一种微针及其制造工艺的制作方法

技术特征：
1.一种微针的制造工艺，其特征在于，包括如下步骤：a)开口：在衬底(1)的顶面刻蚀若干个内凹部(11)；b)成膜：在衬底(1)的顶面生成针体膜层(2)，同时使部分所述针体膜层(2)沉入各个内凹部(11)之中并分别形成空心下沉结构(21)或实心下沉结构(22)；c)开孔：当形成空心下沉结构(21)时，打磨衬底(1)的底面直至向上磨穿各个空心下沉结构(21)的底部并形成中空通道(23)；当形成实心下沉结构(22)时，在各个实心下沉结构(22)的顶面分别进行刻蚀直至贯穿衬底(1)的底面并形成中空通道(23)；d)去衬：去除衬底(1)。2.如权利要求1所述的一种微针的制造工艺，其特征在于：在步骤a)之中，所述衬底(1)为玻璃衬底。3.如权利要求1所述的一种微针的制造工艺，其特征在于：在步骤a)之中，各个所述内凹部(11)均呈倒锥形，各个所述内凹部(11)均采用光胶刻蚀技术或无掩模刻蚀技术而刻蚀得到。4.如权利要求1所述的一种微针的制造工艺，其特征在于：在步骤b)之中，所述针体膜层(2)由纯金属薄膜或合金薄膜镀设形成。5.如权利要求4所述的一种微针的制造工艺，其特征在于：所述纯金属薄膜为化学气相沉积的钨薄膜或钛薄膜。6.如权利要求1所述的一种微针的制造工艺，其特征在于：在步骤c)之中，当形成实心下沉结构(22)时，各个所述中空通道(23)均采用光胶刻蚀技术或无掩模刻蚀技术而刻蚀得到。7.如权利要求1所述的一种微针的制造工艺，其特征在于：在步骤c)之中，各个所述中空通道(23)的长度均为100～1500μm，直径均为1～200μm。8.如权利要求1所述的一种微针的制造工艺，其特征在于：在步骤d)之中，所述衬底(1)通过化学腐蚀洗去。9.如权利要求1所述的一种微针的制造工艺，其特征在于：还包括步骤e)后处理：在空心下沉结构(21)或实心下沉结构(22)之外通过物理溅射或电镀生成纳米级金薄膜涂层。10.一种微针，其特征在于：由权利要求1至9中任一项所述的制造工艺制造而得。

技术总结
本发明公开一种微针及其制造工艺，其中一种微针的制造工艺包括如下步骤：a)开口：在衬底的顶面刻蚀若干个内凹部；b)成膜：在衬底的顶面生成针体膜层，同时使部分所述针体膜层沉入各个内凹部之中并分别形成空心下沉结构或实心下沉结构；c)开孔：当形成空心下沉结构时，打磨衬底的底面直至向上磨穿各个空心下沉结构的底部并形成中空通道；当形成实心下沉结构时，在各个实心下沉结构的顶面分别进行刻蚀直至贯穿衬底的底面并形成中空通道；d)去衬：去除衬底。本发明能够制备出具有微米级尺寸的机械通道的单根微针或微针阵列，且整体制备工艺简单、成熟和稳定，制备成本低廉。制备成本低廉。制备成本低廉。


技术研发人员：王元武 王金强 乔伟 刘涛 顾臻 乔建民
受保护的技术使用者：杭州恒升医学科技有限公司
技术研发日：2022.04.01
技术公布日：2022/7/15