记录，从处理计算机70被传送至控制器44。接收了作业记录的数据后的控制器44，将该作业记录与故障代码建立关联并存储在存储电路46。在关联项目一览区域91上显示有例如作业记录的重要度和标题。(b)与本次故障或所选的故障履历相关的故障。作为关联的故障，例如能够列举可能与某个故障同时产生的另一故障、以及起因在某个故障的产生而产生的另一故障，但不限于此。故障与故障的关联建立，能够通过机器人27的制造商预先制作，且存储在控制器44的存储电路46。故障与故障的关联，也能被构成为能够通过操作人员的操作而登录在存储电路46。例如，在关联项目一览区域91中显示有故障代码。
[0064]
操作人员通过适宜操作所述用户接口装置，能够适宜选择显示在关联项目一览区域91上的关联项目。选择的关联项目的信息，从处理计算机70传送至控制器44。控制器44分别以在选择作业记录的情况下将该作业记录的内容显示在处理内容说明区域90、且在选择关联的故障的情况下将该故障的处理方法显示在处理内容说明区域90的方式将各种数据传送至处理计算机70。
[0065]
虽然能够在关联项目一览区域91显示多个关联项目，但控制器44，能够以对关联项目进行排序而使得优先度高的关联项目位于上部且优先度低的关联项目位于下部的方式控制处理计算机70。图6显示在关联项目一览区域91中根据优先度排列关联项目的状态。
优先度，例如能够根据从故障的产生频率、显示说明画面的频率、在作业记录中指定的重要度、故障产生时的电流传感器、位置传感器检测值判断的关联度等而确定。在为了确定优先度而采用多个观点的情况下，控制器44，例如能够计算将量化故障的产生频率等而得的指标乘以适宜的权重后的总和，且将获得的总和作为优先度。
[0066]
例如，在产生碰撞的情况下，同时对驱动各关节的多个电机检测位置偏差的增大等的异常。另一方面，例如，在某个电机的电缆断线的情况下，仅对该电机检测异常。也能够预先存储被如此假设的异常检测模式，当产生异常时，计算实际的异常检测模式与假设异常检测模式的相似度，且优先显示用于与相似度高的假设异常检测模式对应的异常的故障排除内容。作为异常检测模式，能够使用多个检测项目(位置偏差或速度偏差等)的产生/不产生的组合、或者也能够使用异常产生时的某个电机的电流值等的测量值。另外，作为相似度，例如在使用多个检测项目的产生/不产生的组合作为异常检测模式的情况下，也能够使用多个检测项目的产生/不产生的组合一致的数目。在此种情况下，也能够通过对多个检测项目进行加权，以增加对重要检测项目的相似度的影响。
[0067]
通过以上的构成，能够容易确定故障的原因并进行处理。另外，通过将用户登录的作业记录也作为故障处理支援画面88上的显示对象，能够根据通过过去的处理而获取的知识的累积进行处理，并且还能够供多人共享所述的知识。由于从优先度高的顺序开始依序显示关联项目，因此能够有效地处理产生的故障。
[0068]
在控制器44的存储电路46内存储有用以确定故障原因的方法、描述故障的处理方法的数据、以及描述机器人的使用方法的说明书。如图7所示，用户能够根据状况操作用户接口装置，将这些数据以及说明书显示在显示器68上以供参照。
[0069]
简单地对说明书画面93进行说明。在说明书画面93的左侧配置有目录显示区域94，且在该目录显示区域94中以一览形式显示说明书的目录的项目。在说明书画面93的右侧配置有详细显示区域95，在该详细显示区域95能够显示与在目录显示区域94中选择的目录的项目对应的说明书的具体内容。在目录显示区域94的上侧配置有搜索框96，能够进行将说明书的文字数据作为对象的文字搜索。由此，不需要将纸制的说明书带入机器人27旁。
[0070]
上面说明的日志分析画面81、故障处理支援画面88、以及说明书画面93的各个显示，通过预先安装在控制器44的web服务器应用程序、以及预先安装在处理计算机70的web浏览器应用程序的协作而实现。操作人员在处理计算机70上启动web浏览器且进行适宜操作，能够以网页等形式将所述日志分析画面81、故障处理支援画面88、说明书画面93显示在例如显示器68上。
[0071]
也能够与高阶控制器61分开准备用以阅览各种画面的处理计算机70(换言之，用于控制器44的终端)。不管什么情形，皆在阅览侧的计算机上安装有web浏览器应用程序。控制器44的web服务器，根据来自阅览侧的计算机的web浏览器的要求，从存储电路46的存储内容中确定显示内容，且传送html数据等的各种数据。在阅览侧的计算机上，web浏览器根据接收的各种数据绘制网页等的画面。在该构成中，操作人员只需准备安装有一般的web浏览器应用程序的适宜的终端作为阅览侧的计算机，就能利用日志分析画面81、故障处理支援画面88以及说明书画面93的功能。如此，在本实施方式中，不需要在终端上安装诸如专用应用程序等的特殊软件。由此，该构成非常适用于严格限制电子设备的携入且对携入的电子设备要求高度的保密措施的半导体制造工厂等中使用。
[0072]
如上面说明，在本实施方式中，用以确认与机器人27的动作相关的影像的影像确认计算机65，具备存储电路66和运算电路67。存储电路66能够存储信息。运算电路67输出基于存储电路66的存储内容的信息。存储电路66，存储驱动机器人27的连杆体的电动机的位置信息、以及影像的信息。电动机的位置信息，能够从机器人27的控制器44接收。影像信息能够通过安装在机器人27上的照相机62获取。运算电路67用于使模型区域72以及影像区域73并排显示在本机的显示器上。在模型区域72中，通过计算机绘图显示有再现机器人27的姿势的二维或三维的模型。在影像区域73显示影像。
[0073]
如此通过并排显示2个区域，操作人员能够复合且直观地把握与机器人27的动作相关的状况。由此，操作人员能够平滑且准确地处理状况(例如，故障的产生)。
[0074]
另外，在本实施方式的影像确认计算机65中，与显示在模型区域72的模型对应的时刻、以及与显示在影像区域73的影像对应的时刻同步。
[0075]
由此，能够使模型区域72中的模型动作的再现与影像区域73中的动画的再生同步。因此，观看画面的操作人员能够容易把握状况。
[0076]
另外，在本实施方式的影像确认计算机65中，存储电路66存储控制器44与其他装置进行通讯的通讯日志。运算电路67除了模型区域72以及影像区域73外，还能够使日志区域74显示在本机上，该日志区域74用于输出通讯日志的履历。通讯日志履历的显示在日志区域74的显示时间与模型区域72以及影像区域73的时刻同步。
[0077]
由此，日志区域74的显示以与显示模型区域72以及影像区域73的时刻一致的时间进行变化。因此，操作人员不会在状况的把握上产生混乱。
[0078]
另外，在本实施方式的影像确认计算机65中，运算电路67显示有共用的搜索条72a，该搜索条72a用于指定与显示在模型区域72的模型对应的时刻、以及与显示在影像区域73的影像对应的时刻。
[0079]
由此，能够通过使用搜索条的直观性操作，指定将哪一时刻上的状况显示在模型区域72以及影像区域73。因此，操作人员能够容易把握想要了解的时刻的状况。另外，由于搜索条72a被共用，因此能够实现操作时不易产生混乱的简洁画面。
[0080]
上面，说明了本发明的优选实施方式，但所述构成例如能够变更如下。
[0081]
也能够将机器人27的正常状态下的信息存储在影像确认计算机65的存储电路66以及控制器44的存储电路46中的至少一个中。在此种情况下，当产生故障时，能够在影像确认计算机65或处理计算机70中，显示正常状态下的信息以供参考。该构成在影像确认计算机65显示的状况确认画面71上的图形区域75中特别有用。这是因为图形区域75的图表即使在正常状态下也可能大幅变动，若无比较的标准，则无法区分异常与正常。也能够在图形区域75的图表中一并显示一参数(例如、数值的平均值、最大值、最小值等)，该参数显示正常状态下的图表的特征。
[0082]
显示日志分析画面81、故障处理支援画面88以及说明书画面93中的至少一个的计算机，也能够为用以对机器人27进行教学作业而操作的教学器。
[0083]
当通过教学器进行教学作业时，由安装在机器人27上的照相机62获取的影像也能够利用于辅助教学。
[0084]
也能够由一个硬件(计算机)实现影像确认计算机65以及处理计算机70。
[0085]
影像确认计算机65所显示的状况确认画面71，也能够与日志分析画面81等相同，
由浏览器显示。
[0086]
影像确认计算机65，也能够取代本机的显示器或除此之外，使连接于影像确认计算机65的另一台计算机的显示器显示状况确认画面71。