一种光刻机的晶片传送机构的制作方法

1.本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机的晶片传送机构。


背景技术：

2.光刻机是制造芯片的核心装备，光刻机的晶片在进行光刻时需要经过上料、加工、出料等步骤，现有的这些过程无法集中在一起实现连续的传送，对整个生产的效率具有一定的影响，针对这样的问题我们提出一种光刻机的晶片传送机构。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种光刻机的晶片传送机构。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
5.一种光刻机的晶片传送机构，包括第一壳体，所述第一壳体上安装有电机，所述电机的输出轴固定有连杆，所述连杆上固定有圆柱状的拨块，所述第一壳体的顶部通过支架固定有固定座，所述固定座的侧边设置有晶片出料口，所述第一壳体上转动套接有空心的转轴，所述转轴上套接有槽轮和定位盘，所述定位盘转动套接在固定座内，所述定位盘上设置有呈圆周阵列布置的晶片放置口，所述第一壳体的内部固定有固定轴，所述固定轴活动贯穿转轴，所述固定轴上固定有安装板，所述安装板上安装有推料机构。
6.优选的，所述推料机构包括液压缸、齿轮架、齿轮、第一齿条、推板、第二齿条、第二壳体，所述第二壳体固定在安装板上，所述第二壳体的内部固定有第一齿条，所述第二壳体的一端安装有液压缸，所述液压缸的活塞杆固定有齿轮架，所述齿轮架上转动安装有齿轮，所述第二壳体的侧边滑动贯穿有第二齿条，所述第二齿条的侧边固定有推板，所述第二壳体的底部设置有条形的滑孔，所述推板滑动安装在滑孔内。
7.优选的，所述齿轮分别与第一齿条、第二齿条啮合，所述第二齿条与推板垂直。
8.优选的，所述晶片放置口设置有四个。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
10.1、本实用新型中，电机的输出轴带动连杆转动，连杆带动拨块移动，通过拨块与槽轮之间的配合可带动固定轴每次转动九十度的间歇运动，从而针对晶片放置口可形成不同的工位，比如上料工位、加工工位、推料工位，从而可对晶片进行连续的传送，晶片开始在上料工位且放置在晶片放置口内，然后转动九十度后进入加工工位，加工完成后再次转动九十度进入推料工位；
11.2、本实用新型中，液压缸的活塞杆通过齿轮架带动齿轮移动，齿轮与第一齿条、第二齿条啮合，由于第一齿条固定，因此，通过齿轮可快速带动第二齿条移动，通过第二齿条带动推板将晶片推出，非常方便，晶片推出后推板复位。
附图说明
12.图1为本实用新型提出的一种光刻机的晶片传送机构的结构示意图；
13.图2为本实用新型提出的一种光刻机的晶片传送机构的槽轮的结构示意图；
14.图3为本实用新型提出的一种光刻机的晶片传送机构的固定座的结构示意图；
15.图4为本实用新型提出的一种光刻机的晶片传送机构的定位盘的结构示意图；
16.图5为本实用新型提出的一种光刻机的晶片传送机构的推料机构的结构示意图。
17.图中：1第一壳体、2转轴、3支架、4槽轮、5电机、6连杆、7拨块、8固定座、9定位盘、10固定轴、11安装板、12推料机构、121液压缸、122齿轮架、123齿轮、124第一齿条、125推板、126第二齿条、127第二壳体、13晶片出料口、14晶片放置口。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
19.参照图1、图2、图3、图4，一种光刻机的晶片传送机构，包括第一壳体1，第一壳体1上安装有电机5，电机5的输出轴固定有连杆6，连杆6上固定有圆柱状的拨块7，第一壳体1的顶部通过支架3固定有固定座8，固定座8的侧边设置有晶片出料口13，第一壳体1上转动套接有空心的转轴2，转轴2上套接有槽轮4和定位盘9，定位盘9转动套接在固定座8内，定位盘9上设置有呈圆周阵列布置的晶片放置口14，，晶片放置口14设置有四个，第一壳体1的内部固定有固定轴10，固定轴10活动贯穿转轴2，固定轴10上固定有安装板11，安装板11上安装有推料机构12。
20.参照图5，推料机构12包括液压缸121、齿轮架122、齿轮123、第一齿条124、推板125、第二齿条126、第二壳体127，第二壳体127固定在安装板11上，第二壳体127的内部固定有第一齿条124，第二壳体127的一端安装有液压缸121，液压缸121的活塞杆固定有齿轮架122，齿轮架122上转动安装有齿轮123，第二壳体127的侧边滑动贯穿有第二齿条126，第二齿条126的侧边固定有推板125，第二壳体127的底部设置有条形的滑孔，推板125滑动安装在滑孔内，齿轮123分别与第一齿条124、第二齿条126啮合，第二齿条126与推板125垂直。
21.工作原理：电机15的输出轴带动连杆6转动，连杆6带动拨块7移动，通过拨块7与槽轮4之间的配合可带动固定轴10每次转动九十度的间歇运动，从而针对晶片放置口14可形成不同的工位，比如上料工位、加工工位、推料工位，从而可对晶片进行连续的传送，晶片开始在上料工位且放置在晶片放置口14内，然后转动九十度后进入加工工位，加工完成后再次转动九十度进入推料工位；
22.液压缸121的活塞杆通过齿轮架122带动齿轮123移动，齿轮123与第一齿条124、第二齿条126啮合，由于第一齿条124固定，因此，通过齿轮123可快速带动第二齿条126移动，通过第二齿条126带动推板125将晶片推出，非常方便，晶片推出后推板125复位。
23.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种光刻机的晶片传送机构，包括第一壳体(1)，其特征在于，所述第一壳体(1)上安装有电机(5)，所述电机(5)的输出轴固定有连杆(6)，所述连杆(6)上固定有圆柱状的拨块(7)，所述第一壳体(1)的顶部通过支架(3)固定有固定座(8)，所述固定座(8)的侧边设置有晶片出料口(13)，所述第一壳体(1)上转动套接有空心的转轴(2)，所述转轴(2)上套接有槽轮(4)和定位盘(9)，所述定位盘(9)转动套接在固定座(8)内，所述定位盘(9)上设置有呈圆周阵列布置的晶片放置口(14)，所述第一壳体(1)的内部固定有固定轴(10)，所述固定轴(10)活动贯穿转轴(2)，所述固定轴(10)上固定有安装板(11)，所述安装板(11)上安装有推料机构(12)。2.根据权利要求1所述的一种光刻机的晶片传送机构，其特征在于，所述推料机构(12)包括液压缸(121)、齿轮架(122)、齿轮(123)、第一齿条(124)、推板(125)、第二齿条(126)、第二壳体(127)，所述第二壳体(127)固定在安装板(11)上，所述第二壳体(127)的内部固定有第一齿条(124)，所述第二壳体(127)的一端安装有液压缸(121)，所述液压缸(121)的活塞杆固定有齿轮架(122)，所述齿轮架(122)上转动安装有齿轮(123)，所述第二壳体(127)的侧边滑动贯穿有第二齿条(126)，所述第二齿条(126)的侧边固定有推板(125)，所述第二壳体(127)的底部设置有条形的滑孔，所述推板(125)滑动安装在滑孔内。3.根据权利要求2所述的一种光刻机的晶片传送机构，其特征在于，所述齿轮(123)分别与第一齿条(124)、第二齿条(126)啮合，所述第二齿条(126)与推板(125)垂直。4.根据权利要求1所述的一种光刻机的晶片传送机构，其特征在于，所述晶片放置口(14)设置有四个。

技术总结
本实用新型公开了一种光刻机的晶片传送机构，包括第一壳体，所述第一壳体上安装有电机，所述电机的输出轴固定有连杆，所述连杆上固定有圆柱状的拨块，所述第一壳体的顶部通过支架固定有固定座，所述固定座的侧边设置有晶片出料口，所述第一壳体上转动套接有空心的转轴，所述转轴上套接有槽轮和定位盘，所述定位盘转动套接在固定座内，所述定位盘上设置有呈圆周阵列布置的晶片放置口，所述第一壳体的内部固定有固定轴，所述固定轴活动贯穿转轴，所述固定轴上固定有安装板，所述安装板上安装有推料机构。本实用新型操作方便，传送效率高。传送效率高。传送效率高。


技术研发人员：胡德立
受保护的技术使用者：江苏微影半导体有限公司
技术研发日：2022.01.27
技术公布日：2022/7/28