折反式光瞳光轴传感器的制作方法

技术特征：
1.一种折反式光瞳光轴传感器，其特征在于，包括：前端光学系统，设置于被探测的光瞳面的一侧，以对光束进行反射、折叠以及聚焦；光路整合系统，设置于所述前端光学系统的一侧，且接收从光路反射单元反射而出的光束，所述光束由光路整合单元的一端进入并分为两路射出；光瞳探测器，设置于其中一路光束的出口位置，以用于探测光瞳面处的光束截面光斑强度分布，获得光瞳位置处的光束对准误差；光轴探测器，设置于其中另一路光束的出口位置，以用于探测激光束远场光强分布，获得光轴方向误差。2.根据权利要求1所述的折反式光瞳光轴传感器，其特征在于，所述前端光学系统包括半透半反镜，球面反射镜，平面反射镜；其中，光束由所述半透半反镜进入，并折射至所述球面反射镜，经反射后至所述平面反射镜，最后反射至光路整合系统。3.根据权利要求2所述的折反式光瞳光轴传感器，其特征在于，所述光路整合系统包括依次排列的负光焦度透镜组，分光棱镜，衰减和滤光片组以及光瞳透镜组。4.根据权利要求3所述的折反式光瞳光轴传感器，其特征在于，所述负光焦度透镜组为两片或者多片透镜组成的消像差负光焦度透镜组，并与前端光学系统组合，以消除光学系统视场中的球差、色差、彗差、像散，并在较小的光路总长度内获得较长的等效焦距，以保证光瞳光轴传感器的探测精度。5.根据权利要求4所述的折反式光瞳光轴传感器，其特征在于，所述分光棱镜为部分反射和部分透射分光棱镜，把信号光束分为两路，分别进入光瞳探测支路和光轴探测支路。6.根据权利要求5所述的折反式光瞳光轴传感器，其特征在于，所述衰减和滤光片组由衰减片和滤光片组成，衰减片用于调整进入探测器的光强，滤光片用于滤出背景光以提高探测信噪比。7.根据权利要求6所述的折反式光瞳光轴传感器，其特征在于，所述光瞳透镜组由两片或者多片透镜组成的透镜组，使光瞳面成像到光瞳探测器感光面，实现光瞳面处光束位置对准误差探测。8.根据权利要求1至7中任一项所述的折反式光瞳光轴传感器，其特征在于，所述光瞳探测器是高帧频ccd相机或cmos相机，用于探测光瞳面处的光束截面光斑强度分布，获得光瞳位置处的光束对准误差。9.根据权利要求1至7中任一项所述的折反式光瞳光轴传感器，其特征在于，所述光轴探测器为高帧频相机或位置敏感探测器，用于探测激光束远场光强分布，获得光轴方向误差。

技术总结
本发明提供了一种折反式光瞳光轴传感器，包括前端光学系统，设置于被探测的光瞳面的一侧；光路整合系统，设置于所述前端光学系统的一侧，且接收从光路反射单元反射而出的光束，所述光束由光路整合单元的一端进入并分为两路射出；光瞳探测器，设置于其中一路光束的出口位置，以用于探测光瞳面处的光束截面光斑强度分布，获得光瞳位置处的光束对准误差；光轴探测器，设置于其中另一路光束的出口位置，以用于探测激光束远场光强分布，获得光轴方向误差。本发明提出的折反式光瞳光轴传感器，在一套设备内同时实现了运动平台宽频振动复杂环境搭载激光系统中激光器输出光束相对于望远镜的光瞳位置和光轴方向的测量，尺寸小重量轻，结构紧凑，精度高。精度高。精度高。


技术研发人员：叶一东 尚武云 石岩 王锋 黄祖鑫 顾静良 欧龙 谢川林 张宏 赵媛媛
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院应用电子学研究所
技术研发日：2022.05.19
技术公布日：2022/7/15