一种半导体生产用蚀刻加工设备的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，具体的说是一种半导体生产用蚀刻加工设备。


背景技术：

2.半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体刻蚀板在刻蚀时会产生高温有害气体，为了避免有害气体扩散到周围空气中污染环境，需要对有害气体进行处理。
3.目前，多采取在输送带的输出端进行有害气体的处理吸附，设备多直接安装在输送带上方，输送带侧壁和外壳之间会存在空隙，有害气体易扩散出来，未设有对外壳周围的空气进行抽离的结构，难以对刚散出的有害气体进行收集到设备内，通过吸附滤板对有害气体进行吸附处理，长时间使用后难以确定吸附滤板是否已经处于饱和状态，不便于对吸附滤板进行及时更换。


技术实现要素：

4.针对现有技术中的问题，本发明提供了一种半导体生产用蚀刻加工设备。
5.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种半导体生产用蚀刻加工设备，包括外壳，所述外壳上连接有用于安装固定的安装结构，所述外壳上连接有用于减少有害气体扩散的抵触结构，所述外壳上连接有用于对散出的有害气体进行收集的吸力结构，所述吸力结构上连接有用于限位的限位结构，所述外壳上连接有用于对有害气体进行吸附净化的过滤结构，所述过滤结构上连接有用于指示需要更换的指示结构；
6.所述抵触结构包括橡胶框，所述外壳两端内侧均通过滑槽滑动连接有橡胶框，所述外壳上设有一对滑槽，一对所述橡胶框均和外壳之间固定连接有伸缩套，所述橡胶框上固定连接有固定板，所述外壳的两端均螺纹连接有丝杆，一对所述丝杆分别和外壳同一端的固定板转动连接，所述丝杆位于外壳外部的一端固定连接有把手，所述把手呈“l”形结构，所述橡胶框呈“u”形结构。
7.具体的，所述吸力结构包括转动板，所述外壳的两端均转动连接有转动板，所述转动板和外壳之间转动连接有气撑杆，所述转动板的内侧安装有三个抽风风机，所述转动板外侧位于三个抽风风机的位置均固定连接有第一防护网，所述外壳的两端均滑动连接有三个过滤网，所述抽风风机能够使外部空气穿过第一防护网和过滤网进入到外壳的内部，所述过滤网一端固定连接有拨块。
8.具体的，所述限位结构包括限位块，所述转动板的一端滑动连接有限位块，所述限位块和转动板之间抵触有第一弹簧，所述外壳的两端均设有限位槽，所述限位块能够伸入限位槽的内部，所述限位块靠近于限位槽的一端呈“l”形结构，所述限位槽呈“l”形结构。
9.具体的，所述过滤结构包括安装架，所述外壳的顶端固定连接有安装架，所述安装架内部滑动连接有两对固定框，所述固定框和安装架之间固定连接有两对拉簧，所述固定框的顶端通过螺母锁紧固定有吸附滤板，所述安装架在两对固定框附近均转动连接有防护
盖，所述防护盖上固定连接有第二防护网，所述防护盖上均设有锁定槽，所述安装架位于每个锁定槽附近均滑动连接有锁定块，所述锁定块和安装架之间抵触有第二弹簧，所述锁定块能够伸入锁定槽的内部，所述安装架位于每个吸附滤板的下方均安装有排风风机，所述吸附滤板能够过滤有害气体内部的有害物质，所述排风风机能够使外壳内部的有害气体穿过吸附滤板和第二防护网。
10.具体的，所述指示结构包括滑块，所述防护盖的一端均滑动连接有滑块，所述滑块一端固定连接有齿条，所述滑块一端固定连接有指示带，所述滑块上滑动连接有控制块，所述控制块和滑块之间抵触有第三弹簧，所述控制块呈直角梯形状，所述滑块位于齿条的一端滑动连接有推动块，所述防护盖的位于滑块的一端滑动连接有抵触块，所述抵触块和防护盖之间固定连接有第四弹簧，所述抵触块的一端和齿条抵触，所述滑块的底端和吸附滤板抵触。
11.具体的，所述安装结构包括固定块，所述外壳的两端均固定连接有固定块，所述固定块上设有一对固定孔。
12.本发明的有益效果是：
13.(1)本发明所述的一种半导体生产用蚀刻加工设备，包括外壳，外壳上连接有用于安装固定的安装结构，外壳上连接有用于减少有害气体扩散的抵触结构，通过安装结构便于外壳安装固定到输送带上，通过抵触结构能够增加密封性，减少外壳中有害气体的散出，即：将外壳安装在半导体刻蚀机传送带上，通过固定块上的固定孔便于对外壳进行安装，转动把手，把手将带动丝杆转动，丝杆将推动固定板和“u”形橡胶框沿着滑槽向输送带侧壁运动，橡胶框将和输送带侧壁抵触，从而拉长伸缩套，伸缩套起到避免外壳内部有害气体散出的作用。
14.(2)本发明所述的一种半导体生产用蚀刻加工设备，外壳上连接有用于对散出的有害气体进行收集的吸力结构，吸力结构上连接有用于限位的限位结构，通过吸力结构和限位结构能够使外壳周围的有害气体进行吸收，即：按动限位块，第一弹簧将压缩，限位块的“l”形端将和“l”形限位槽的一端脱离，从而便可打开转动板，限位块起到对转动板的限位作用，向外转动转动板，在气撑杆的推动下，转动板将被打开，露出过滤网，便可向上拨动拨块，带动过滤网向上滑动，便可将过滤网抽出，从而便于对过滤网进行清理，在装置工作时，闭合转动板，抽风风机将工作，输送带上运输着加工好的半导体刻蚀板，半导体刻蚀板上附着有有害气体，输送带将半导体刻蚀板运输到外壳下方，在外壳附近散出的有害气体将被抽风风机抽入到外壳的内部，第一防护网起到对抽风风机的保护作用，有害气体将被过滤网过滤，过滤网起到对较大的灰尘拦截作用，从而能够减少外壳周边的有害气体。
15.(3)本发明所述的一种半导体生产用蚀刻加工设备，外壳上连接有用于对有害气体进行吸附净化的过滤结构，过滤结构上连接有用于指示需要更换的指示结构，通过过滤结构能对吸附去除外壳内部半导体刻蚀板上的有害气体，从而减少有害气体扩散到周围环境中，通过指示结构能够及时确定过滤结构是否处于饱和状态，提醒是否要更换，即：安装架内的排风风机工作，从而使外壳内部半导体刻蚀板上散发的有害气体进行吸走，使其穿过吸附滤板，吸附滤板能够对有害物质进行吸附，当吸附滤板时间用久后，吸附滤板吸附能力将减弱，吸附滤板透气能力变差，排风风机的风力将推动吸附滤板向上运动，从而带动固定框向上运动，拉簧将拉长，拉簧用于固定框的复位，吸附滤板将推动滑块向上运动，根据
滑块上指示带露出部分，便可确定是否需要更换吸附滤板，按动锁定块，第二弹簧将压缩，锁定块将运动到锁定槽的另一端，从而便可打开防护盖，将吸附滤板从固定框上拆下更换，第二防护网起到对吸附滤板的保护作用，吸附滤板饱和后透风性变小，风阻变大，从而推动滑块运动，滑块将带动齿条运动，第四弹簧推动抵触块和齿条抵触，从而限制滑块向下运动，避免在排风风机在不工作时滑块向下滑动而不能判断吸附滤板的饱和情况，通过观测指示带能够观测到吸附滤板的运动距离，从而判断是否需要更换吸附滤板，更换吸附滤板后需要滑块复位时，按动控制块第三弹簧压缩，控制块推动直角梯形状推动块向齿条方向运动，推动块推动抵触块和齿条脱离，第四弹簧将压缩，从而便可带动滑块向下运动与吸附滤板抵触，从而便于再次工作。
附图说明
16.下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
17.图1为本发明提供的一种半导体生产用蚀刻加工设备的一种较佳实施例的整体结构示意图；
18.图2为图1所示的a部结构放大示意图；
19.图3为图1所示的b部结构放大示意图；
20.图4为本发明的滑块和控制块的连接结构示意图；
21.图5为本发明的橡胶框和固定板的连接结构示意图；
22.图6为图5所示的c部结构放大示意图；
23.图7为本发明的外壳与丝杆的连接结构示意图；
24.图8为本发明的防护盖与第二防护网的连接结构示意图；
25.图9为本发明的固定框与吸附滤板的连接结构示意图；
26.图10为图9所示的d部结构放大示意图。
27.图中：1、外壳；2、安装结构；201、固定块；202、固定孔；3、抵触结构；301、把手；302、丝杆；303、伸缩套；304、橡胶框；305、固定板；306、滑槽；4、吸力结构；401、转动板；402、第一防护网；403、气撑杆；404、过滤网；405、抽风风机；406、拨块；5、限位结构；501、限位块；502、限位槽；503、第一弹簧；6、过滤结构；601、安装架；602、防护盖；603、第二防护网；604、锁定块；605、排风风机；606、拉簧；607、固定框；608、吸附滤板；609、锁定槽；610、第二弹簧；7、指示结构；701、滑块；702、控制块；703、指示带；704、齿条；705、推动块；706、第三弹簧；707、抵触块；708、第四弹簧。
具体实施方式
28.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
29.如图1-图10所示，本发明所述的一种半导体生产用蚀刻加工设备，包括外壳1，所述外壳1上连接有用于安装固定的安装结构2，所述外壳1上连接有用于减少有害气体扩散的抵触结构3，所述外壳1上连接有用于对散出的有害气体进行收集的吸力结构4，所述吸力结构4上连接有用于限位的限位结构5，所述外壳1上连接有用于对有害气体进行吸附净化的过滤结构6，所述过滤结构6上连接有用于指示需要更换的指示结构7；
30.所述抵触结构3包括橡胶框304，所述外壳1两端内侧均通过滑槽306滑动连接有橡胶框304，所述外壳1上设有一对滑槽306，一对所述橡胶框304均和外壳1之间固定连接有伸缩套303，所述橡胶框304上固定连接有固定板305，所述外壳1的两端均螺纹连接有丝杆302，一对所述丝杆302分别和外壳1同一端的固定板305转动连接，所述丝杆302位于外壳1外部的一端固定连接有把手301，所述把手301呈“l”形结构，所述橡胶框304呈“u”形结构；按动限位块501，第一弹簧503将压缩，限位块501的“l”形端将和“l”形限位槽502的一端脱离，从而便可打开转动板401，限位块501起到对转动板401的限位作用。
31.具体的，所述吸力结构4包括转动板401，所述外壳1的两端均转动连接有转动板401，所述转动板401和外壳1之间转动连接有气撑杆403，所述转动板401的内侧安装有三个抽风风机405，所述转动板401外侧位于三个抽风风机405的位置均固定连接有第一防护网402，所述外壳1的两端均滑动连接有三个过滤网404，所述抽风风机405能够使外部空气穿过第一防护网402和过滤网404进入到外壳1的内部，所述过滤网404一端固定连接有拨块406；向外转动转动板401，在气撑杆403的推动下，转动板401将被打开，露出过滤网404，便可向上拨动拨块406，带动过滤网404向上滑动，便可将过滤网404抽出，从而便于对过滤网404进行清理，在装置工作时，闭合转动板401，抽风风机405将工作，输送带上运输着加工好的半导体刻蚀板，半导体刻蚀板上附着有有害气体，输送带将半导体刻蚀板运输到外壳1下方，在外壳1附近散出的有害气体将被抽风风机405抽入到外壳1的内部，第一防护网402起到对抽风风机405的保护作用，有害气体将被过滤网404过滤，过滤网404起到对较大的灰尘拦截作用，从而能够减少外壳1周边的有害气。
32.具体的，所述限位结构5包括限位块501，所述转动板401的一端滑动连接有限位块501，所述限位块501和转动板401之间抵触有第一弹簧503，所述外壳1的两端均设有限位槽502，所述限位块501能够伸入限位槽502的内部，所述限位块501靠近于限位槽502的一端呈“l”形结构，所述限位槽502呈“l”形结构；按动限位块501，第一弹簧503将压缩，限位块501的“l”形端将和“l”形限位槽502的一端脱离，从而便可打开转动板401，限位块501起到对转动板401的限位作用。
33.具体的，所述过滤结构6包括安装架601，所述外壳1的顶端固定连接有安装架601，所述安装架601内部滑动连接有两对固定框607，所述固定框607和安装架601之间固定连接有两对拉簧606，所述固定框607的顶端通过螺母锁紧固定有吸附滤板608，所述安装架601在两对固定框607附近均转动连接有防护盖602，所述防护盖602上固定连接有第二防护网603，所述防护盖602上均设有锁定槽609，所述安装架601位于每个锁定槽609附近均滑动连接有锁定块604，所述锁定块604和安装架601之间抵触有第二弹簧610，所述锁定块604能够伸入锁定槽609的内部，所述安装架601位于每个吸附滤板608的下方均安装有排风风机605，所述吸附滤板608能够过滤有害气体内部的有害物质，所述排风风机605能够使外壳1内部的有害气体穿过吸附滤板608和第二防护网603；安装架601内的排风风机605工作，从而使外壳1内部半导体刻蚀板上散发的有害气体进行吸走，使其穿过吸附滤板608，吸附滤板608能够对有害物质进行吸附，当吸附滤板608时间用久后，吸附滤板608吸附能力将减弱，吸附滤板608透气能力变差，排风风机605的风力将推动吸附滤板608向上运动，从而带动固定框607向上运动，拉簧606将拉长，拉簧606用于固定框607的复位，吸附滤板608将推动滑块701向上运动，根据滑块701上指示带703露出部分，便可确定是否需要更换吸附滤板
608，按动锁定块604，第二弹簧610将压缩，锁定块604将运动到锁定槽609的另一端，从而便可打开防护盖602，将吸附滤板608从固定框607上拆下更换，第二防护网603起到对吸附滤板608的保护作用。
34.具体的，所述指示结构7包括滑块701，所述防护盖602的一端均滑动连接有滑块701，所述滑块701一端固定连接有齿条704，所述滑块701一端固定连接有指示带703，所述滑块701上滑动连接有控制块702，所述控制块702和滑块701之间抵触有第三弹簧706，所述控制块702呈直角梯形状，所述滑块701位于齿条704的一端滑动连接有推动块705，所述防护盖602的位于滑块701的一端滑动连接有抵触块707，所述抵触块707和防护盖602之间固定连接有第四弹簧708，所述抵触块707的一端和齿条704抵触，所述滑块701的底端和吸附滤板608抵触；吸附滤板608饱和后透风性变小，风阻变大，从而推动滑块701运动，滑块701将带动齿条704运动，第四弹簧708推动抵触块707和齿条704抵触，从而限制滑块701向下运动，避免在排风风机605在不工作时滑块701向下滑动而不能判断吸附滤板608的饱和情况，通过观测指示带703能够观测到吸附滤板608的运动距离，从而判断是否需要更换吸附滤板608，更换吸附滤板608后需要滑块701复位时，按动控制块702第三弹簧706压缩，控制块702推动直角梯形状推动块705向齿条704方向运动，推动块705推动抵触块707和齿条704脱离，第四弹簧708将压缩，从而便可带动滑块701向下运动与吸附滤板608抵触，从而便于再次工作。
35.具体的，所述安装结构2包括固定块201，所述外壳1的两端均固定连接有固定块201，所述固定块201上设有一对固定孔202；将外壳1安装在半导体刻蚀机传送带上，通过固定块201上的固定孔202便于对外壳1进行安装。
36.本发明在使用时，首先，将外壳1安装在半导体刻蚀机传送带上，通过固定块201上的固定孔202便于对外壳1进行安装，转动把手301，把手301将带动丝杆302转动，丝杆302将推动固定板305和“u”形橡胶框304沿着滑槽306向输送带侧壁运动，橡胶框304将和输送带侧壁抵触，从而拉长伸缩套303，伸缩套303起到避免外壳1内部有害气体散出的作用，按动限位块501，第一弹簧503将压缩，限位块501的“l”形端将和“l”形限位槽502的一端脱离，从而便可打开转动板401，限位块501起到对转动板401的限位作用，向外转动转动板401，在气撑杆403的推动下，转动板401将被打开，露出过滤网404，便可向上拨动拨块406，带动过滤网404向上滑动，便可将过滤网404抽出，从而便于对过滤网404进行清理，在装置工作时，闭合转动板401，抽风风机405将工作，输送带上运输着加工好的半导体刻蚀板，半导体刻蚀板上附着有有害气体，输送带将半导体刻蚀板运输到外壳1下方，在外壳1附近散出的有害气体将被抽风风机405抽入到外壳1的内部，第一防护网402起到对抽风风机405的保护作用，有害气体将被过滤网404过滤，过滤网404起到对较大的灰尘拦截作用，从而能够减少外壳1周边的有害气体，安装架601内的排风风机605工作，从而使外壳1内部半导体刻蚀板上散发的有害气体进行吸走，使其穿过吸附滤板608，吸附滤板608能够对有害物质进行吸附，当吸附滤板608时间用久后，吸附滤板608吸附能力将减弱，吸附滤板608透气能力变差，排风风机605的风力将推动吸附滤板608向上运动，从而带动固定框607向上运动，拉簧606将拉长，拉簧606用于固定框607的复位，吸附滤板608将推动滑块701向上运动，根据滑块701上指示带703露出部分，便可确定是否需要更换吸附滤板608，按动锁定块604，第二弹簧610将压缩，锁定块604将运动到锁定槽609的另一端，从而便可打开防护盖602，将吸附滤板608从固
定框607上拆下更换，第二防护网603起到对吸附滤板608的保护作用，吸附滤板608饱和后透风性变小，风阻变大，从而推动滑块701运动，滑块701将带动齿条704运动，第四弹簧708推动抵触块707和齿条704抵触，从而限制滑块701向下运动，避免在排风风机605在不工作时滑块701向下滑动而不能判断吸附滤板608的饱和情况，通过观测指示带703能够观测到吸附滤板608的运动距离，从而判断是否需要更换吸附滤板608，更换吸附滤板608后需要滑块701复位时，按动控制块702第三弹簧706压缩，控制块702推动直角梯形状推动块705向齿条704方向运动，推动块705推动抵触块707和齿条704脱离，第四弹簧708将压缩，从而便可带动滑块701向下运动与吸附滤板608抵触，从而便于再次工作。
37.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
38.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。