一种背压阀的制作方法

1.本实用新型涉及阀门领域，特别涉及一种背压阀。


背景技术：

2.随着半导体及芯片领域的不断发展，各种强酸、强碱、强氧化性等介质的应用，目前现有大部分产品为不锈钢材质，不锈钢材质无法运用到、强酸、强碱、强氧化性的介质中，市场上缺少能运用到强酸、强碱、强氧化性介质中的背压阀产品。另外，目前的背压阀还存在如下问题：阀芯为一体件，而阀芯容易受损的部位为控制启闭的区域，整体更换成本较高；阀芯的启闭运动的稳定性较差。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是提供一种耐腐蚀且使用寿命较长的背压阀。
4.实现本实用新型目的的技术方案是提供一种背压阀，包括阀体组件、壳体组件、启闭控制组件、膜片组件、阀芯组件和压力表6。
5.阀体组件包括阀体和阀体下盖；阀体呈凸字形，上下左右均开口，阀体内部中央设有分隔座，分隔座的上端面中央设有上下贯通的启闭孔，分隔座将阀体的内部空间分隔为由左端通孔和上端通孔贯通形成的阀前通道以及由下端通孔和右端通孔贯通形成的阀后通道。阀体的上端开口处内端面呈上大下小的台阶状。阀体下盖安装在阀体的下端开口处；
6.壳体组件包括上盖壳体、调节螺栓和插销；上盖壳体的下端开口且内端面设有内螺纹，上端中央设有上下贯通的螺栓安装孔；上盖壳体内部设有横截面呈环形的膜片限位座；调节螺栓设有位于中下段的调节螺纹部，调节螺栓限位设置在上盖壳体的螺栓安装孔内，插销垂直于调节螺栓的轴向设置在调节螺栓的底部；上盖壳体可拆卸地安装在阀体的上端开口处；
7.启闭控制组件包括调节螺帽、第一弹簧、第二弹簧和弹簧垫座；调节螺帽中央设有上下贯通的螺纹通孔，且螺纹通孔的大小与调节螺栓的调节螺纹部对应；调节螺帽由其螺纹通孔旋合在调节螺栓的调节螺纹部上而调节螺帽能由于调节螺栓的转动而上下运动；弹簧垫座呈圆盘形，弹簧垫座的下端面中央设有凹陷的阀芯螺丝限位槽；第一弹簧套在调节螺栓的下部且径向限位，第二弹簧包在第一弹簧外周且径向限位；第一弹簧和第二弹簧的上端与调节螺帽连接而上限位，下端与弹簧垫座连接而下限位；
8.膜片组件包括膜片垫块、膜片压片和膜片；膜片垫块呈环形，膜片垫块的大小与上盖壳体的膜片限位座对应；膜片呈圆形，设有上下贯通的中央通孔，膜片的上端面径向中外部设有泳圈状的凸起限位部；膜片压片呈盘形，设有与膜片对应的中央通孔，膜片压片的大小与膜片位于凸起限位部内端的盘面大小一致；
9.阀芯组件包括下阀芯、上阀芯、阀芯螺丝和过渡板。下阀芯呈从上至下渐小的三段状，其最上方大小与阀体的分隔座的启闭孔大小对应，下阀芯的上部呈倒圆台形，中部及下部呈柱形；下阀芯的上端面中央设有具有内螺纹的第一盲孔。上阀芯呈柱形，其外径大于阀
体的分隔座的启闭孔；上阀芯中央设有上下贯通的具有内螺纹且与膜片的中央通孔、下阀芯的第一盲孔对应的内螺纹连接孔。过渡板包括位于内侧的环形的主部和连接在主部的周向外上侧的环形的膜片连接部，主部中央设有与上阀芯的外径大小对应的上下贯通的阀芯连接孔，主部设有绕阀芯连接孔呈十字分布的四个上下贯通的压力孔；膜片连接部的外径与阀体的上端开口处的台阶部位的上部内径对应，主部与阀体的上端开口处的台阶部位的下部内径对应；主部在与膜片连接部连接的外周部位设有环形凸起形成三段式台阶状。阀芯螺丝穿过膜片压片和膜片的中央通孔后旋合穿过上阀芯的内螺纹连接孔并旋合在下阀芯的第一盲孔内；阀芯螺丝及膜片压片、膜片、下阀芯、上阀芯设置在弹簧垫座的正下方，阀芯螺丝的头部位于弹簧垫座的阀芯螺丝限位槽内，下阀芯伸入阀体的分隔座的启闭孔，过渡板由其阀芯连接孔套在上阀芯的外周，过渡板由其外周最下端的台阶嵌入在阀体的上端内侧的台阶部位上，过渡板的膜片连接部外周被阀体的上端内侧的台阶部位的上部所包围；膜片垫块由其下端面压至膜片的上端面外边缘上，上盖壳体的膜片限位座抵至膜片垫块的上端面。
10.压力表安装在阀体上，且与前后通道贯通。
11.进一步的，阀体、阀体下盖、下阀芯、上阀芯、过渡板均采用pvc-u/c、pph或者pvdf材料制成；垫圈采用ptfe材料制成；膜片是复合膜片，采用从上到下依次是epdm、网布、epdm、ptfe的材料复合制成。
12.进一步的，阀体组件还包括两个承口、两个承口螺帽、两个第一o型圈和第二o型圈；阀体的左右两端开口处外周均设有外螺纹，环形的左右端面均设有环形的第一密封圈槽，阀体的上端开口处外周设有外螺纹，阀体的下端中央开口处设有内螺纹；阀体下盖由螺纹旋合安装在阀体的下端开口处将阀体下端封闭，第二o型圈设置在阀体下盖和阀体之间。两个承口分别通过相应的承口螺帽安装在阀体的左右两端，第一o型圈设置在相应的第一密封圈槽内。
13.进一步的，壳体组件还包括盖板和外六角螺母；上盖壳体呈上小下大的半纺锤形，螺栓安装孔的底部位置设有环形的螺栓限位凸起；上盖壳体内上部设有横截面呈正六边形的弹簧限位座，位于弹簧限位座的外层位置设有横截面呈环形的膜片限位座；调节螺栓包括从上至下依次连接的螺母连接部、第一颈部、径向限位部、第二颈部、轴向限位部、调节螺纹部和插销安装部，径向限位部的大小与上盖壳体的螺栓安装孔对应，第二颈部的大小与上盖壳体的螺栓限位凸起对应，轴向限位部大于上盖壳体的螺栓安装孔；调节螺栓的螺母连接部上端面设有内六角盲孔；外六角螺母的大小与调节螺栓的螺母连接部对应；插销垂直于调节螺栓的轴向设置在调节螺栓的插销安装部上；调节螺栓的径向限位部设置在上盖壳体的螺栓安装孔内，螺母连接部凸出与上盖壳体，第二颈部卡设在上盖壳体的螺栓限位凸起上，从而调节螺栓通过其轴向限位部与径向限位部被上盖壳体轴向限位；外六角螺母旋合连接在调节螺栓的螺母连接部上；盖板通过过盈配合卡扣在外六角螺母上；上盖壳体由其下端开口处的内螺纹旋合连接在阀体的上端开口处的外螺纹上而安装在阀体上。
14.进一步的，调节螺帽包括呈正六边形的限位部和连接在限位部下方中央的管状的连接颈部，限位部的大小与上盖壳体的弹簧限位座的内横截面对应；调节螺帽向上运动时由限位部被调节螺栓的轴向限位部所阻挡；弹簧垫座的周向边沿设有向上的环形凸缘，上端面中央设有第一弹簧支撑柱，上端面位于第一支撑柱外侧设有环形的限位柱，整个弹簧
垫座的大小与上盖壳体的弹簧限位座的内横截面对应；弹簧垫座的阀芯螺丝限位槽内中央设有半球状的凸球体；第一弹簧套在调节螺帽的连接颈部和弹簧垫座的第一弹簧支撑柱上，其上下两端分别与调节螺帽的限位部下端面及弹簧垫座的限位柱上端面连接；第二弹簧设置在第一弹簧外侧与上盖壳体的弹簧限位座之间，其上下两端分别与调节螺帽的限位部下端面及弹簧垫座位于限位柱外端的部位连接；调节螺帽向上运动时由限位部被调节螺栓的轴向限位部所阻挡；调节螺帽向下运动时由连接颈部被弹簧垫座的第一弹簧支撑柱所阻挡。
15.进一步的，膜片的下端面外周设有泳圈状的外凸起卡扣部，下端面的内周部设有泳圈状的内凸起卡扣部；阀芯组件还包括第三o型圈、垫圈和第四o型圈；上阀芯的下端面设有环形的垫圈槽，上端面设有与膜片的内凸起卡扣部对应的第一限位槽，外周中部设有环形的第三密封槽；阀芯螺丝的上端面中央设有与弹簧垫座的凸球体对应的压力凹槽。膜片连接部的上端面设有与膜片的外凸起卡扣部对应的第二限位槽，膜片连接部的外周面中部设有环形的第四密封槽；膜片的内凸起卡扣部嵌入在上阀芯的第一限位槽内，垫圈设置在上阀芯的垫圈槽内。弹簧垫座的凸球体压至阀芯螺丝的压力凹槽内；第三o型圈设置在上阀芯的第三密封槽内；膜片的外凸起卡扣部嵌入在过渡板的膜片连接部的第二限位槽内，第四o型圈设置在过渡板的第四密封槽内；膜片垫块与阀体的上端周壁通过榫槽上下接插连接。
16.进一步的，承口、承口螺帽均采用pvc-u/c、pph或者pvdf材料制成；阀芯螺丝、外六角螺母、调节螺栓、插销、弹簧垫座、膜片压片均采用304不锈钢材料制成；调节螺帽采用h62黄铜材料制成；第一弹簧、第二弹簧均采用弹簧钢制成；上盖壳体、盖板、膜片垫块均采用pp gf30材料制成；第一o型圈、第二o型圈、第三o型圈、第四o型圈均采用fpm密封o型圈。
17.进一步的，阀体的中部外端面设有压力表安装座，压力表安装座与阀前通道贯通；压力表安装在阀体的压力表安装座内。
18.本实用新型具有积极的效果：（1）本实用新型的背压阀的阀体、阀体下盖、承口、承口螺帽、下阀芯、上阀芯、过渡板均采用pvc-u/c、pph或者pvdf材料制成；垫圈采用ptfe材料制成；膜片是复合膜片，采用从上到下依次是epdm、网布、epdm、ptfe的材料复合制成，可以有效的运用到、强酸、强碱、强氧化性的介质中，耐腐蚀。背压阀使用时，液体从左侧承口进入，当液体经过阀前通道至过渡板，进入膜片的下方，对膜片产生向上推力，当推力大于第一弹簧和第二弹簧的弹力时，则推动膜片压缩两个弹簧而带动上阀芯和下阀芯向上运动，起打开作用，液体可以从启闭孔进入阀后通道，使阀后压力增加，当阀前压力小于两个弹簧的弹力时则膜片向下运动，起关闭作用，使阀前通道的液体积蓄压力，达到设定值时阀门才会打开，保证阀后压力稳定，旋转调节螺栓可调整调节螺帽的上下位置人调节弹簧的弹力，使阀前压力保持在一定的数值，阀压控制非常稳定精确。
19.（2）本实用新型的背压阀的阀芯采用上阀芯、下阀芯的可拆设计，在连接处设置垫圈确保密封性和耐压形，更换某一阀芯方便快捷，使得整个背压阀的使用寿命较长。
20.（3）本实用新型的背压阀的膜片垫块、膜片压片、膜片及过渡板的设计使得整个阀芯的上下启闭运动非常稳定，能更精确及稳定的控制阀压，有效提高整个背压阀的控制精度。
附图说明
21.图1为本实用新型的背压阀的一种结构示意图（主视图）；
22.图2为图1的俯视图；
23.图3为图2的a-a面剖视图。
24.上述附图中的标记如下：阀体11，阀体下盖12，承口13，承口螺帽14，第一o型圈15，第二o型圈16，
25.上盖壳体21，盖板22，外六角螺母23，调节螺栓24，插销25，
26.调节螺帽31，第一弹簧32，第二弹簧33，弹簧垫座34，
27.膜片垫块41，膜片压片42，膜片43，
28.下阀芯51，上阀芯52，阀芯螺丝53，第三o型圈54，垫圈55，过渡板56，第四o型圈57，
29.压力表6。
具体实施方式
30.（实施例1）
31.见图1至图3，本实施例的背压阀包括阀体组件、壳体组件、启闭控制组件、膜片组件、阀芯组件和压力表6。
32.阀体组件包括阀体11、阀体下盖12、两个承口13、两个承口螺帽14、两个第一o型圈15和第二o型圈16。阀体11呈凸字形，上下左右均开口，阀体11的左右两端开口处外周均设有外螺纹，环形的左右端面均设有环形的第一密封圈槽，阀体11的上端开口处外周设有外螺纹，阀体11的下端中央开口处设有内螺纹；阀体11内部中央设有分隔座，分隔座的上端面中央设有上下贯通的启闭孔，分隔座将阀体11的内部空间分隔为由左端通孔和上端通孔贯通形成的阀前通道以及由下端通孔和右端通孔贯通形成的阀后通道。阀体11的上端开口处内端面呈上大下小的台阶状。阀体11的中部外端面设有压力表安装座，压力表安装座与阀前通道贯通。阀体下盖12由螺纹旋合安装在阀体11的下端开口处将阀体11下端封闭以供维护用，第二o型圈16设置在阀体下盖12和阀体11之间以密封。两个承口13分别通过相应的承口螺帽14安装在阀体11的左右两端，第一o型圈15设置在相应的第一密封圈槽内以密封。
33.壳体组件包括上盖壳体21、盖板22、外六角螺母23、调节螺栓24和插销25。上盖壳体21呈上小下大的半纺锤形，其下端开口且内端面设有内螺纹，上端中央设有上下贯通的螺栓安装孔，螺栓安装孔的底部位置设有环形的螺栓限位凸起；上盖壳体21内上部设有横截面呈正六边形的弹簧限位座，位于弹簧限位座的外层位置设有横截面呈环形的膜片限位座。调节螺栓24包括从上至下依次连接的螺母连接部、第一颈部、径向限位部、第二颈部、轴向限位部、调节螺纹部和插销安装部，径向限位部的大小与上盖壳体21的螺栓安装孔对应，第二颈部的大小与上盖壳体21的螺栓限位凸起对应，轴向限位部大于上盖壳体21的螺栓安装孔；调节螺栓24的螺母连接部上端面设有内六角盲孔；外六角螺母23的大小与调节螺栓24的螺母连接部对应；插销25垂直于调节螺栓24的轴向设置在调节螺栓24的插销安装部上。调节螺栓24的径向限位部设置在上盖壳体21的螺栓安装孔内，螺母连接部凸出与上盖壳体21，第二颈部卡设在上盖壳体21的螺栓限位凸起上，从而调节螺栓24通过其轴向限位部与径向限位部被上盖壳体21轴向限位。外六角螺母23旋合连接在调节螺栓24的螺母连接部上。盖板22通过过盈配合卡扣在外六角螺母23上。上盖壳体21由其下端开口处的内螺纹
旋合连接在阀体11的上端开口处的外螺纹上而安装在阀体11上。
34.启闭控制组件包括调节螺帽31、第一弹簧32、第二弹簧33和弹簧垫座34。调节螺帽31包括呈正六边形的限位部和连接在限位部下方中央的管状的连接颈部，调节螺帽31中央设有上下贯通的螺纹通孔，且螺纹通孔的大小与调节螺栓24的调节螺纹部对应；限位部的大小与上盖壳体21的弹簧限位座的内横截面对应。调节螺帽31由其螺纹通孔旋合在调节螺栓24的调节螺纹部上而调节螺帽31能由于调节螺栓24的转动而上下运动，且向上运动时由限位部被调节螺栓24的轴向限位部所阻挡。弹簧垫座34呈圆盘形，周向边沿设有向上的环形凸缘，上端面中央设有第一弹簧支撑柱，上端面位于第一支撑柱外侧设有环形的限位柱，整个弹簧垫座34的大小与上盖壳体21的弹簧限位座的内横截面对应；弹簧垫座34的下端面中央设有凹陷的阀芯螺丝限位槽，阀芯螺丝限位槽内中央设有半球状的凸球体。第一弹簧32套在调节螺帽31的连接颈部和弹簧垫座34的第一弹簧支撑柱上，其上下两端分别与调节螺帽31的限位部下端面及弹簧垫座34的限位柱上端面连接。第二弹簧33设置在第一弹簧32外侧与上盖壳体21的弹簧限位座之间，其上下两端分别与调节螺帽31的限位部下端面及弹簧垫座34位于限位柱外端的部位连接。调节螺帽31向下运动时由连接颈部被弹簧垫座34的第一弹簧支撑柱所阻挡。
35.膜片组件包括膜片垫块41、膜片压片42和膜片43。膜片垫块41呈环形，膜片垫块41的大小与上盖壳体21的膜片限位座对应。膜片43呈圆形，设有上下贯通的中央通孔，膜片43的上端面径向中外部设有泳圈状的凸起限位部，下端面外周设有泳圈状的外凸起卡扣部，下端面的内周部设有泳圈状的内凸起卡扣部。膜片压片42呈盘形，设有与膜片43对应的中央通孔，膜片压片42的大小与膜片43位于凸起限位部内端的盘面大小一致。
36.阀芯组件包括下阀芯51、上阀芯52、阀芯螺丝53、第三o型圈54、垫圈55、过渡板56和第四o型圈57。下阀芯51呈从上至下渐小的三段状，其最上方大小与阀体11的分隔座的启闭孔大小对应，下阀芯51的上部呈倒圆台形，中部及下部呈柱形；下阀芯51的上端面中央设有具有内螺纹的第一盲孔。上阀芯52呈柱形，其外径大于阀体11的分隔座的启闭孔；上阀芯52的下端面设有环形的垫圈槽，上端面设有与膜片43的内凸起卡扣部对应的第一限位槽，外周中部设有环形的第三密封槽；上阀芯52中央设有上下贯通的具有内螺纹且与膜片43的中央通孔、下阀芯51的第一盲孔对应的内螺纹连接孔。阀芯螺丝53的上端面中央设有与弹簧垫座34的凸球体对应的压力凹槽。过渡板56包括位于内侧的环形的主部和连接在主部的周向外上侧的环形的膜片连接部，主部中央设有与上阀芯52的外径大小对应的上下贯通的阀芯连接孔，主部设有绕阀芯连接孔呈十字分布的四个上下贯通的压力孔；膜片连接部的上端面设有与膜片43的外凸起卡扣部对应的第二限位槽，膜片连接部的外周面中部设有环形的第四密封槽；膜片连接部的外径与阀体11的上端开口处的台阶部位的上部内径对应，主部与阀体11的上端开口处的台阶部位的下部内径对应；主部在与膜片连接部连接的外周部位设有环形凸起形成三段式台阶状。阀芯螺丝53穿过膜片压片42和膜片43的中央通孔后旋合穿过上阀芯52的内螺纹连接孔并旋合在下阀芯51的第一盲孔内，且膜片43的内凸起卡扣部嵌入在上阀芯52的第一限位槽内，垫圈55设置在上阀芯52的垫圈槽内。阀芯螺丝53及膜片压片42、膜片43、下阀芯51、上阀芯52设置在弹簧垫座34的正下方，弹簧垫座34的凸球体压至阀芯螺丝53的压力凹槽内，下阀芯51伸入阀体11的分隔座的启闭孔，上阀芯52的下端面抵至阀体11的分隔座，过渡板56由其阀芯连接孔套在上阀芯52的外周，第三o型圈54设
置在上阀芯52的第三密封槽内，过渡板56由其外周最下端的台阶嵌入在阀体11的上端内侧的台阶部位上，过渡板56的膜片连接部外周被阀体11的上端内侧的台阶部位的上部所包围，且膜片43的外凸起卡扣部嵌入在过渡板56的膜片连接部的第二限位槽内，第四o型圈57设置在过渡板56的第四密封槽内。膜片垫块41由其下端面压至膜片43的上端面外边缘上，且膜片垫块41与阀体11的上端周壁通过榫槽上下接插连接，上盖壳体21的膜片限位座抵至膜片垫块41的上端面。
37.压力表6安装在阀体11的压力表安装座内，且与阀前通道贯通。
38.上述各部件中，阀体11、阀体下盖12、承口13、承口螺帽14、下阀芯51、上阀芯52、过渡板56均采用pvc-u/c、pph或者pvdf材料制成；阀芯螺丝53、外六角螺母23、调节螺栓24、插销25、弹簧垫座34、膜片压片42均采用304不锈钢材料制成；调节螺帽31采用h62黄铜材料制成；第一弹簧32、第二弹簧33均采用弹簧钢制成；垫圈55采用ptfe材料制成；膜片43是复合膜片，采用从上到下依次是epdm、网布、epdm、ptfe的材料复合制成；上盖壳体21、盖板22、膜片垫块41均采用pp gf30材料制成；第一o型圈15、第二o型圈16、第三o型圈54、第四o型圈57均采用fpm密封o型圈。
39.见图3，初始时上阀芯52的下端面抵至启闭孔而将阀前、阀后通道断开贯通，本实施例的背压阀使用时，液体从左侧承口13进入，当液体经过阀前通道至过渡板56，进入膜片43的下方，对膜片43产生向上推力，当推力大于第一弹簧32和第二弹簧33的弹力时，则推动膜片43压缩两个弹簧而带动上阀芯52和下阀芯51向上运动，起打开作用，液体可以从启闭孔进入阀后通道，使阀后压力增加，当阀前压力小于两个弹簧的弹力时则膜片43向下运动，起关闭作用，使阀前通道的液体积蓄压力，达到设定值时阀门才会打开，保证阀后压力稳定，旋转调节螺栓24可调整调节螺帽31的上下位置人调节弹簧的弹力，使阀前压力保持在一定的数值，阀前压力采用压力表6监控。
40.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本实用新型的精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。