制绒清洗设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种制绒清洗设备。


背景技术：

2.制绒是硅太阳能电池制造中的一道工序，例如hjt制绒清洗机台设备主要功能是hjt电池用硅片进行制绒清洗的自动设备。
3.hjt电池(异质结电池)因为其独特的双面对称结构及非晶硅层优秀的钝化效果，具备着转换效率高、双面率高、几乎无光致衰减、温度特性良好、可使用薄硅片、可叠加钙钛矿等多种天然优势，加之其制造工艺流程较短，使其有着高效率和高发电量的天然优势。和目前主流的perc电池技术相比，目前hjt电池最大的问题是成本，hjt电池需要高昂的生产原辅材料和设备投入成为了制约其快速发展的最主要因素，产品良率的保证和不断提高，是其规模化量产的重要前提。
4.在hjt电池等硅太阳能电池的制备过程中，硅片需要经过如下工序：粗抛
→
臭氧清洗
→
预清洗
→
制绒
→
后清洗
→
圆滑处理
→
钝化
→
慢提拉
→
烘干，其中预清洗、制绒和后清洗工序一般采用碱性试剂，钝化工序一般是采用氢氟酸进行，以去除硅片表面氧化物来增强一定的脱水性；然后经过慢提拉慢慢提出水面，缓慢脱水，接着烘干后进入下一道工序。在前的预清洗、制绒、后清洗及钝化工序所使用的酸碱试剂的残留药液在慢提拉槽体中积累，导致制绒硅片容易被残留药液和有氧气泡污染，导致后续镀膜沉积不良，产生水纹印和黑点，进而严重影响电池产品的良率和产能的提升。


技术实现要素：

5.基于此，有必要提供一种能够提升电池良率和产能的制绒清洗设备。
6.本实用新型是通过如下技术方案实现的。
7.一种制绒清洗设备，包括：
8.制绒装置；
9.钝化槽，设于所述制绒装置的下游；及
10.提拉槽，设于所述钝化槽的下游，所述提拉槽包括提拉槽体及设于所述提拉槽体内的匀流板，所述匀流板上设有贯穿的出水孔，所述出水孔的进水端朝向所述提拉槽的底部设置，所述进水端的孔径小于所述出水孔的出水端的孔径，所述出水孔的孔径自所述进水端至所述出水端先逐渐缩小再逐渐增大，所述提拉槽体的进水口位于所述匀流板的下方，以使所述匀流板的下方和上方分别形成进水区和提拉区。
11.在其中一些实施例中，所述出水孔的截面为圆形；和/或
12.所述出水孔的数量为多个。
13.在其中一些实施例中，所述制绒清洗设备还包括第一抽气装置，所述第一抽气装置设于所述提拉槽的上方。
14.在其中一些实施例中，所述第一抽气装置为多个，其中有两个所述第一抽气装置
分别安装于所述提拉槽的相对两个槽体边缘。
15.在其中一些实施例中，所述第一抽气装置具有抽气板，所述抽气板上设有进气孔，所述抽气板相对于所述提拉槽的底部倾斜且呈锐角设置。
16.在其中一些实施例中，所述制绒清洗设备还包括水洗槽，所述水洗槽设于所述钝化槽与所述提拉槽之间。
17.在其中一些实施例中，所述制绒清洗设备还包括第二抽气装置，所述第二抽气装置设于所述水洗槽的上方；
18.和/或，所述水洗槽的槽体内也设有所述匀流板。
19.在其中一些实施例中，所述制绒清洗设备还包括第一隔离门和/或第二隔离门，所述第一隔离门设于所述提拉槽的靠近所述钝化槽的一侧，所述第二隔离门设于所述提拉槽的远离所述钝化槽的一侧。
20.在其中一些实施例中，所述第一隔离门和第二隔离门各自独立地包括固定支架、卷帘、驱动电机、转动轴及对射感应器，所述转动轴安装于所述固定支架的顶部且与所述驱动电机的输出轴连接，所述卷帘的一端固定于所述转动轴、且能够在所述驱动电机的驱动下卷绕于所述转动轴上，所述对射感应器设于所述固定支架的底部用于获取所述卷帘的位置状态。
21.在其中一些实施例中，所述制绒清洗设备还包括粗抛槽、臭氧清洗槽、预清洗槽、后清洗槽、圆滑处理槽和烘干装置中的至少一种，所述粗抛槽、臭氧清洗槽和/或所述预清洗槽设于所述制绒装置的上游，所述后清洗槽和/或所述圆滑处理槽设于所述制绒装置与所述钝化槽之间，所述烘干装置设于所述提拉槽的下游。
22.上述制绒清洗设备，通过改进提拉槽结构，并具体在提拉槽内设置具有上述出水孔的匀流板，以使提拉槽体的水从进水口进入进水区，再经匀流板上的出水孔进入提拉区，由于出水孔的进水端孔径较小，可对水中产生的气泡进行阻挡和附着，同时沿着进水方向出水孔的孔径继续逐渐缩小，进一步保证对气泡阻挡和附着的效果，然后逐渐增大以保证出水效率，也可避免水流不及时产生气泡的问题，如此可有效地减少提拉区的水中的气泡携带氧气和酸碱气体，进而可有效减少后续镀膜的水纹印和黑点问题，进而有利于提升电池产品的良率和产能。
附图说明
23.图1为本实用新型一实施例的制绒清洗设备的示意图；
24.图2为图1所示的制绒清洗设备中的提拉槽(设有抽气装置)的结构示意图；
25.图3为图2所示的提拉槽中的匀流板的结构示意图；
26.图4为图3所示的匀流板的出水孔的结构示意图；
27.图5为本实用新型一实施例的制绒清洗设备中的第一隔离门的结构示意图。
28.附图标记说明：
29.10、制绒清洗设备；110、制绒装置；120、钝化槽；130、提拉槽；131、提拉槽体；132、匀流板；1321、出水孔；1322、进水端；1323、出水端；140、水洗槽；150、粗抛槽；160、臭氧清洗槽；170、预清洗槽；180、后清洗槽；190、圆滑处理槽；200、烘干装置；210、抽气装置；211、抽气板；2111、抽气孔；220、第一隔离门；221、固定支架；2211、卡槽；222、卷帘；2221、底封边
条；223、驱动电机；224、转动轴；2251、对射感应器接收端；2252、对射感应器发射端。
具体实施方式
30.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。
31.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
32.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
33.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
34.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
35.本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
36.需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
37.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
38.请参阅图1，本实用新型一实施方式提供了一种制绒清洗设备10，包括：制绒装置110、钝化槽120及提拉槽130。
39.钝化槽120设于制绒装置110的下游。可理解，本文中的上游和下游是从物料流转
的先后顺序来区分的，物料相对先到达的工位即为上游，后到达的工位即为下游。例如，硅在制绒装置110制绒之后，再进入钝化槽120进行钝化处理，故而相对制绒装置110来讲，钝化槽120位于下游。
40.请参阅图2，提拉槽130设于钝化槽120的下游。提拉槽130包括提拉槽体131及设于提拉槽体131内的匀流板132。
41.请参阅图3和图4，匀流板132上设有贯穿的出水孔1321，出水孔1321的进水端1322朝向提拉槽130的底部设置。进水端1322的孔径小于出水孔1321的出水端1323的孔径，出水孔1321的孔径自进水端1322至出水端1323先逐渐缩小再逐渐增大。换言之，出水孔1321的进水端1322和出水端1323分别位于匀流板132的底面和顶面上。
42.提拉槽体131的进水口位于匀流板132的下方，以使匀流板132的下方和上方分别形成进水区和提拉区。需要说明的是，进水区的空间相对较小，图2中未明确示出进水区。
43.上述制绒清洗设备10，通过改进提拉槽130结构，并具体在提拉槽130内设置具有上述出水孔1321的匀流板132，以使提拉槽体131的水从进水口进入进水区，再经匀流板132上的出水孔1321进入提拉区，由于出水孔1321的进水端1322孔径较小，可对水中产生的气泡进行阻挡和附着，同时沿着进水方向出水孔1321的孔径继续逐渐缩小，进一步保证对气泡阻挡和附着的效果，然后逐渐增大以保证出水效率，也可避免水流不及时产生气泡的问题，如此可有效地减少提拉区的水中的气泡携带氧气和酸碱气体，进而可有效减少后续镀膜的水纹印和黑点问题，进而有利于提升电池产品的良率和产能。
44.传统的在提拉槽130设置氮气鼓泡管路，以将提拉槽130的残留药液中酸碱气体排出的方式，在鼓泡排气的同时，难免裹挟产生一些有氧气泡。上述制绒清洗设备10可无需设置氮气鼓泡管路，进而可避免鼓泡时裹挟有氧气泡氧化电池片，产生水纹印的问题。
45.请继续参阅图4，在其中一些实施例中，出水孔1321的截面为圆形。具体地，出水孔1321的各处截面均为圆形。可理解，此处的圆形包括但不限于正圆形或椭圆形或其他不规则圆形。如此出水孔1321形成两端喇叭形，其底部进水端1322的孔径较小，顶部出水端1323的孔径较大，孔径平滑，有利于进水和出水，也可以减少出水时因径变产生的有氧气泡和酸碱气泡。
46.请继续参阅图3，进一步地，出水孔1321的数量为多个。具体地，出水孔1321在匀流板132上呈多行多列分布。具体地，相邻两个出水孔1321在出水端1323的孔间距为0.3～1cm，例如0.3cm、0.5cm、0.8cm、1cm。具体地，匀流板132的厚度为2～5cm，例如2cm、3cm、4cm、5cm。在本具体示例中，匀流板132的厚度与出水孔1321的长度相等。
47.可理解，匀流板132的尺寸与提拉槽130的内径尺寸相配合，以使匀流板132能够将提拉槽130分隔为相对独立的进水区和提拉区。
48.进一步地，匀流板132可为ptfe材质的匀流板132，其具有较好的耐酸碱性能。
49.请继续参阅图2，在其中一些实施例中，制绒清洗设备10还包括第一抽气装置210，第一抽气装置210设于提拉槽130的上方。通过该第一抽气装置210可对提拉槽130的水中残留的酸碱气体和有氧气体进一步抽取，提高洁净度，减少其对提拉脱水的硅片的氧化和酸碱化，进而提高良率。
50.进一步地，第一抽气装置210为多个，其中有两个第一抽气装置210分别安装于提拉槽130的相对两个槽体边缘。如此通过相对安装的两个第一抽气装置210可提高抽气效
果。在一些示例中，提拉槽130的各槽体边缘均安装有第一抽气装置210。
51.进一步地，第一抽气装置210具有抽气板211，抽气板211上设有进气孔，抽气板211相对于提拉槽130的底部倾斜且呈锐角设置。
52.在其中一些实施例中，制绒清洗设备10还包括水洗槽140，水洗槽140设于钝化槽120与提拉槽130之间。如此在钝化槽120与提拉槽130之间设置水洗槽140，一方面可拉开提拉槽130与钝化槽120的距离，另一方面通过水洗槽140对残留药液进行提前水洗，可降低后续提拉槽130中残留药液的浓度，改善水纹印问题。此外，通过增加水洗槽140也避免了提拉槽130频繁换水，影响制绒清洗设备10的产量的问题。
53.在其中一些实施例中，制绒清洗设备10还包括第二抽气装置210，第二抽气装置210设于水洗槽140的上方。通过该第二抽气装置210可对水洗槽140的水中残留的酸碱气体和有氧气体进一步抽取，提高洁净度，减少其对水洗后的硅片的氧化和酸碱化，进而提高良率。
54.具体地，第二抽气装置210与第一抽气装置210的安装位置类似，结构相同或相似，在此不再赘述。
55.在其中一些实施例中，水洗槽140的槽体内也设有上述的匀流板132。
56.请参阅图5，在其中一些实施例中，制绒清洗设备10还包括第一隔离门220和/或第二隔离门，第一隔离门220设于提拉槽130的靠近钝化槽120的一侧，第二隔离门设于提拉槽130的远离钝化槽120的一侧。
57.第一隔离门220和第二隔离门可为卷帘门，如此便于在需要的时候隔离，在不需要的时候不影响物料的移动。进一步地，第一隔离门220和第二隔离门各自独立地包括固定支架221、卷帘222、驱动电机223、转动轴224及对射感应器，转动轴224安装于固定支架221的顶部且与驱动电机223的输出轴连接，卷帘222的一端固定于转动轴224、且能够在驱动电机223的驱动下卷绕于转动轴224上，对射感应器设于固定支架221的底部用于获取卷帘的位置状态。
58.进一步地，固定支架221上设有卡槽2211，卷帘222的侧壁可与该卡槽2211配合，以在卡槽2211内滑动。具体地，卷帘222为ptfe材质，其耐酸碱，使用寿命长。进一步地，卷帘222的底部边缘设有底封边条2221，对射感应器设于固定支架221的底部用于获取卷帘222的底封边条2221的位置状态；具体地，对射感应器用于获取卷帘222的底封边条2221是否到达固定支架221的底部，以获取卷帘的开合状态。具体地，对射感应器包括对射感应器接收端2251和对射感应器发射端2252。
59.请继续参阅图1，在其中一些实施例中，制绒清洗设备10还包括粗抛槽150、臭氧清洗槽160、预清洗槽170、后清洗槽180、圆滑处理槽190和烘干装置200中的至少一种，粗抛槽150、臭氧清洗槽160和/或预清洗槽170设于制绒装置110的上游，后清洗槽180和/或圆滑处理槽190设于制绒装置110与钝化槽120之间，烘干装置200设于提拉槽130的下游。
60.在一具体示例中，后清洗槽180位于圆滑处理槽190的上游。
61.在一具体示例中，粗抛槽150和臭氧清洗槽160依次设于预清洗槽170的上游。
62.其中，粗抛槽150采用碱液，臭氧清洗槽160采用酸液；预清洗槽170、制绒装置110和后清洗槽180均采用碱液，容易产生碱性气体；圆滑处理槽190和钝化槽120均采用酸液，容易产生酸性气体。
63.经试验验证，采用上述改进后的制绒清洗设备10相比于传统的在提拉槽130设置氮气鼓泡管路的方式，最终制得的同样的异质结电池片的水纹印和黑点不良比例大幅减少。具体地，水纹印不良比例自2.5％降至0.06％，降幅达98％；黑点不良比例自0.7％降低至0.02％，降幅达97％；产能提升，每班提升产量1050片；电池效率提升0.05％。
64.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
65.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准，说明书及附图可以用于解释权利要求的内容。