一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置的制作方法

技术特征：
1.一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，包括同轴设置的探针针轴(4)、探针套筒(3)、探针弹簧(2)和探针顶端封盖(1)，所述探针套筒(3)包括套筒腔体(301)和套筒限位部(302)，所述套筒限位部(302)设置在套筒腔体(301)的底端，所述探针弹簧(2)套设在套筒腔体(301)内；所述探针针轴(4)包括针轴本体(401)、针轴卡接部(402)和针轴端部(403)，所述针轴卡接部(402)设置在针轴本体(401)的上部，所述针轴本体(401)的上部套设在套筒腔体(301)内且所述针轴卡接部(402)卡设在套筒限位部(302)之上，所述针轴端部(403)设置在针轴本体(401)的底端且与石墨烯薄膜材料接触；所述探针顶端封盖(1)设置在套筒腔体(301)的顶端，所述探针弹簧(2)的一端与探针顶端封盖(1)相抵，所述探针弹簧(2)的另一端与探针针轴(4)的顶端平面相抵。2.根据权利要求1所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述探针顶端封盖(1)包括封盖本体(101)、封盖顶端(102)和封盖连接部(103)，所述封盖连接部(103)设置在封盖本体(101)的底端中心，所述封盖连接部(103)自套筒腔体(301)的顶端插入其内，所述封盖顶端(102)焊接导电线。3.根据权利要求2所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述封盖连接部(103)的外径与套筒腔体(301)的内径相同。4.根据权利要求3所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述探针弹簧(2)包括弹簧本体(201)和由弹簧本体(201)围成的弹簧腔体(202)，所述弹簧腔体(202)的外径与套筒腔体(301)的内径相同。5.根据权利要求4所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述探针针轴(4)的针轴端部(403)为弧度不同的圆截面半球状弧面或圆截面状平面。6.根据权利要求5所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述针轴端部(403)为半球针尖夹角为150
°‑
100
°
。7.根据权利要求1所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述针轴卡接部(402)的外径与套筒腔体(301)的内径相同。8.根据权利要求7所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述针轴卡接部(402)的棱角均采用倒圆角处理。9.根据权利要求1所述的一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，其特征在于，所述探针顶端封盖(1)、探针弹簧(2)、探针套筒(3)和探针针轴(4)的材质均具有导电性能。

技术总结
本发明涉及一种用于测量石墨烯薄膜材料电阻率的探针装置，探针套筒的套筒限位部设置在套筒腔体的底端，探针弹簧套设在套筒腔体内；探针针轴的针轴卡接部设置在针轴本体的上部，针轴本体的上部套设在套筒腔体内且所述针轴卡接部卡设在套筒限位部之上，针轴端部设置在针轴本体的底端且与石墨烯薄膜材料接触。探针顶端封盖设置在套筒腔体的顶端，探针弹簧的一端与探针顶端封盖相抵，探针弹簧的另一端与探针针轴的顶端平面相抵。针对不同膜厚的石墨烯薄膜材料设计不同的探针端部，精度高，测量结果稳定。使用探针装置测量石墨烯薄膜材料的电阻率，可大大减小对石墨烯薄膜材料表面的破坏，可实现在不同测试原理或不同仪器上多次使用同材料进行测量。用同材料进行测量。用同材料进行测量。


技术研发人员：金森林 曹俊伟 任玲玲
受保护的技术使用者：中国计量科学研究院
技术研发日：2022.05.07
技术公布日：2022/7/22