平衡补偿装置和单晶炉的制作方法

1.本实用新型涉及单晶制造技术领域，尤其涉及一种平衡补偿装置和单晶炉。


背景技术：

2.现有技术中，晶体生长过程一般需要涉及一些热场组件。例如，坩埚、热屏、保温盖和水冷设备是晶体生长过程中原料熔化的重要热场部件。
3.目前，在单晶炉内，水冷设备设置在热屏所具有的容纳空间内，热屏设置在保温盖上。水冷设备、热屏和保温盖均位于坩埚所具有的开口上方。
4.在实际使用过程中，由于保温盖会出现不水平的情况。此时，极易使设置在保温盖上的热屏出现倾斜的情况。基于此，会导致热屏底部不同位置与坩埚所具有的开口之间的距离不同，进而降低成晶率。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种平衡补偿装置和单晶炉，用于减少或避免热屏出现倾斜的情况，以提高成晶率。
6.为了实现上述目的，第一方面，本实用新型提供一种平衡补偿装置。该平衡补偿装置包括：连接组件和定位组件。连接组件用于与单晶炉或单晶炉内的工作件固定连接，连接组件设置有沿竖直方向延伸的第一竖直导向结构，第一竖直导向结构的延伸方向平行于热屏的轴线。定位组件用于与热屏的顶面固定连接，定位组件的远离热屏的一端设置有与第一竖直导向结构导向配合的第二竖直导向结构。通过第二竖直导向结构与第一竖直导向结构的配合，使得热屏的轴线平行于竖直方向。
7.与现有技术相比，本实用新型提供的平衡补偿装置中，由于热屏与定位组件连接，定位组件中的第二竖直导向结构与第一竖直导向结构导向配合。又由于第一竖直导向结构沿竖直方向延伸，且第一竖直导向结构的延伸方向平行于热屏的轴线。因此，第一竖直导向结构可以限定第二竖直导向结构保持重力方向竖直向下，或者限定第二竖直导向结构在允许的范围内偏转。此时，通过与热屏连接的第二竖直导向结构可以使热屏的轴线平行于竖直方向。即，在连接组件和定位组件的共同作用下，热屏与定位组件连接的位置处于竖直状态。基于此，可以使热屏整体处于竖直状态，进而确保热屏左右两端处于平衡状态。综上所述，利用平衡补偿装置可以减少或避免热屏出现倾斜情况的发生，以使热屏底部不同位置与坩埚所具有的开口之间的距离基本相同或相同，进而提高成晶率。
8.在一种实现方式中，上述第一竖直导向结构为第一竖直导向孔，第二竖直导向结构为与第一竖直导向孔配合的第二竖直导向杆。和/或，第一竖直导向结构为第一竖直导向柱，第二竖直导向结构为与第一竖直导向柱配合的第二竖直导向套。
9.采用上述技术方案的情况下，上述第一竖直导向结构和第二竖直导向结构的选择性较多，此时，不仅增加了平衡补偿装置制作方式的可选性，降低了平衡补偿装置的制作难度。同时，还可以根据实际情况选择不同的结构，以扩大平衡补偿装置的适用范围，增加平
衡补偿装置的应用场景。进一步地，由于第一竖直导向结构和第二竖直导向结构是套接的关系，上下可以自由活动，后期便于分离。基于此，当热屏需要清洗或者维修时，只需将第一竖直导向结构和第二竖直导向结构分离即可，简单方便，节省时间。
10.在一种实现方式中，上述定位组件包括：导向件和固定件。第二竖直导向结构设置于导向件。固定件与导向件连接，固定件与热屏的顶面固定连接。上述定位组件的结构简单，易于制作。
11.在一种实现方式中，上述平衡补偿装置包括至少两个连接组件和至少两个定位组件。每一连接组件与每一定位组件一一对应连接。
12.采用上述技术方案的情况下，利用至少两套连接组件和定位组件可以对热屏施加对称或均衡的力，以确保热屏受力平衡，进而确保热屏的稳定性。此时，更有利于调节热屏的倾斜度。基于此，可以使热屏底部不同位置与坩埚所具有的开口之间的距离基本相同或相同，进而提高成晶率。
13.在一种实现方式中，上述平衡补偿装置还包括对中组件，连接组件通过对中组件与单晶炉或单晶炉内的工作件连接，对中组件用于使热屏的轴线与保温盖的轴线重合。
14.采用上述技术方案的情况下，利用对中组件可以使热屏的轴线与保温盖的轴线快速重合。此时，不仅可以使热屏快速的找准并对中保温盖所具有的开口，以使热屏快速的放置在保温盖内。同时，还可以减少或避免热屏在放置进保温盖的过程中，热屏与保温盖之间发生碰撞的几率，以提高热屏和保温盖的使用寿命。
15.在一种实现方式中，上述对中组件包括：固定环件和活动环件。固定环件用于固定于单晶炉或单晶炉内的工作件，固定环件的轴线平行于竖直方向。活动环件沿固定环件的径向可移动地设置于固定环件，活动环件的轴线与固定环件的轴线平行。连接组件固定于活动环件，活动环件的轴线与热屏的轴线重合。
16.采用上述技术方案的情况下，第一方面，活动环件的轴线与固定环件的轴线平行，活动环件的轴线与热屏的轴线重合。此时，利用固定环件和活动环件可以为调整热屏与保温盖开口的相对位置提供一个调节基准。换言之，通过调整活动环件与保温盖所具有的开口的相对位置，便可以调整热屏与保温盖所具有的开口的相对位置，将调节方式变得简单方便，提高可视化。第二方面，利用固定环件可以确保活动环件的稳定性，并且可以为活动环件提供一个运动的空间，简单方便。接着，通过调整活动环件相对于保温盖开口的位置，以带动热屏运动，进而使热屏的轴线与保温盖的轴向重合，简单快速。
17.在一种实现方式中，上述固定环件的内圈开设有径向开口的环形槽，活动环件的外圈活动嵌装于环形槽内，环形槽的槽底直径大于活动环件的外径。
18.采用上述技术方案的情况下，既可以保证活动环件稳定的安装在固定环件中，不会从固定环件所具有的环形槽中脱落，也可以保证可以快速的调整活动环件相对于固定环件或者说活动环件相对于保温盖所具有的开口的位置。
19.在一种实现方式中，上述对中组件还包括水平调整件。水平调整件设置在固定环件和/或活动环件上，用于使固定环件和活动环件处于水平状态。
20.采用上述技术方案的情况下，当连接组件通过对中组件与单晶炉或单晶炉内的工作件连接时，对中组件不仅可以起到使热屏的轴线与保温盖的轴线重合的作用。同时，还可以用于辅助调节热屏的水平，减少或避免热屏出现倾斜的情况。基于此，需要利用水平调节
件来调整固定环件和/或活动环件，以使固定环件和活动环件处于水平状态。
21.在一种实现方式中，上述平衡补偿装置还包括弹性保温件，弹性保温件设置在热屏和保温盖抵接处。
22.采用上述技术方案的情况下，可以减少或避免热屏与保温盖之间出现缝隙的可能性。此时，不仅可以降低或消除因热屏处于悬空状态，导致热屏受到的支撑力不够，在实际使用过程中发生危险的情况。同时，还可以降低或避免热量通过热屏和保温盖之间的缝隙散发出去的风险，进一步提高成晶率。
23.第二方面，本实用新型还提供了一种单晶炉。该单晶炉包括上述技术方案所述的平衡补偿装置。
24.与现有技术相比，本实用新型提供的单晶炉的有益效果与第一方面的平衡补偿装置的有益效果相同，此处不做赘述。
附图说明
25.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
26.图1为本实用新型实施例中平衡补偿装置、热屏和保温盖组装后的剖视图；
27.图2为本实用新型实施例中平衡补偿装置、热屏和保温盖组装后的结构示意图。
28.附图标记：
29.1-平衡补偿装置，
30.10-连接组件，100-第一竖直导向结构；
31.11-定位组件，110-第二竖直导向结构，111-固定件；
32.12-对中组件，120-固定环件，
33.121-活动环件，122-水平调整件；
34.13-螺栓；2-热屏，3-保温盖。
具体实施方式
35.为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
36.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
37.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。
38.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等
指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
39.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
40.除了背景技术部分引出的技术问题外，在实际使用过程中，通常会利用吊装结构将热屏放置进保温盖所具有的开口内。在此过程中，由于热屏的轴线与保温盖的轴线之间存在偏差，导致热屏与保温盖之间错位。此时，极易使热屏和保温盖发生碰撞，进而降低热屏和保温盖的使用寿命。
41.为了解决上述技术问题，第一方面，本实用新型实施例提供一种平衡补偿装置。参见图1和图2，该平衡补偿装置1可以包括：连接组件10和定位组件11。连接组件10用于与单晶炉或单晶炉内的工作件固定连接，连接组件10设置有沿竖直方向延伸的第一竖直导向结构100，第一竖直导向结构100的延伸方向平行于热屏2的轴线。定位组件11用于与热屏2的顶面固定连接，定位组件11的远离热屏2的一端设置有与第一竖直导向结构100导向配合的第二竖直导向结构110。通过第二竖直导向结构110与第一竖直导向结构100的配合，使得热屏2的轴线平行于竖直方向。
42.当连接组件与单晶炉固定连接时，连接组件可以与炉盖、副室、侧壁等部位连接。当连接组件与单晶炉内的工作件固定连接时，上述单晶炉内的工作件可以是水冷设备。在本实用新型实施例中，上述连接组件与水冷设备连接。至于水冷设备的具体结构可以参见现有技术，在此不做具体限定。应理解，上述固定连接的方式多种多样，例如，可以是粘结、焊接或螺栓连接等。在本实用新型实施例中，上述连接组件与单晶炉或单晶炉内的工作件采用螺栓连接。
43.参见图1和图2，本实用新型实施例提供的平衡补偿装置1中，由于热屏2与定位组件11连接，定位组件11中的第二竖直导向结构110与第一竖直导向结构100导向配合。又由于第一竖直导向结构100沿竖直方向延伸，且第一竖直导向结构100的延伸方向平行于热屏2的轴线。因此，第一竖直导向结构100可以限定第二竖直导向结构110保持重力方向竖直向下，或者限定第二竖直导向结构110在允许的范围内偏转。此时，通过与热屏2连接的第二竖直导向结构110可以使热屏2的轴线平行于竖直方向。即，在连接组件10和定位组件11的共同作用下，热屏2与定位组件11连接的位置处于竖直状态。基于此，可以使热屏2整体处于竖直状态，进而确保热屏2左右两端处于平衡状态。综上所述，利用平衡补偿装置1可以减少或避免热屏2出现倾斜情况的发生，以使热屏2底部不同位置与坩埚所具有的开口之间的距离基本相同或相同，进而提高成晶率。此外，上述平衡补偿装置1结构简单，易于制作和使用，可以提高使用效率。
44.上述第一竖直导向结构和第二竖直导向结构的选择性较多，下面以两种可能的实现方式为例进行描述，应理解，以下描述仅用于理解，不用于具体限定。
45.作为一种可能的实现方式，上述第一竖直导向结构为第一竖直导向孔时，第二竖
直导向结构为与第一竖直导向孔配合的第二竖直导向杆。
46.作为另一种可能的实现方式，上述第一竖直导向结构为第一竖直导向柱时，第二竖直导向结构为与第一竖直导向柱配合的第二竖直导向套。
47.采用上述技术方案的情况下，参见图1和图2，上述第一竖直导向结构100和第二竖直导向结构110的选择性较多，此时，不仅增加了平衡补偿装置1制作方式的可选性，降低了平衡补偿装置1的制作难度。同时，还可以根据实际情况选择不同的结构，以扩大平衡补偿装置1的适用范围，增加平衡补偿装置1的应用场景。进一步地，由于第一竖直导向结构100和第二竖直导向结构110是套接的关系，上下可以自由活动，后期便于分离。基于此，当热屏2需要清洗或者维修时，只需将第一竖直导向结构100和第二竖直导向结构110分离即可，简单方便，节省时间。
48.具体的，在本实用新型实施例中，参见图1，上述第一竖直导向结构100为第一竖直导向孔，上述第一竖直导向孔的深度可以是10mm-30mm。例如，第一竖直导向孔的深度可以是10mm、15mm、20mm、26mm或30mm等。此时，上述第二竖直导向结构110为与第一竖直导向孔配合的第二竖直导向杆。上述第二竖直导向杆的高度可以是50mm-150mm。例如，第二竖直导向杆的高度可以是50mm、80mm、95mm、120mm或150mm等。
49.接着，上述第一竖直导向孔和第二竖直导向杆接触面之间的配合关系可以是以下两种可能的方式，应理解，以下描述仅用于理解，不用于具体限定。
50.示例一，当第二竖直导向杆设置在第一竖直导向孔中时，第一竖直导向孔和第二竖直导向杆之间可以设置有滚珠。此时，第一竖直导向孔和第二竖直导向杆形成的结构类似于轴承。在实际使用过程中，当第二竖直导向杆相对于第一竖直导向孔运动时，可以减小第一竖直导向孔和第二竖直导向杆之间的摩擦力。
51.示例二，可以将第一竖直导向孔的内壁和第二竖直导向杆的外壁尽可能的做光滑，此时，也可以减小第一竖直导向孔和第二竖直导向杆相对运动时产生的摩擦力。
52.当然，第一竖直导向孔和第二竖直导向杆接触面之间的配合关系也可以是示例一和示例二的结合。
53.进一步地，在本实用新型实施例中，上述第一竖直导向孔和第二竖直导向杆之间重合的高度可以是10mm-30mm。上述第一竖直导向孔的内壁和第二竖直导向杆的外壁之间具有间隙，上述间隙的宽度可以是0.5mm-2mm。例如，可以是0.5mm、0.8mm、0.95mm、1.2mm或2mm等。此时，可以减少或避免在实际使用过程中，第一竖直导向孔和第二竖直导向杆因热胀冷缩造成卡滞的情况发生，以避免影响平衡补偿装置的正常使用。
54.在一种可选方式中，参见图1，上述定位组件11可以包括：导向件和固定件111。第二竖直导向结构110设置于导向件。固定件111与导向件连接，固定件111与热屏2的顶面固定连接。上述定位组件11的结构简单，易于制作。
55.在本实用新型实施例中，参见图1，上述导向件与第二竖直导向结构110为同一个部件，例如可以是支撑杆。当然，上述第二竖直导向结构110也可以是独立于导向件的另外一个结构，在实际使用时，第二竖直导向结构110安装在导向件上。接着，上述固定件111是螺栓，导向件靠近固定件111的一端具有内螺纹。在实际使用时，通过螺栓具有的外螺纹与导向件具有的内螺纹，将固定件111与导向件连接在一起。固定件111的另一端深入热屏2并与热屏2紧固连接，即定位组件11与热屏2的顶面固定连接。
56.作为一种可能的实现方式，参见图1，上述平衡补偿装置1可以包括至少两个连接组件10和至少两个定位组件11。每一连接组件10与每一定位组件11一一对应连接。采用上述技术方案的情况下，利用至少两套连接组件10和定位组件11可以对热屏2施加对称或均衡的力，以确保热屏2受力平衡，进而确保热屏2的稳定性。此时，更有利于调节热屏2的倾斜度。基于此，可以使热屏2底部不同位置与坩埚所具有的开口之间的距离基本相同或相同，进而提高成晶率。
57.在本实用新型实施例中，上述平衡补偿装置包括三个连接组件和三个定位组件。上述每一个连接组件和定位组件组装后的结构所具有的中心轴线在水平面上的交点的连线为三角形。由于三角形具有稳定性，此时，可以进一步确保热屏的稳定性和受力的均匀性。
58.作为一种可能的实现方式，参见图1，上述平衡补偿装置1还可以包括对中组件12，连接组件10通过对中组件12与单晶炉或单晶炉内的工作件连接，对中组件12用于使热屏2的轴线与保温盖3的轴线重合。利用对中组件12可以使热屏2的轴线与保温盖3的轴线快速重合。此时，不仅可以使热屏2快速的找准并对中保温盖3所具有的开口，以使热屏2快速的放置在保温盖3内。同时，还可以减少或避免热屏2在放置进保温盖3的过程中，热屏2与保温盖3之间发生碰撞的几率，以提高热屏2和保温盖3的使用寿命。
59.上述连接组件与对中组件连接，对中组件与单晶炉或单晶炉内的工作件连接的方式多种多样，例如可以是焊接、粘结、卡接或螺栓连接等。在本实用新型实施例中，上述连接组件通过螺栓的方式与对中组件连接。
60.在一种可选方式中，参见图1，上述对中组件12可以包括：固定环件120和活动环件121。固定环件120用于固定于单晶炉或单晶炉内的工作件，固定环件120的轴线平行于竖直方向。活动环件121沿固定环件120的径向可移动地设置于固定环件120，活动环件121的轴线与固定环件120的轴线平行。连接组件10固定于活动环件121，活动环件121的轴线与热屏2的轴线重合。
61.采用上述技术方案的情况下，参见图1，第一方面，活动环件121的轴线与固定环件120的轴线平行，活动环件121的轴线与热屏2的轴线重合。此时，利用固定环件120和活动环件121可以为调整热屏2与保温盖3开口的相对位置提供一个调节基准。换言之，通过调整活动环件121与保温盖3所具有的开口的相对位置，便可以调整热屏2与保温盖3所具有的开口的相对位置，将调节方式变得简单方便，提高可视化。第二方面，利用固定环件120可以确保活动环件121的稳定性，并且可以为活动环件121提供一个运动的空间，简单方便。接着，通过调整活动环件121相对于保温盖3开口的位置，以带动热屏2运动，进而使热屏2的轴线与保温盖3的轴向重合，简单快速。
62.在本实用新型实施例中，参见图1，上述固定环件120和活动环件121的形状均是圆环。此时，活动环件121的纵截面为矩形。具体的，上述固定环件120为两个半圆合并形成的结构，在卡装活动环件121后，上述固定环件120的两个半圆通过卡扣或焊接的方式连接。当然，也可以是多边形环，例如，三角形环、矩形环、正方形环或梯形环等。
63.在一种可选方式中，参见图1，上述固定环件120的内圈开设有径向开口的环形槽(图1中未示出)，活动环件121的外圈活动嵌装于环形槽内，环形槽的槽底直径大于活动环件121的外径。此时，既可以保证活动环件121稳定的安装在固定环件120中，不会从固定环
件120所具有的环形槽中脱落，也可以保证可以快速的调整活动环件121相对于固定环件120或者说活动环件121相对于保温盖3所具有的开口的位置。
64.在本实用新型实施例中，上述环形槽的半径小于活动环件的外径，差值可以是10mm-30mm。例如，可以是10mm、15mm、20mm、26mm或30mm等。
65.由前文描述可知，参见图1，连接组件10通过螺栓的方式与对中组件12连接。具体的，参见图1，在活动环件121上开设安装孔，以便于螺栓13通过安装孔将连接组件10和对中组件12连接。上述安装孔的圆心距离固定环件120内径可以是5mm-20mm。例如，可以是5mm、8mm、10mm、16mm或20mm等。当然，螺栓13安装在活动环件121上后，螺栓上的螺母或螺杆距离固定环件10mm-15mm。例如，可以是10mm、12mm、13.6mm、14mm或15mm等。此时，可以使活动环件121的自由度增加，以便于活动环件121相对于固定环件120运动。
66.接着，上述固定环件和活动环件接触面之间的配合关系可以是以下两种可能的方式，应理解，以下描述仅用于理解，不用于具体限定。
67.示例一，当活动环件设置在固定环件中时，固定环件和活动环件之间可以设置有滚珠。此时，固定环件和活动环件形成的结构类似于轴承。在实际使用过程中，当活动环件相对于固定环件运动时，可以减小固定环件和活动环件之间的摩擦力。
68.示例二，可以将固定环件的内壁和活动环件的外壁尽可能的做光滑，此时，也可以减小固定环件和活动环件相对运动时产生的摩擦力。
69.当然，固定环件和活动环件接触面之间的配合关系也可以是示例一和示例二的结合。
70.进一步地，上述固定环件和活动环件的接触面之间留有间隙，上述间隙的宽度可以是0.25mm-1mm。例如，可以是0.25mm、0.36mm、0.45mm、0.69mm或1mm等。此时，可以减少或避免在实际使用过程中，固定环件和活动环件因热胀冷缩造成卡滞的情况发生，以避免影响平衡补偿装置的正常使用。
71.在一种可选方式中，参见图1，上述对中组件12还可以包括水平调整件122。水平调整件122设置在固定环件120和/或活动环件121上，用于使固定环件120和活动环件121处于水平状态。
72.参见图1，当连接组件10通过对中组件12与单晶炉或单晶炉内的工作件连接时，对中组件12不仅可以起到使热屏2的轴线与保温盖3的轴线重合的作用。同时，还可以用于辅助调节热屏2的水平，减少或避免热屏2出现倾斜的情况。基于此，需要利用水平调节件来调整固定环件120和/或活动环件121，以使固定环件120和活动环件121处于水平状态。
73.示例性的，上述水平调整件可以粘结、焊接或螺栓连接在固定环件和/或活动环件上。在本实用新型实施例中，上述水平调整件设置在固定环件上。
74.作为一种可能的实现方式，参见图1，上述平衡补偿装置1还包括弹性保温件(图1中未示出)，弹性保温件设置在热屏2和保温盖3抵接处。
75.采用上述技术方案的情况下，参见图1，可以减少或避免热屏2与保温盖3之间出现缝隙的可能性。此时，不仅可以降低或消除因热屏2处于悬空状态，导致热屏2受到的支撑力不够，在实际使用过程中发生危险的情况。同时，还可以降低或避免热量通过热屏2和保温盖3之间的缝隙散发出去的风险，进一步提高成晶率。示例性的，上述弹性保温件可以是石墨毡弹性保温件或气凝胶弹性保温件等。
76.第二方面，本实用新型实施例还提供了一种单晶炉。该单晶炉包括上述技术方案所述的平衡补偿装置。
77.本实用新型实施例提供的单晶炉的有益效果与第一方面的平衡补偿装置的有益效果相同，此处不做赘述。
78.在一种可选方式中，参见图1和图2，上述单晶炉可以包括热屏2、水冷设备、保温盖3和第一方面所述的平衡补偿装置1。水冷设备设置在热屏2所具有的容纳空间内，平衡补偿装置1的第一端与水冷设备连接，平衡补偿装置1的第二端与热屏2连接，热屏2设置在保温盖3上。在本实用新型实施例中，利用水平调整件122将固定环件120调水平后，使固定环件120与水冷设备焊接。此时，平衡补偿装置1和热屏2可以跟随水冷设备升降。
79.在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
80.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。