一种半导体工艺设备的物料调度方法和半导体工艺设备与流程

1.本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种半导体工艺设备的调度控制方法和一种半导体工艺设备。


背景技术：

2.在半导体工艺设备的加工过程中，物料按照设定的物料路径经过半导体工艺设备的各个模块进行加工。
3.现有技术中，在对多个物料进行加工时，通常根据物料设定的传输路径、当前情况，以及设定的设备各部件参数(例如，机械手传片时间)，归纳总结目标和约束，建立数学模型，求解器通过约束规划等数学知识来进行求解，从而得到精确的最优解，实现找到完成所有工艺任务的总时长最短的调度方案。
4.然而，现有技术设定的设备结构布局简单，设备工艺精度要求较低，调度算法无法满足结构布局更为复杂，工艺精度要求更高的设备的调度需求。


技术实现要素：

5.鉴于上述问题，提出了本发明实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种半导体工艺设备的调度控制方法和一种半导体工艺设备。
6.为了解决上述问题，本发明实施例公开了一种半导体工艺设备的物料调度方法，所述半导体工艺设备包括多个模块，其中包括真空大气转换模块、工艺模块，所述方法包括：
7.根据物料的加工路径、各模块执行的任务以及执行所述任务产生的动作顺序，生成针对当前物料对应的任务列表；
8.设置求解模型的约束条件和求解目标；其中，所述约束条件包括物料加工时间关系约束、多个模块间的任务间顺序关系约束、同一模块内的任务间顺序关系约束、同一任务下并行子任务间关系约束、真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换约束；所述求解目标为物料执行全部工艺模块任务的开始时间与结束时间之和最短的时间；
9.将所述任务列表输入所述求解模型，以使所述求解模型根据所述任务列表、所述约束条件和所述求解目标，计算并输出各个任务的开始执行时间和执行结束时间。
10.可选地，所述同一任务下并行子任务间关系约束包括：
11.针对包含多个并行子任务的任务，设置同一任务的多个并行子任务，同一时间只有一个子任务被选定。
12.可选地，所述同一模块内的任务间顺序关系约束包括：
13.针对同一模块的任务，生成对应的任务有向链作为同一模块内的任务间的顺序约束条件；所述任务有向链中的每一节点对应所述同一模块内的一任务；所述任务有向链中的节点，除头节点和尾结点外均只有一个父结点和一个子结点，所述头结点只有一个子结点，所述尾结点只有一个父结点；所述子节点的任务开始时间不小于所述父节点的任务结
束时间。
14.可选地，所述真空大气转换模块包括大气状态和真空状态；所述真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换约束包括：
15.当真空大气转换模块的任务有向链的父节点与子节点对应的任务状态不一致时，在所述父结点对应的任务和所述子结点对应的任务之间，添加状态转换任务作为真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换关系的状态转换约束条件。
16.可选地，所述真空大气转换模块包括未工艺层和已工艺层；所述真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换约束还包括：
17.针对所述真空大气转换模块的任务，生成对应的任务有向链作为真空大气转换模块内的任务间的顺序约束条件；所述真空大气转换模块的任务间的顺序为真空大气转换模块与大气传输机械手的交互任务、真空大气转换模块与真空传输机械手的交互任务。
18.可选地，所述同一模块内的任务间顺序关系约束还包括：
19.针对所述工艺模块的任务，生成对应的任务有向链作为工艺模块内的任务间的顺序约束条件；所述工艺模块任务间的顺序为物料工艺处理任务、无物料工艺处理任务。
20.可选地，所述多个模块还包括真空传输机械手，所述真空传输机械手配置有提取任务和放置任务，所述约束条件还包括：
21.针对真空传输机械手的一对提取任务和放置任务，设置提取任务和放置任务由同一个真空传输机械手完成的同机械手约束条件。
22.可选地，所述真空传输机械手包括未工艺手和已工艺手，所述约束条件还包括：
23.针对所述真空传输机械手的任务，生成对应的任务有向链作为真空传输机械手任务间的顺序约束条件；其中，所述真空传输机械手的任务间顺序为未工艺手提取任务、未工艺手放置任务、已工艺手提取任务、已工艺手放置任务。
24.可选地，所述多个模块还包括装卸载模块，所述约束条件还包括：
25.针对所述装卸载模块的任务，生成对应的任务有向链作为装卸载模块内的任务间的顺序约束条件；所述装卸载模块任务间顺序为装卸载未工艺物料任务、装卸载已工艺物料任务。
26.可选地，所述多个模块还包括大气传输机械手，所述大气传输机械手配置有提取任务和放置任务，所述约束条件还包括：
27.针对大气传输机械手的一对提取任务和放置任务，设置提取任务和放置任务由同一个大气传输机械手完成的同机械手约束条件。
28.可选地，所述约束条件还包括：
29.针对所述大气传输机械手的任务，生成对应的任务有向链作为大气传输机械手的任务间的顺序约束条件；所述大气传输机械手任务间顺序为大气传输机械手在所述装卸载模块的物料提取任务、大气传输机械手在所述真空大气转换模块的物料放置任务、大气传输机械手在所述真空大气转换模块的物料提取任务、大气传输机械手在冷却模块的物料放置任务、大气传输机械手在冷却模块的物料提取任务、大气传输机械手在所述装卸载模块的物料放置任务。
30.可选地，所述真空大气转换模块为多个且所述多个真空大气转换模块为并行关系，所述真空大气转换模块的一个任务包括多个并行子任务；
31.所述针对包含多个并行子任务的任务，设置同一任务的多个并行子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件，包括：
32.设置所述真空大气转换模块的多个并行的子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件。
33.可选地，所述工艺模块为多个且所述多个工艺模块为并行关系，所述工艺模块的一个任务包括多个并行子任务；
34.所述针对包含多个并行子任务的任务，设置同一任务的多个并行子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件，还包括：
35.设置所述工艺模块的多个并行的子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件。
36.可选地，所述多个模块还包括冷却模块，所述冷却模块包括多层且多个冷却层为并行关系，所述冷却模块的一个任务包括多个并行的子任务；
37.所述针对包含多个并行子任务的任务，设置同一任务的多个并行子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件，还包括：
38.设置所述冷却模块的多个并行子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件。
39.可选地，还包括：
40.所述生成对应的任务列表之前，对物料进行分组；所述同组物料的工艺模块任务具有优先级顺序；所述约束条件还包括：
41.对同组物料，设置优先级低的工艺模块任务的开始时间不小于优先级高的工艺模块任务结束时间的优先级约束条件。
42.可选地，还包括：
43.当物料完成所述工艺模块内的任务的剩余时间达到预设时间阈值时，清除未进行工艺模块任务的物料的剩余任务；
44.获取当前机台的全部任务进度，以及增加物料，并生成新的任务列表；
45.将所述新的任务列表输入所述求解模型，以使所述求解模型根据所述新的任务列表、所述约束条件和所述求解目标，重新计算并输出各个任务的开始执行时间和执行结束时间。
46.本发明实施例还公开了一种半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括多个模块，其中包括真空大气转换模块、工艺模块，所述半导体工艺设备还包括：
47.控制器，用于根据物料的加工路径、各模块执行的任务以及执行所述任务产生的动作顺序，生成针对当前物料对应的任务列表；设置求解模型的约束条件和求解目标；其中，所述约束条件包括物料加工时间关系约束、多个模块间的任务间顺序关系约束、同一模块内的任务间顺序关系约束、同一任务下并行子任务间关系约束、真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换约束；所述求解目标为物料执行全部工艺模块任务的开始时间与全部任务的结束时间之和最短的时间；将所述任务列表输入所述求解模型，以使所述求解模型根据所述任务列表、所述约束条件和所述求解目标，计算并输出各个任务的开始执行时间和执行结束时间。
48.可选地，所述控制器，用于针对包含多个并行子任务的任务，设置同一任务的多个
并行子任务，同一时间只有一个子任务被选定。
49.可选地，所述控制器，用于生成对应的任务有向链作为同一模块内的任务间的顺序约束条件；所述任务有向链中的每一节点对应所述同一模块内的一任务；所述任务有向链中的节点，除头节点和尾结点外均只有一个父结点和一个子结点，所述头结点只有一个子结点，所述尾结点只有一个父结点；所述子节点的任务开始时间不小于所述父节点的任务结束时间。
50.可选地，所述真空大气转换模块包括大气状态和真空状态，所述控制器，用于当真空大气转换模块的任务有向链的父节点与子节点对应的任务状态不一致时，在所述父结点对应的任务和所述子结点对应的任务之间，添加状态转换任务作为真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换关系的状态转换约束条件。
51.可选地，所述真空大气转换模块包括未工艺层和已工艺层；所述控制器，用于针对所述真空大气转换模块的任务，生成对应的任务有向链作为真空大气转换模块内的任务间的顺序约束条件；所述真空大气转换模块的任务间的顺序为真空大气转换模块与大气传输机械手的交互任务、真空大气转换模块与真空传输机械手的交互任务。
52.可选地，所述控制器，用于针对所述工艺模块的任务，生成对应的任务有向链作为工艺模块内的任务间的顺序约束条件；所述工艺模块任务间的顺序为物料工艺处理任务、无物料工艺处理任务。
53.可选地，所述多个模块还包括真空传输机械手，所述真空传输机械手配置有提取任务和放置任务，所述控制器，用于针对真空传输机械手的一对提取任务和放置任务，设置提取任务和放置任务由同一个真空传输机械手完成的同机械手约束条件。
54.可选地，所述真空传输机械手包括未工艺手和已工艺手，所述控制器，用于针对所述真空传输机械手的任务，生成对应的任务有向链作为真空传输机械手任务间的顺序约束条件；其中，所述真空传输机械手的任务间顺序为未工艺手提取任务、未工艺手放置任务、已工艺手提取任务、已工艺手放置任务。
55.可选地，所述多个模块还包括装卸载模块，所述控制器，用于针对所述装卸载模块的任务，生成对应的任务有向链作为装卸载模块内的任务间的顺序约束条件；所述装卸载模块任务间顺序为装卸载未工艺物料任务、装卸载已工艺物料任务。
56.可选地，所述多个模块还包括大气传输机械手，所述大气传输机械手配置有提取任务和放置任务，所述控制器，用于针对大气传输机械手的一对提取任务和放置任务，设置提取任务和放置任务由同一个大气传输机械手完成的同机械手约束条件。
57.可选地，所述控制器，用于针对所述大气传输机械手的任务，生成对应的任务有向链作为大气传输机械手的任务间的顺序约束条件；所述大气传输机械手任务间顺序为大气传输机械手在所述装卸载模块的物料提取任务、大气传输机械手在所述真空大气转换模块的物料放置任务、大气传输机械手在所述真空大气转换模块的物料提取任务、大气传输机械手在冷却模块的物料放置任务、大气传输机械手在冷却模块的物料提取任务、大气传输机械手在所述装卸载模块的物料放置任务。
58.可选地，所述真空大气转换模块为多个且所述多个真空大气转换模块为并行关系，所述真空大气转换模块的一个任务包括多个并行子任务；所述控制器，用于设置所述真空大气转换模块的多个并行的子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条
件。
59.可选地，所述工艺模块为多个且所述多个工艺模块为并行关系，所述工艺模块的一个任务包括多个并行子任务；所述控制器，用于设置所述工艺模块的多个并行的子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件。
60.可选地，所述多个模块还包括冷却模块，所述冷却模块包括多层且多个冷却层为并行关系，所述冷却模块的一个任务包括多个并行的子任务；所述控制器，用于设置所述冷却模块的多个并行子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件。
61.可选地，所述生成对应的任务列表之前，对物料进行分组；所述同组物料的工艺模块任务具有优先级顺序；所述控制器，用于对同组物料，设置优先级低的工艺模块任务的开始时间不小于优先级高的工艺模块任务结束时间的优先级约束条件。
62.可选地，所述控制器，用于当物料完成所述工艺模块内的任务的剩余时间达到预设时间阈值时，清除未进行工艺模块任务的物料的剩余任务；获取当前机台的全部任务进度，以及增加物料，并生成新的任务列表；将所述新的任务列表输入所述求解模型，以使所述求解模型根据所述新的任务列表、所述约束条件和所述求解目标，重新计算并输出各个任务的开始执行时间和执行结束时间。
63.本发明实施例包括以下优点：
64.在本发明实施例中，根据物料的加工路径、各模块执行的任务以及执行任务产生的动作顺序，生成针对当前物料对应的任务列表；设置求解模型的约束条件和求解目标；其中，约束条件包括物料加工时间关系约束、多个模块间的任务间顺序关系约束、同一模块内的任务间顺序关系约束、同一任务下并行子任务间关系约束、真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换约束；求解目标为物料执行所述任务的最短时间；将任务列表输入求解模型，以使求解模型根据任务列表、设置的约束条件和求解目标，计算并输出各个任务的开始执行时间和执行结束时间。从而实现结构布局更为复杂，工艺精度要求更高的设备的调度需求，如load lock部件动态状态转换需求；多数量部件的并行需求，多容量部件的并行需求等。
附图说明
65.图1是本发明实施例提供的一种单片机设备的结构示意图；
66.图2是本发明实施例提供的一种单片机设备中的真空大气转换模块内部的结构示意图；
67.图3是本发明实施例提供的一种半导体工艺设备的物料调度方法的步骤流程图；
68.图4是本发明实施例提供的一种半导体工艺设备的结构框图。
具体实施方式
69.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
70.现有技术设定的设备结构布局简单，设备工艺精度要求较低，真空大气转换模块
部件没有动态状态转换需求；各部件数量少，容量小，没有同部件处的并行需求，调度算法无法满足结构布局更为复杂，工艺精度要求更高的设备的调度需求。
71.基于此，本发明拟提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种物料调度方法和相应的一种半导体工艺设备。
72.本发明实施例的半导体工艺设备的调度控制方法，可以应用于多种类型的结构更为复杂的半导体工艺设备。如图1所示为本发明实施例提供的一种单片机设备的结构示意图，以单片机设备为例，单片机设备是一种集簇型设备，机台结构可以包括：装卸载模块(loadport)、大气传输机械手(atr)、真空大气转换模块(load lock)、真空传输机械手(vtr)、工艺模块(pm)、冷却模块(cooler)。其功能是将loadport中的物料按照既定的路径传入工艺模块进行加工，加工完成后再返回loadport。在同一时间内会存在多片物料同时调度的需求。
73.装卸载模块用于提供操作平台装载晶圆盒，晶圆盒可以装载25片物料。示例性地，装卸载模块的数量可以为3个。
74.大气传输机械手用于在装卸载模块、真空大气转换模块、冷却模块之间传输物料，大气传输机械手可以包括2个取片位。
75.真空大气转换模块是大气端与真空端的连接器，用于物料在真空区与大气区间的中转，因此真空大气转换模块拥有两种状态，真空状态和大气状态。如图2所述为本发明实施例提供的一种单片机设备中的真空大气转换模块内部的结构示意图，机台可以包括2个load lock，每个load lock之间相互独立，可并行操作。每个load lock可以分两层，每层可以包含2个取片位，两层的状态保持一致。
76.真空传输机械手用于在真空大气转换模块和工艺模块之间传输物料。其中，真空传输机械手在真空传输腔室(tm)中。真空传输机械手可以分两层，每层可以包括2个取片位，共4个取片位。
77.工艺模块用于对物料进行工艺加工，其中，工艺模块可以有多个，每个pm之间相互独立，可并行操作。每个工艺模块可以包含2个工艺位(stage)，2个工艺位可以同时进行工艺加工，也可以禁用其中1个工艺位，另1个工艺位单独进行工艺加工。禁用某个stage，称为st禁用。
78.冷却模块用于冷却已经完成工艺的物料，其中，冷却模块可以有多层，每层可以包括2个取片位，各层间相互独立，可并行操作。
79.本发明实施例的核心构思之一在于，通过设置多个模块间的任务间顺序关系约束、同一模块内的任务间顺序关系约束、同一任务下并行子任务间关系约束、真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换约束以及模型求解目标，实现结构布局更为复杂，工艺精度要求更高的设备的调度需求，如真空大气转换模块部件动态状态转换需求、多数量部件的并行需求、多容量部件的并行需求等。
80.参照图3，示出了本发明实施例提供的一种半导体工艺设备的物料调度方法的步骤流程图，所述半导体工艺设备包括多个模块，其中包括真空大气转换模块，所述方法具体可以包括如下步骤：
81.步骤101，根据物料的加工路径、各模块执行的任务以及执行所述任务产生的动作顺序，生成针对当前物料对应的任务列表。
82.还以上述的单片机设备为例，物料的加工路径是指大气传输机械手从装卸载模块将需要进行工艺的物料取出，并传输至真空大气转换模块；物料在真空大气转换模块中完成从大气状态到真空状态的状态转换后，真空机械手将真空大气转换模块中的物料传输至工艺模块进行加工；加工完成后，真空机械手将工艺模块的物料传输回真空大气转换模块；大气机械手将真空大气转换模块中的物料传输至冷却模块进行冷却工艺；冷却完成后，大气机械手将物料传输至装卸载模块。物料严格按照设定的路径顺序按步依次执行，即物料路径可以为lp-atr-load lock-tm(vtr)-pm-tm(vtr)-load lock-atr-cooler-atr
–
lp。
83.其中，针对不同的工艺场景，所走的路径会有所不同。如物料可选择进入多个pm腔室的任意一个pm腔室进行加工，也可以在多个pm腔室依次进行加工；如物料可以进入多层cooler中的任意一层进行冷却，也可以按照既定的顺序在多层cooler中依次进行冷却等等，不同的工艺场景下，物料所走的路径会有所不同，本发明实施例在此不做具体的限制。
84.各模块执行的任务是指各模块根据其自身功能对物料进行传输或者加工。对于任一模块，可以包括多个任务，模块传输或加工物料时按顺序执行相应的任务，例如，大气传输机械手先执行提取物料任务，后执行放置物料任务。
85.需要说明的是，在本发明实施例中，模块也可以称为部件，一台单片机机台可以由多个部件构成，其中包括多数量部件(即相同部件有多个的部件，如pm有多个pm腔室、load lock有多个真空大气转换模块)、包括多容量部件(即一个部件包括多个相同容器或位置，如cooler有多层冷却位)。
86.作为一种示例，任务列表可以包括任务类别、任务属性。其中，任务类别可以包括：lp任务，atr任务，load lock与atr交互任务，load lock与tm(vtr)交互任务，pm任务，tm(vtr)手任务，cooler任务等等；任务属性可以包括：占用部件id，占用部件工艺时长(duration)，所需状态类型(rt)，开始时间(start)，结束时间(end)，任务完成后占用部件驻留时长(threshold)等。此外，由于某个任务中对应有并行模块(即，使用并行模块中的任意一个部件来完成该任务即可)，因此该任务包含多个并行子任务，每个子任务除拥有所有任务属性外，还包含是否被选中子任务属性(present)。
87.步骤102，设置求解模型的约束条件和求解目标；所述约束条件包括物料加工时间关系约束、多个模块间的任务间顺序关系约束、同一模块内的任务间顺序关系约束、同一任务下并行子任务间关系约束、真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换约束；所述求解目标为物料执行全部工艺模块任务的开始时间与结束时间之和最短的时间。
88.在本发明实施例中，可以设置物料加工时间关系的约束条件，以使物料完成所有任务。示例性地，针对一个任务，任务完成是指物料加工完成并离开。可以进行开始时间、结束时间关系的约束，设置开始时间、结束时间关系约束：end＝start duration threshold，使得物料完成所有任务。
89.可以设置多个模块间的任务间顺序关系约束，以使物料按照模块的路径顺序按序执行任务。例如，针对一个模块的任务，当前任务必须在其前一道任务完成后才能开始，设置start(k 1)》＝end(k)，即进行任务间关系的约束，使得任务按序进行。
90.示例性地，同一模块内可以按照执行动作顺序生成对应的多个任务，可以设置同一模块内的任务间顺序关系约束，以使同一模块中的不同任务必须依次执行。
91.示例性地，当一个任务中包含多个并行子任务时，可以设置同一任务下并行子任
务间关系约束，以使只有一个模块完成该任务。
92.示例性地，真空大气转换模块作为物料在真空区与大气区间的中转，具有两种状态：真空状态和大气状态。当load lock与真空区vtr交互时，load lock必须保持真空状态；同理，当load lock与大气区atr交互时，load lock必须保持大气状态。当load lock的当前状态与所需状态不一致时，load lock需要进行状态转换操作。因此，可以设置真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换约束，以使物料完成动态状态转换。
93.示例性地，可以设置物料执行全部pm工艺任务的开始时间与全部任务的结束时间之和最短作为求解目标，可以以该目标作为挑选求解器最优输出方案的评判标准。可以利用求解器，根据输入的相关参数建立数学模型，计算并输出最优调度结果。
94.需要说明的是，上述求解器是一种执行模型解算方法的装置，由于该装置属于公知技术，在此不再赘述。
95.在一种实施例中，所述同一模块内的任务间顺序关系约束可以包括：
96.针对同一模块的任务，生成对应的任务有向链作为同一模块内的任务间的顺序约束条件；所述任务有向链中的每一节点对应所述同一模块内的一任务；所述任务有向链中的节点，除头节点和尾结点外均只有一个父结点和一个子结点，所述头结点只有一个子结点，所述尾结点只有一个父结点；所述子节点的任务开始时间不小于所述父节点的任务结束时间。
97.作为一种示例，针对机台的同一个部件，在某一时刻只能执行一个任务，不同任务必须依次执行，即同部件的任务间的关系约束：所有被选中任务形成一条有向链，该有向链除头尾结点外均只有一个父结点和一个子结点，头结点只有一个子结点，尾结点只有一个父结点。任意一对父结点和子结点均满足：start(子结点)》＝end(父结点)，使得同一个部件内的多个任务依次执行。
98.以下对各个模块的各任务顺序关系约束逐一进行说明：
99.在一种实施例中，所述真空大气转换模块包括未工艺层和已工艺层；针对所述真空大气转换模块的任务，生成对应的任务有向链作为真空大气转换模块内的任务间的顺序约束条件；所述真空大气转换模块的任务间的顺序为真空大气转换模块与大气传输机械手的交互任务、真空大气转换模块与真空传输机械手的交互任务。
100.示例性地，真空大气转换模块与大气传输机械手的交互任务可以对应真空大气转换模块未工艺层接收大气传输机械手放置物料任务、真空大气转换模块已工艺层物料传输大气传输机械手任务；真空大气转换模块与真空传输机械手的交互任务可以指真空大气转换模块未工艺层物料传输真空传输机械手任务、真空大气转换模块已工艺层接收真空传输机械手放置物料任务。
101.在实际的应用中，真空大气转换模块可以包括未工艺层和已工艺层，未工艺层用于放置未工艺的物料，已工艺层用于放置已工艺的物料。真空大气转换模块可以用于接收大气传输机械手传输的未工艺的物料，并放置在未工艺层，再由真空传输机械手从未工艺层中提取未工艺的物料；待物料工艺加工完成后，接收真空传输机械手传输的已工艺的物料，并放置在已工艺层，再由大气传输机械手从已工艺层中提取已工艺的物料。
102.示例性地，对于真空大气转换模块中的多个任务，可以设置真空大气转换模块与大气传输机械手的交互任务作为真空大气转换模块任务有向链的头节点；设置真空大气转
换模块与真空传输机械手的交互任务作为工艺模块任务有向链的尾节点；设置该有向链除头尾结点外均只有一个父结点和一个子结点，头结点只有一个子结点，尾结点只有一个父结点；任意一对父结点和子结点均满足：start(子结点)》＝end(父结点)，使得真空大气转换模块某一时刻只能执行一个任务，不同任务必须依次执行，进而实现真空大气转换模块中的多个任务的调度顺序约束。
103.在一种实施例中，针对所述工艺模块的任务，生成对应的任务有向链作为工艺模块内的任务间的顺序约束条件；所述工艺模块任务间的顺序为物料工艺处理任务、无物料工艺处理任务。
104.在实际的应用中，工艺模块可以用于对未工艺的物料进行加工，待物料完成工艺加工后，再进行无物料工艺处理，例如执行清洁工艺。
105.示例性地，对于工艺模块中的多个任务，可以设置物料工艺处理任务作为工艺模块任务有向链的头节点；设置无物料工艺处理任务作为工艺模块任务有向链的尾节点；设置该有向链除头尾结点外均只有一个父结点和一个子结点，头结点只有一个子结点，尾结点只有一个父结点；任意一对父结点和子结点均满足：start(子结点)》＝end(父结点)，使得工艺模块某一时刻只能执行一个任务，不同任务必须依次执行，进而实现工艺模块中的多个任务的调度顺序约束。
106.在一种实施例中，所述多个模块还包括真空传输机械手，所述真空传输机械手配置有提取任务和放置任务，针对真空传输机械手的一对提取任务和放置任务，设置提取任务和放置任务由同一个真空传输机械手完成的同机械手约束条件。
107.真空传输机械手可以配置有提取任务和放置任务。示例性地，可以将真空传输机械手从真空大气转换模块提取物料任务和把物料放置工艺模块任务作为真空传输机械手的一对提取任务和放置任务，将从工艺模块提取物料任务和把物料放置真空大气转换模块的任务作为真空传输机械手的一对提取任务和放置任务；也可以将从真空大气转换模块提取物料任务和把物料放置真空大气转换模块的任务作为真空传输机械手的一对提取任务和放置任务，将从工艺模块提取物料任务和把物料放置工艺模块任务作为真空传输机械手的一对提取任务和放置任务。对于真空传输机械手的一对提取任务和放置任务，本领域技术人员可以根据实际应用场景进行设置，本发明实施例在此不做限制。
108.示例性地，可以设置真空传输机械手id(pick任务)＝真空传输机械手id(place任务)，约束一对提取任务和放置任务由同一个真空传输机械手完成。
109.在一种实施例中，所述真空传输机械手包括未工艺手和已工艺手，针对所述真空传输机械手任务，生成对应的任务有向链作为真空传输机械手任务间的顺序约束条件；其中，所述真空传输机械手的任务间顺序为未工艺手提取任务、未工艺手放置任务、已工艺手提取任务、已工艺手放置任务。
110.真空传输机械手可以包括未工艺手和已工艺手，未工艺手用于提取或放置未工艺的物料，已工艺手用于提取或放置已工艺的物料。在实际的应用中，未工艺手和已工艺手在实际机台中是一个部件，在某一时刻不能同时执行任务。
111.真空传输机械手可以用于将未工艺的物料从真空大气转换模块中提取，再将提取的未工艺的物料放置工艺模块，待工艺模块对物料加工处理完成后，将已工艺的物料从工艺模块提取，再将已工艺的物料放置到真空大气转换模块。
112.示例性地，对于真空传输机械手中的多个任务，可以设置未工艺手提取任务作为真空传输机械手任务有向链的头节点；设置已工艺手放置任务作为真空传输机械手任务有向链的尾节点；设置该有向链除头尾结点外均只有一个父结点和一个子结点，头结点只有一个子结点，尾结点只有一个父结点；任意一对父结点和子结点均满足：start(子结点)》＝end(父结点)，使得真空传输机械手某一时刻只能执行一个任务，不同任务必须依次执行，进而实现真空传输机械手中的多个任务的调度顺序约束。
113.在一种实施例中，所述多个模块还包括装卸载模块，针对所述装卸载模块的任务，生成对应的任务有向链作为装卸载模块内的任务间的顺序约束条件；所述装卸载模块任务间顺序为装卸载未工艺物料任务、装卸载已工艺物料任务。
114.在实际的应用中，装卸载模块可以用于装卸载未工艺物料任务、装卸载已工艺物料任务。
115.示例性地，对于装卸载模块中的多个任务，可以设置装卸载未工艺物料任务作为装卸载模块任务有向链的头节点；设置装卸载已工艺物料任务作为装卸载模块任务有向链的尾节点；设置该有向链除头尾结点外均只有一个父结点和一个子结点，头结点只有一个子结点，尾结点只有一个父结点；任意一对父结点和子结点均满足：start(子结点)》＝end(父结点)，使得装卸载模块某一时刻只能执行一个任务，不同任务必须依次执行，进而实现装卸载模块中的多个任务的调度顺序约束。
116.在一种实施例中，所述多个模块还包括大气传输机械手，所述大气传输机械手配置有提取任务和放置任务，针对大气传输机械手的一对提取任务和放置任务，设置提取任务和放置任务由同一个大气传输机械手完成的同机械手约束条件。
117.大气传输机械手可以配置有提取任务和放置任务。示例性地，可以设置大气传输机械手id(pick任务)＝大气传输机械手id(place任务)，约束一对提取任务和放置任务由同一个大气传输机械手完成。
118.在一种实施例中，针对所述大气传输机械手的任务，生成对应的任务有向链作为大气传输机械手的任务间的顺序约束条件；所述大气传输机械手任务间顺序为大气传输机械手在所述装卸载模块的物料提取任务、大气传输机械手在所述真空大气转换模块的物料放置任务、大气传输机械手在所述真空大气转换模块的物料提取任务、大气传输机械手在冷却模块的物料放置任务、大气传输机械手在冷却模块的物料提取任务、大气传输机械手在所述装卸载模块的物料放置任务。
119.示例性地，可以将大气传输机械手在装卸载模块的物料提取任务和大气传输机械手在真空大气转换模块的物料放置任务，作为大气传输机械手的一对提取任务和放置任务；将大气传输机械手在真空大气转换模块的物料提取任务和大气传输机械手在冷却模块的物料放置任务，作为大气传输机械手的一对提取任务和放置任务；将大气传输机械手在冷却模块的物料提取任务和大气传输机械手在装卸载模块的物料放置任务，作为大气传输机械手的一对提取任务和放置任务。也可以将大气传输机械手在真空大气转换模块的物料提取任务和大气传输机械手在真空大气转换模块的物料放置任务，作为大气传输机械手的一对提取任务和放置任务；将大气传输机械手在冷却模块的物料提取任务和大气传输机械手在冷却模块的物料放置任务，作为大气传输机械手的一对提取任务和放置任务；将大气传输机械手在装卸载模块的物料提取任务和大气传输机械手在装卸载模块的物料放置任
务，作为大气传输机械手的一对提取任务和放置任务。对于大气传输机械手的一对提取任务和放置任务，本领域技术人员可以根据实际应用场景进行设置，本发明实施例在此不做限制。
120.在实际的应用中，大气传输机械手可以用于从装卸载模块的物料提取物料，再将提取的物料放置在真空大气转换模块中，待物料完成工艺加工后，将已工艺的物料从真空大气转换模块中提取，再将提取的已工艺物料放置在冷却模块中，待物料冷却完成后，将冷却完成的物料从冷却模块中提取出，再放置在装卸载模块中。
121.示例性地，对于大气传输机械手中的多个任务，可以设置大气传输机械手在装卸载模块的物料提取任务，作为大气传输机械手任务有向链的头节点；设置大气传输机械手在装卸载模块的物料放置任务，作为大气传输机械手任务有向链的尾节点；设置该有向链除头尾结点外均只有一个父结点和一个子结点，头结点只有一个子结点，尾结点只有一个父结点；任意一对父结点和子结点均满足：start(子结点)》＝end(父结点)，使得大气传输机械手某一时刻只能执行一个任务，不同任务必须依次执行，进而实现大气传输机械手中的多个任务的调度顺序约束。
122.在一种实施例中，针对包含多个并行子任务的任务，设置同一任务的多个并行子任务，同一时间只有一个子任务被选定。
123.示例性地，机台中的多数量部件或者多容量部件的部件间可以为并行关系。对于多数量部件或者多容量部件，在一个任务中可以对应有并行模块，并行模块中的任意一个部件都可以完成该任务，因此该任务包含多个并行子任务。针对包含多个并行子任务的任务，可以设置同一任务的多个并行子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件。
124.例如，针对一个任务，若包含n个并行子任务，设置sum(present1
…
presentn)＝1，约束其只有一个子任务会被选中。
125.在一种实施例中，所述真空大气转换模块为多个且所述多个真空大气转换模块为并行关系，所述真空大气转换模块的一个任务包括多个并行子任务；设置所述真空大气转换模块的多个并行的子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件。
126.在实际的应用中，机台中的真空大气转换模块可以有多个，每个真空大气转换模块之间相互独立，可并行操作，即物料可进入多个真空大气转换模块中的任意一个真空大气转换模块进行中转。相应地，在真空大气转换模块的一个任务中可以对应有并行模块，并行模块中的任意一个真空大气转换模块都可以完成该任务，因此该任务包含多个并行子任务。
127.作为一种示例，对于真空大气转换模块的多个并行的子任务，可以设置sum(present1
…
presentn)＝1，约束同一时间只有一个子任务会被选中，也即同一时间物料只能进入一个真空大气转换模块。如对于在并行模式下的load lock，在执行load lock任务时，只能选择一个load lock进行中转，例如，机台有2个load lock，选择load lock1，则load lock2不能执行load lock任务，此时load lock1的start time和end time即为load lock任务的start time和end time。
128.在一种实施例中，所述工艺模块为多个且所述多个工艺模块为并行关系，所述工艺模块的一个任务包括多个并行子任务；设置所述工艺模块的多个并行的子任务，同一时
间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件。
129.在实际的应用中，机台中的工艺模块可以有多个，每个工艺模块之间相互独立，可并行操作，即物料可进入多个工艺模块中的任意一个工艺模块进行加工。相应地，在工艺模块的一个任务中可以对应有并行模块，并行模块中的任意一个工艺模块都可以完成该任务，因此该任务包含多个并行子任务。
130.作为一种示例，对于工艺模块的多个并行的子任务，可以设置sum(present1
…
presentn)＝1，约束同一时间只有一个子任务会被选中，也即同一时间物料只能进入一个工艺模块。如对于在并行模式下的pm腔室，在执行pm任务时，只能选择一个pm腔室进行工艺处理，例如，机台有3个pm腔室，选择pm1腔室，则pm2、pm3不能执行pm任务，此时pm1的start time和end time即为pm任务的start time和end time。
131.在一种实施例中，所述多个模块还包括冷却模块，所述冷却模块包括多层且多个冷却层为并行关系，所述冷却模块的一个任务包括多个并行的子任务；设置所述冷却模块的多个并行子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件。
132.在实际的应用中，机台中的冷却模块可以有多层，每个冷却层之间相互独立，可并行操作，即物料可以进入多个冷却层中的任意一层进行冷却。相应地，在冷却模块的一个任务中可以对应有并行模块，并行模块中的任意一个冷却层都可以完成该任务，因此该任务包含多个并行子任务。
133.作为一种示例，对于冷却模块的多个并行的子任务，可以设置sum(present1
…
presentn)＝1，约束同一时间只有一个子任务会被选中，也即同一时间物料只能进入一个冷却层。如对于在并行模式下的冷却模块，在执行冷却任务时，只能选择一个冷却层进行工艺处理，例如，机台的冷却模块有3个冷却层，选择cooler1层，则cooler2层、cooler3层不能执行冷却任务，此时cooler1层的start time和end time即为冷却任务的start time和end time。
134.在一种实施例中，当真空大气转换模块的任务有向链的父节点与子节点对应的任务状态不一致时，在所述父结点对应的任务和所述子结点对应的任务之间，添加状态转换任务作为真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换关系的状态转换约束条件。
135.在实际的应用中，为满足工艺精度，真空大气转换模块在中转物料过程中需完成动态状态转换操作。例如，当load lock与真空区tm(vtr)交互时，load lock必须保持真空状态；同理，当load lock与大气区atr交互时，load lock必须保持大气状态。当load lock的当前状态与所需状态不一致时，load lock需要进行状态转换操作。
136.作为一种示例，当真空大气转换模块的任务有向链的父节点与子节点对应的任务状态不一致时，在父结点对应的任务和子结点对应的任务之间，添加状态转换任务作为真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换关系的状态转换约束条件。例如，设置start(子结点)》＝end(父结点) transition，实现动态状态转换约束。
137.在本发明实施例中，所述的方法还可以包括：所述生成对应的任务列表之前，对物料进行分组；所述同组物料的同一工艺模块任务具有优先级顺序；
138.所述设置模型的约束条件，还可以包括：对同组物料，设置优先级低的工艺模块任务的开始时间不小于优先级高的工艺模块任务结束时间的优先级约束条件。
139.示例性地，可以在生成对应的任务列表之前，对物料进行分组，同组物料同一工艺
模块的任务具有优先级顺序，可以设置优先级低的工艺模块任务的开始时间不小于优先级高的工艺模块任务结束时间的优先级约束条件，以使同组物料按顺序进入同一工艺模块加工。例如，针对同一组物料，设置start(job优先级低)》＝end(job优先级高)，使得该组物料包含的所有job按顺序进入某一个pm。
140.步骤103，将所述任务列表输入所述求解模型，以使所述求解模型根据所述任务列表、所述约束条件和所述求解目标，计算并输出各个任务的开始执行时间和执行结束时间。
141.示例性地，可以将任务列表输入模型，模型以任务为调度单位，根据任务列表、约束条件和求解目标，可以计算并输出最优方案下的所有调度任务的start，end时间。
142.在本发明实施例中，所述的方法还可以包括：当物料完成所述工艺模块内的任务的剩余时间达到预设时间阈值时，清除未进行工艺模块任务的物料的剩余任务；获取当前机台的全部任务进度，以及增加物料，并生成新的任务列表；将所述新的任务列表输入所述模型，以使所述模型根据所述新的任务列表、所述约束条件和所述求解目标，重新计算并输出各个任务的开始执行时间和任务执行结束时间。
143.示例性地，当在空机台时，模型可以只计算m＝2*(pm数量)组物料；当物料完成工艺模块内的任务的剩余时间达到预设时间阈值时，删除上次计算出的但还未开始的任务列表，添加一组新的物料，根据当前机台进度实时计算m’＝m 1组物料，并生成新的任务列表；将新的任务列表输入模型，以使所述模型根据新的任务列表、约束条件和求解目标，重新计算并输出各个任务的开始执行时间和执行结束时间；当物料完成pm工艺任务的剩余时间再次到达设定值时，再次删除上次计算出的但还未开始的任务列表，再添加一组新的物料，再进行重算，以此类推，直至所有物料全部调度完成。例如，若物料完成工艺模块内的任务的剩余预设时间阈值为20s，当物料完成工艺模块内的任务剩余20s完成工艺时，增加新的物料，此时发起重算，清除未达到pm工艺start time的物料的剩余任务；获取当前机台的所有实施进度，生成新的任务列表，并将新的任务列表输入模型，重新进行计算，输出此时所有调度任务的start，end时间，并进行任务执行；当执行到下一个重算点时，再次清除未达到pm工艺start time的物料的剩余任务，再次添加新的物料，清除未达到pm工艺start time的物料的剩余任务，获取当前机台的所有实施进度，生成新的任务列表，并将新的任务列表输入模型，再进行计算。
144.需要说明的是，m＝2*(pm数量)以此保证pm腔室是满载的，并有一组富余物料，使机台一直处于满载状态。
145.在本发明的实施例中，根据物料的加工路径、各模块执行的任务以及执行任务产生的动作顺序，生成针对当前物料对应的任务列表；设置模型的约束条件和求解目标；其中，约束条件包括物料加工时间关系约束、多个模块间的任务间顺序关系约束、同一模块内的任务间顺序关系约束、同一任务下并行子任务间关系约束、真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换约束；求解目标为物料执行所述任务的最短时间；将任务列表输入求解模型，以使求解模型根据任务列表、设置的约束条件和求解目标，计算并输出各个任务的开始执行时间和执行结束时间。从而实现结构布局更为复杂，工艺精度要求更高的设备的调度需求，如load lock部件动态状态转换需求；多数量部件的并行需求，多容量部件的并行需求等。
146.需要说明的是，对于方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组
合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明实施例并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明实施例，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明实施例所必须的。
147.参照图4，示出了本发明实施例提供的一种半导体工艺设备的结构框图，上述半导体工艺设备201包括多个模块，其中包括真空大气转换模块、工艺模块，上述半导体工艺设备还包括：
148.控制器2011，用于根据物料的加工路径、各模块执行的任务以及执行所述任务产生的动作顺序，生成针对当前物料对应的任务列表；设置求解模型的约束条件和求解目标；其中，上述约束条件包括物料加工时间关系约束、多个模块间的任务间顺序关系约束、同一模块内的任务间顺序关系约束、同一任务下并行子任务间关系约束、真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换约束；上述求解目标为物料执行全部工艺模块任务的开始时间与结束时间之和最短的时间；将上述任务列表输入上述求解模型，以使上述求解模型根据上述任务列表、上述约束条件和上述求解目标，计算并输出各个任务的开始执行时间和执行结束时间。
149.在本发明一个可选的实施例中，上述控制器，用于针对包含多个并行子任务的任务，设置同一任务的多个并行子任务，同一时间只有一个子任务被选定。
150.在本发明一个可选的实施例中，上述控制器，用于生成对应的任务有向链作为同一模块内的任务间的顺序约束条件；上述任务有向链中的每一节点对应上述同一模块内的一任务；上述任务有向链中的节点，除头节点和尾结点外均只有一个父结点和一个子结点，上述头结点只有一个子结点，上述尾结点只有一个父结点；上述子节点的任务开始时间不小于上述父节点的任务结束时间。
151.在本发明一个可选的实施例中，上述真空大气转换模块包括大气状态和真空状态，上述控制器，用于当真空大气转换模块的任务有向链的父节点与子节点对应的任务状态不一致时，在上述父结点对应的任务和上述子结点对应的任务之间，添加状态转换任务作为真空大气转换模块的真空状态与大气状态转换关系的状态转换约束条件。
152.在本发明一个可选的实施例中，上述真空大气转换模块包括未工艺层和已工艺层；上述控制器，用于针对上述真空大气转换模块的任务，生成对应的任务有向链作为真空大气转换模块内的任务间的顺序约束条件；上述真空大气转换模块的任务间的顺序为真空大气转换模块与大气传输机械手的交互任务、真空大气转换模块与真空传输机械手的交互任务。
153.在本发明一个可选的实施例中，上述控制器，用于针对上述工艺模块的任务，生成对应的任务有向链作为工艺模块内的任务间的顺序约束条件；上述工艺模块任务间的顺序为物料工艺处理任务、无物料工艺处理任务。
154.在本发明一个可选的实施例中，上述多个模块还包括真空传输机械手，上述真空传输机械手配置有提取任务和放置任务，上述控制器，用于针对真空传输机械手的一对提取任务和放置任务，设置提取任务和放置任务由同一个真空传输机械手完成的同机械手约束条件。
155.在本发明一个可选的实施例中，上述真空传输机械手包括未工艺手和已工艺手，
上述控制器，用于针对上述真空传输机械手的任务，生成对应的任务有向链作为真空传输机械手任务间的顺序约束条件；其中，上述真空传输机械手的任务间顺序为未工艺手提取任务、未工艺手放置任务、已工艺手提取任务、已工艺手放置任务。
156.在本发明一个可选的实施例中，上述多个模块还包括装卸载模块，上述控制器，用于针对上述装卸载模块的任务，生成对应的任务有向链作为装卸载模块内的任务间的顺序约束条件；上述装卸载模块任务间顺序为装卸载未工艺物料任务、装卸载已工艺物料任务。
157.在本发明一个可选的实施例中，上述多个模块还包括大气传输机械手，上述大气传输机械手配置有提取任务和放置任务，上述控制器，用于针对大气传输机械手的一对提取任务和放置任务，设置提取任务和放置任务由同一个大气传输机械手完成的同机械手约束条件。
158.在本发明一个可选的实施例中，上述控制器，用于针对上述大气传输机械手的任务，生成对应的任务有向链作为大气传输机械手的任务间的顺序约束条件；上述大气传输机械手任务间顺序为大气传输机械手在上述装卸载模块的物料提取任务、大气传输机械手在上述真空大气转换模块的物料放置任务、大气传输机械手在上述真空大气转换模块的物料提取任务、大气传输机械手在冷却模块的物料放置任务、大气传输机械手在冷却模块的物料提取任务、大气传输机械手在上述装卸载模块的物料放置任务。
159.在本发明一个可选的实施例中，上述真空大气转换模块为多个且上述多个真空大气转换模块为并行关系，上述真空大气转换模块的一个任务包括多个并行子任务；上述控制器，用于设置上述真空大气转换模块的多个并行的子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件。
160.在本发明一个可选的实施例中，上述工艺模块为多个且上述多个工艺模块为并行关系，上述工艺模块的一个任务包括多个并行子任务；上述控制器，用于设置上述工艺模块的多个并行的子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件。
161.在本发明一个可选的实施例中，上述多个模块还包括冷却模块，上述冷却模块包括多层且多个冷却层为并行关系，上述冷却模块的一个任务包括多个并行的子任务；上述控制器，用于设置上述冷却模块的多个并行子任务，同一时间只有一个子任务被选定的并行任务约束条件。
162.在本发明一个可选的实施例中，上述生成对应的任务列表之前，对物料进行分组；上述同组物料的工艺模块任务具有优先级顺序；上述控制器，用于对同组物料，设置优先级低的工艺模块任务的开始时间不小于优先级高的工艺模块任务结束时间的优先级约束条件。
163.在本发明一个可选的实施例中，上述控制器，用于当物料完成上述工艺模块内的任务的剩余时间达到预设时间阈值时，清除未进行工艺模块任务的物料的剩余任务；获取当前机台的全部任务进度，以及增加物料，并生成新的任务列表；将上述新的任务列表输入上述求解模型，以使上述求解模型根据上述新的任务列表、上述约束条件和上述求解目标，重新计算并输出各个任务的开始执行时间和任务执行结束时间。
164.对于装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
165.本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与
其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
166.本领域内的技术人员应明白，本发明实施例的实施例可提供为方法、装置、或计算机程序产品。因此，本发明实施例可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明实施例可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、cd-rom、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
167.本发明实施例是参照根据本发明实施例的方法、终端设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理终端设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理终端设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
168.这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理终端设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
169.这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理终端设备上，使得在计算机或其他可编程终端设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程终端设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
170.尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。
171.最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。
172.以上对本发明所提供的一种半导体工艺设备的物料调度方法和半导体工艺设备，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。