一种滚链托盘输送的烘干炉的制作方法

技术特征：
1.一种滚链托盘输送的烘干炉，其特征在于，包括输送花篮、上层烘干区和下层回送区，所述上层烘干区的前端与所述上层烘干区的后端均安装有链条齿轮，所述链条齿轮之间传动连接有双节距网链，所述双节距网链上设置有定位托盘和辅助安装片，所述辅助安装片与所述双节距网链一体成型，所述定位托盘的侧边与所述辅助安装片固定连接，所述定位托盘设置有定位柱，所述输送花篮的底部设置有定位孔，所述定位柱插入所述定位孔中，所述上层烘干区的前端与所述上层烘干区的后端还设置有保温控制门，所述保温控制门包括移动门、上同步齿轮和下同步齿轮，所述上同步齿轮与所述下同步齿轮之间链条传动连接，所述上同步齿轮传动连接有上链条，所述移动门的上端与所述上链条固定连接，所述下同步齿轮传动连接有下齿轮，所述移动门的下端与所述下齿轮啮合，所述移动门沿着水平方向移动。2.根据权利要求1所述的一种滚链托盘输送的烘干炉，其特征在于，所述保温控制门上还设置有门电机和横架，所述门电机安装在所述横架的一端，所述门电机的驱动端与所述上同步齿轮传动连接，所述上链条横向安装在所述横架的内部。3.根据权利要求1所述的一种滚链托盘输送的烘干炉，其特征在于，所述横架上设置有门滑轨，所述移动门的上端固定有门滑块，所述门滑块横向滑动在所述门滑轨上。4.根据权利要求1所述的一种滚链托盘输送的烘干炉，其特征在于，所述移动门的下端等间距设置有若干传动轴，所述下齿轮与所述传动轴啮合连接。5.根据权利要求1所述的一种滚链托盘输送的烘干炉，其特征在于，所述上层烘干区的后端还设置有冷却区，所述冷却区的两侧设置有冷风板，所述冷风板上安装有若干冷风风扇。6.根据权利要求5所述的一种滚链托盘输送的烘干炉，其特征在于，所述冷却区的上端安装有冷却水路，所述冷却水路与所述冷风板连通。7.根据权利要求1所述的一种滚链托盘输送的烘干炉，其特征在于，所述下层回送区上设置有回篮输送带，所述回篮输送带上安装有倍速回篮链条，所述倍速回篮链条上安装有若干滚筒。8.根据权利要求1所述的一种滚链托盘输送的烘干炉，其特征在于，所述输送花篮包括花篮上板和花篮下板，所述花篮上板与所述花篮下板之间连接有花篮固定柱和储板柱，所述储板柱上设置有若干板子卡位，所述定位孔处于所述花篮下板上。9.根据权利要求1所述的一种滚链托盘输送的烘干炉，其特征在于，所述上层烘干区的两侧分别设置有一条所述双节距网链，所述双节距网链之间连接有链杆。10.根据权利要求1所述的一种滚链托盘输送的烘干炉，其特征在于，所述上层烘干区的顶部安装有氮气系统，所述氮气系统包括燃烧塔、电控风阀调节开关、氮气抽测管和氮气注入管。

技术总结
本发明公开一种滚链托盘输送的烘干炉，包括输送花篮、上层烘干区和下层回送区，所述上层烘干区的前端与所述上层烘干区的后端均安装有链条齿轮，所述链条齿轮之间传动连接有双节距网链，所述双节距网链上设置有定位托盘和辅助安装片，所述定位托盘设置有定位柱，所述输送花篮的底部设置有定位孔，所述定位柱插入所述定位孔中，所述上层烘干区的前端与所述上层烘干区的后端还设置有保温控制门。该烘干炉采用双节距网链作为输送结构，利用定位托盘对输送花篮进行稳定的速度与间距进行输送，搭配前后的机械手方便取放，而且输送花篮的存在提高了硅片的输送数量，保温控制门又可以减少了烘干炉内部的热量散失，节省生产能源，减少成本。本。本。


技术研发人员：苏金财 陈春芙
受保护的技术使用者：广东科隆威智能装备股份有限公司
技术研发日：2022.05.17
技术公布日：2022/7/22