透镜自动切换机构的制作方法

1.本技术涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种透镜自动切换机构。


背景技术：

2.在半导体激光切割光路中，在对激光光路设计、激光多焦点自动切割等常常用到镜架固定镜片，现有技术中，大多数机构采用单一镜架固定单个镜片，加工不同产品时不能实现自动化功能，需手动切换镜片，每次更换需重新调节光路，耗时且不方便人员操作。
3.为此，本技术提出一种根据不同产品的特性需求可以实现多焦点自动切换的机构。


技术实现要素：

4.为了解决现有技术的不足，本技术的主要目的在于提供透镜自动切换机构，提供一种吸附效果稳定、适用范围广泛、具有散热功能以及产品升降功能的载台。
5.为了达到上述目的，本技术提供了一种透镜自动切换机构，包括：
6.底板，形成有安装平面；
7.转台，转台通过驱动模块设置于所述安装平面，转台上设有安装位；
8.载台，载台安装于所述安装位，用于对镜片进行固定，载台包括滑台和调节台，滑台用于控制载台的水平位置，调节台用于控制载台的角度，
9.其中调节台包括固定板、第一调节板、第二调节板、第一连接部和第二连接部，固定板、第一调节板和第二调节板按顺序在滑台端面依次排布，且固定板和第一调节板之间通过第一连接部弹性连接，第一调节板和第二调节板之间通过第二连接部弹性连接。
10.优选地，所述调节台还包括控制部和顶升轴，控制部包括第一旋钮和第二旋钮，顶升轴包括第一顶升轴和第二顶升轴，
11.第一顶升轴设置于固定板和第一调节板之间，用于对第一调节板进行顶升；
12.第二顶升轴设置于第一调节板和第二调节板之间，用于对第二调节板进行顶升；
13.第一旋钮和通过螺纹连接于第一顶升轴，第二旋钮通过螺纹连接于第二顶升轴，通过第一旋钮控制第一顶升轴相对第一调节板的伸缩，通过第二旋钮控制第二顶升轴相对第二调节板的伸缩。
14.优选地，所述第一顶升轴倾斜设置于固定板和第一调节板之间，第二顶升轴倾斜设置于第一调节板和第二调节板之间。
15.优选地，所述滑台包括底座、滑动板、固定块和推动部，底座固定于所述安装位，滑动板滑动连接于底座，固定块和推动部设于滑台一侧，固定块固定在滑动板侧部，推动部固定于底座侧部，通过推动部伸缩对固定块进行推拉，从而驱动滑动板在底座上往复移动。
16.优选地，所述驱动模块包括电机、带轮一和带轮二，电机驱动轴上设有带轮一，带轮二连接于所述转台上，所述带轮一和带轮二通过传动带连接。
17.优选地，透镜自动切换机构还包括调节组件，调节组件包括调节块和调节架，调节
架设置于所述底板和所述电机之间，调节块设置于所述底板侧部，调节组件用于对传动带松紧带进行调整。
18.优选地，所述调节架包括上连接板、下连接板和连接柱，上连接板和下连接板通过连接柱平行设置，
19.上连接板设有条形孔，上连接板由螺钉通过条形孔连接于所述底板，螺钉拧紧时，上连接板固定于所述底板，螺钉拧松时，上连接板可以通过条形孔在所述底板滑动，用于调节架重新定位；
20.下连接板用于固定所述电机。
21.优选地，所述调节块上设有螺纹孔一，所述上连接板上设有螺纹孔二，调节架安装于底板时，螺纹孔一和螺纹孔二同轴设置，
22.调节组件还包括调节螺栓，调节螺栓在螺纹孔一和螺纹孔二内转动，将调节架向靠近调节块方向驱动，从而对传动带进行张紧。
23.优选地，透镜自动切换机构还包括镜片安装架，所述镜片通过镜片安装架固定于所述载台。
24.优选地，所述安装位可以设置多个，每个安装位用于安装不同镜片。
25.本技术实现的有益效果为：
26.本技术公开了透镜自动切换机构，可以设有多个工位安装不同镜片，以完成不同工艺产品的加工要求，能根据不同产品的特性需求可以实现多焦点自动切换。
27.进一步地，通过设置滑台和调节台，实现激光切割行业镜片多维度调节。
28.进一步地，通过闭环步进电机控制，实现多工位各镜片高精度定位。
29.本技术公开了透镜自动切换机构，可根据不同工艺要求在不同工位安装不同光学镜片实现自动化激光加工。
附图说明
30.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
31.图1是本技术的透镜自动切换机构的示意图；
32.图2是本技术的透镜自动切换机构的仰视图；
33.图3是本技术的载台的结构示意图；
34.图4是本技术的调节台的结构示意图；
35.图5是本技术的调节台的俯视图；
36.图6是图5的调节台在a-a方向的剖视图；
37.图7是本技术的底板的俯视图；
38.图8是图7的底板在b-b方向的剖视图；
39.图中：
40.10-底板；
41.11-电机；12-带轮一；13-带轮二；14-转台；
42.20-调节组件；
43.21-调节块；22-调节架；211-螺纹孔一；221-上连接板；222-下连接板；223-连接柱；224-螺纹孔二；
44.30-载台；
45.31-滑台；311-底座；312-滑动板；313-固定块；314-推动部；
46.32-调节台；321-固定板；322-第一调节板；323-第二调节板；324-第一连接部；325-第二连接部；326-控制部；327-第一旋钮；328-第二旋钮；3271-第一顶升轴；3281-第二顶升轴；
47.40-镜片。
具体实施方式
48.为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
49.如背景技术中所述，现有在对激光光路设计、激光多焦点自动切割等的加工中，用于固定镜片的镜架大多数机构采用单一镜架固定单个镜片，加工不同产品时不能实现自动化功能，且常规机构需手动切换镜片，每次更换需重新调节光路，耗时且不方便人员操作，本技术提供了一种透镜自动切换机构，激光加工行业根据不同材质的加工工艺要求实现激光焦点自动化切换。
50.为实现上述效果，需要在底板10的安装平面设置转台14，转台14上设置对镜片40和镜片安装架进行固定的载台30，转台14通过电机11驱动，其中电机11的驱动轴上设置有带轮一12，转台14上设置有带轮二13，带轮一12和带轮二13之间通过传动带连接，电机11通过带传动驱动所述转台14旋转。
51.本实施例中，所述安装位优选地设置为四个，载台30设置对应有四个，载台30对应设置于安装位，载台30对应不同工艺分别可以安装不同镜片40，载台30包括滑台31和调节台32，滑台31用于控制载台30在转台的水平位置，调节台32用于控制载台30的角度，所述转台14、滑台31、调节台32和镜片安装架两两相连安装。
52.所述滑台31包括底座311、滑动板312、固定块313和推动部314，底座311固定设置于转台14的安装位处，滑动板312滑动连接于底座311，固定块313和推动部314设于滑台31一侧，固定块313固定在滑动板312侧部，推动部314固定于底座311侧部，推动部314通过伸缩推拉滑动板312上的固定块313而使得滑动板312相对于底板10往复位移；调节台32包括固定板321、第一调节板322、第二调节板323、第一连接部324和第二连接部325，固定板321、第一调节板322和第二调节板323按顺序在滑台31端面依次排布，且固定板321和第一调节板322之间通过第一连接部324弹性连接，第一调节板322和第二调节板323之间通过第二连接部325弹性连接。
53.实施例中，为了对固定板321、第一调节板322和第二调节板323之间的角度控制，调节台32还包括控制部326和顶升轴，控制部326包括第一旋钮327和第二旋钮328，顶升轴包括第一顶升轴3271和第二顶升轴3281，第一顶升轴3271设置于固定板321和第一调节板
322之间，用于对第一调节板322进行顶升；第二顶升轴3281设置于第一调节板322和第二调节板323之间，用于对第二调节板323进行顶升；第一旋钮327和通过螺纹连接于第一顶升轴3271，第二旋钮328通过螺纹连接于第二顶升轴3281，通过第一旋钮327控制第一顶升轴3271相对第一调节板322的伸缩，通过第二旋钮328控制第二顶升轴3281相对第二调节板323的伸缩。具体来讲，滑台31通过滑动板312相对底座311发生位移，从而调节设于滑动板312上的调节台32的位置，调节台32通过第一调节板322和固定板321之间的角度变化、第二调节板323和第一调节板322之间的角度变化，从而控制第一调节板322相对于水平面的角度，从而调节安装于第一调节板322的镜片40的角度。
54.本实施例中，为了调节台32能够实现角度调节功能，第一连接部324和第二连接部325为采用弹性材料制得的弹片。
55.本实施例中，优选地所述第一顶升轴3271倾斜设置于固定板321和第一调节板322之间，第二顶升轴3281倾斜设置于第一调节板322和第二调节板323之间。具体来讲，第一顶升轴3271设置于固定板321和第一调节板322之间远离第一连接部324的位置，第二顶升轴3281设置在第一调节板322和第二调节板323之间远离第二连接部325的位置，这样设置增大了力矩，使得操作人员旋转第一旋钮327和第二旋钮328时更加省力。
56.实施例中，转台14通过电机11驱动，优选地电机11旋转闭环步进电机11，通过闭环步进电机11控制，实现多工位各镜片40高精度定位，为了保证电机11控制的准确性，对电机11定位和对传动带张紧有严格要求，透镜自动切换机构还包括调节组件20，调节组件20包括调节块21和调节架22，调节架22设置于所述底板10和所述电机11之间，调节块21设置于所述底板10侧部，调节组件20用于对传动带松紧带进行调整。所述调节架22包括上连接板221、下连接板222和连接柱223，上连接板221和下连接板222通过连接柱223平行设置，上连接板221设有条形孔，上连接板221通过螺钉固定于所述底板10；下连接板222用于固定所述电机11。通过调节架22在底板10的安装位置，以调整电机11和转台14之间的距离，从而调节传动带的张紧程度。
57.本实施例中，所述调节块21上设有螺纹孔一211，所述上连接板221上设有螺纹孔二224，调节架22安装于底板10时，螺纹孔一211和螺纹孔二224为同轴设置，调节组件20还包括调节螺栓(图中未示出)，通过调节螺栓在螺纹孔一211和螺纹孔二224内转动，将调节架22向靠近调节块21方向驱动，从而对传动带进行张紧。具体来讲，调节架22设有条形孔，底板10上设有螺孔，条形孔和螺孔之间通过螺钉连接，且在螺钉没有完全将调节架22和底板10紧固时，调节架22可以通过条形孔和螺钉配合而在底板10滑动，螺栓通过螺纹孔一211旋入调节块21，通过螺纹孔二224旋入上连接板221，通过螺栓转动而改变调节块21和上连接板221之间的距离，从而通过改变调节架22的位置调整传动带的张紧。
58.本实施例，在使用时，将不同需求的镜片40安装在对应四个工位的载台30上，通过闭环步进电机11转台14运动，通过闭环步进电机11的绝对编码器控制四个工位的分度，完成四个镜片的位置切换，镜片40安装架由一个滑台31和一个调节台32叠加设置，滑台31和一个调节台32控制镜片40位置和角度的微调。
59.以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。